LIGA技术及其在四级质谱计阵列微型化中的应用

作     者：丁军平 周抗寒 黄刚 凌波 刘学博 

作者机构：航天医学工程研究所，北京100094 

出 版 物：《质谱学报》 (Journal of Chinese Mass Spectrometry Society)

年 卷 期：2004年第25卷第B10期

页      面：223-225页

核心收录：

学科分类：081704[工学-应用化学] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 080401[工学-精密仪器及机械] 070302[理学-分析化学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0703[理学-化学] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 

主　　题：四级质谱计 阵列微型化 LIGA技术 光刻技术 电镀技术 模铸技术 三维微机械加工技术 滤质器 

摘      要：The quadrupole mass spectrometer array (QMSA) is the most important embranchment in the miniaturization of the quadrupole mass spectrometer (QMS). Making miniature mass filter is one of the key technology in the manufacture of QMSA. In this paper, the method of LIGA technology and its application in making mass spectrometer are introduced. This resolve radically the question how to making a miniature QMS in volume, weight, power and cost.