国家同步辐射实验室的LIGA技术研究及应用
Research and Application of LIGA Process at Nationol Synchrotron Radiation Laboratory作者机构：中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230026
出 版 物：《机械工程学报》 (Journal of Mechanical Engineering)
年 卷 期：2008年第44卷第11期
页 面：47-52页
核心收录：
学科分类：082304[工学-载运工具运用工程] 08[工学] 080204[工学-车辆工程] 0802[工学-机械工程] 0823[工学-交通运输工程]
摘 要：LIGA技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。介绍了LIGA技术的原理和国家同步辐射实验室LIGA试验线站的参数。详细给出NSRL近年来在同步辐射光刻、微电铸和微塑铸等LIGA技术方面的研究进展,同时给出其在微惯性器件和微流体器件等LIGA应用方面的研究进展。分析LIGA技术研究及应用的发展现状以及所遇到的困难,结合同步辐射光刻的特点,提出LIGA应用的一些展望。
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