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国家同步辐射实验室的liga技术研究及应用

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机械工程学报 2008年第11期44卷 47-52页

作者：刘刚田扬超中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230026

liga技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。介绍了liga技术的原理和国家同步辐射实验室liga试验线站的参数。详细给出NSRL近年来在同步辐射光刻、微电铸和微塑铸等liga技术方面的研究进展,同时给出其在微惯性... 详细信息

liga技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。介绍了liga技术的原理和国家同步辐射实验室liga试验线站的参数。详细给出NSRL近年来在同步辐射光刻、微电铸和微塑铸等liga技术方面的研究进展,同时给出其在微惯性器件和微流体器件等liga应用方面的研究进展。分析liga技术研究及应用的发展现状以及所遇到的困难,结合同步辐射光刻的特点,提出liga应用的一些展望。

关键词： liga技术微塑铸微流体器件

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liga技术进展

仪器仪表学报 1996年第S1期17卷 57-58页

作者：陈迪上海交通大学信息存储研究中心

ＬＩＧＡ技术进展陈迪（上海交通大学信息存储研究中心）ＬＩＧＡ是德文Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ和Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ三个词的缩写，是由Ｘ光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先... 详细信息

ＬＩＧＡ技术进展陈迪（上海交通大学信息存储研究中心）ＬＩＧＡ是德文Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ和Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ三个词的缩写，是由Ｘ光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先进制造技术。８０年代初由德国卡尔斯...

关键词： liga技术三维微器件微电铸同步辐射光源微米纳米科学技术进展光刻胶掩模板微加速度传感器深度光刻

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liga技术制备正电子慢化体的实验研究

核技术 2002年第10期25卷 893-896页

作者：黄军容彭良强伊福廷于润升魏龙蒋毅坚张菊芳韩勇中国科学院高能物理研究所北京100039 北京工业大学国家产学研激光技术中心北京100022

liga技术具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点 ,是一种先进的微细加工方法。实验中将liga技术的优点用于正电子慢化体的制作中 ,能获得传统加工方法无法制作出的薄壁网状多孔镍结构 ,满足新型正电子慢化体的制备要求。

关键词： liga技术制备实验研究正电子慢化体同步辐射 X光光刻电铸塑铸

liga技术及其在制造可动微结构件中的应用

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传感器技术 2001年第12期20卷 54-56页

作者：何友义番禺职业技术学院机械与电子系广东广州511483

介绍了将liga技术及其与牺牲层技术相结合 ,制造可动微结构的工艺方法。并给出了可实现摆动、转动的可动微结构———微执行器。

关键词：微传感器 liga技术可动微结构

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liga技术及其应用

高技术通讯 1996年第9期6卷 60-62,55页

作者：陈迪赵旭上海交通大学信息存储研究中心上海交通大学管理学院

简要介绍了近几年发展起来的一种能进行三维微细加工的新技术──ＬＩＧＡ技术。它由Ｘ光深层光刻、微电铸和微塑铸组成，其特点是获得的微器件具有较大的深宽比，厚度可达几百微米，并且侧壁陡峭、表面平整，用此技术可加工由高分子材... 详细信息

简要介绍了近几年发展起来的一种能进行三维微细加工的新技术──ＬＩＧＡ技术。它由Ｘ光深层光刻、微电铸和微塑铸组成，其特点是获得的微器件具有较大的深宽比，厚度可达几百微米，并且侧壁陡峭、表面平整，用此技术可加工由高分子材料、各种金属和陶瓷组成的微器件。

关键词： liga技术半导体制造工艺

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liga技术在微传感器制造中的应用

传感技术学报 1997年第1期10卷 76-78页

作者：揭景耀华东交通大学机械系南昌330013

liga是德文:LI(Rontgen Lithogra-phie)、G(Galvanik)和A(Abformung)三词词头拼合而成.意思是X射线光刻、电铸成型和塑料铸模三个手段顺序组合,进行操作的一种新技术,它是微细加工的一种新方法.它的典型工艺过程见图1([1.4]).

关键词：微传感器制造 liga技术

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liga技术基础研究

光学精密工程 2000年第1期8卷 38-41页

作者：梁静秋姚劲松中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130021

阐述了 liga技术的组成及特点。对 L IGA工艺掩膜、X射线光刻、电铸及塑铸等进行了工艺原理分析。用一次成型法制作了以聚酰亚胺为衬基、以 Au为吸收体的 X射线光刻掩膜。简单介绍了这种掩膜的制作工艺过程 ,并用这种掩膜在北京电子对... 详细信息

阐述了 liga技术的组成及特点。对 L IGA工艺掩膜、X射线光刻、电铸及塑铸等进行了工艺原理分析。用一次成型法制作了以聚酰亚胺为衬基、以 Au为吸收体的 X射线光刻掩膜。简单介绍了这种掩膜的制作工艺过程 ,并用这种掩膜在北京电子对撞机国家实验室进行了同步辐射 X射线光刻 ,得到了深度为 5 0 0μm ,深宽比达 8.3的 PMMA材料的微型电磁马达联轴器结构。给出掩膜和 X射线光刻照片。同时 ,对 Au。

关键词： liga技术光刻掩膜电铸

liga技术及其在四级质谱计阵列微型化中的应用

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质谱学报 2004年第B10期25卷 223-225页

作者：丁军平周抗寒黄刚凌波刘学博航天医学工程研究所，北京100094

The quadrupole mass spectrometer array (QMSA) is the most important embranchment in the miniaturization of the quadrupole mass spectrometer (QMS). Making miniature mass filter is one of the key technology in the manufacture of QMSA. In this paper, the method of liga technology and its application in making mass spectrometer are introduced. This resolve radically the question how to making a miniature QMS in volume, weight, power and cost.

关键词：四级质谱计阵列微型化 liga技术光刻技术电镀技术模铸技术三维微机械加工技术滤质器

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微细加工新技术－liga技术研究

仪器仪表学报 1995年第S1期16卷 65-69页

作者：李川奇沈连官田扬超胡一贯中国科学技术大学精密机械与精密仪器系国家同步辐射实验室

ＬＩＧＡ技术（Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ，Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ）是一种全新的微细加工制造方法。本文介绍了ＬＩＧＡ技术及其应用研究的意义、研究的主要内容以及中国科技大学正在做的探索性工作。

关键词：微细加工 liga技术同步辐射光刻光刻胶同步辐射光源新技术技术研究国家同步辐射实验室半导体工艺应用研究