LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用
Application of LIGA process in fabrication of movable microstructures作者机构：番禺职业技术学院机械与电子系广东广州511483
出 版 物：《传感器技术》 (Journal of Transducer Technology)
年 卷 期：2001年第20卷第12期
页 面：54-56页
核心收录：
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
摘 要：介绍了将LIGA技术及其与牺牲层技术相结合 ,制造可动微结构的工艺方法。并给出了可实现摆动、转动的可动微结构———微执行器。
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