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lift⁃off制程PEB温度对负性光阻显影后截面Profile的影响

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信息记录材料 2024年第3期25卷 228-230页

作者：齐鹏王颢然孙鹏姜倍鸿邢栗沈阳芯源微电子设备股份有限公司辽宁沈阳110168

本文研究了lift⁃off(揭开-剥离)制程曝光后烘烤温度(post exposure bake,PEB)对负性光阻显影截面Profile(光刻胶结构)的影响。结果表明:在保留原有PEB盘面加热的方式前提下通过增加PEB盘盖加热功能进行烘烤,通过控制PEB盘面温度可调整... 详细信息

本文研究了lift⁃off(揭开-剥离)制程曝光后烘烤温度(post exposure bake,PEB)对负性光阻显影截面Profile(光刻胶结构)的影响。结果表明:在保留原有PEB盘面加热的方式前提下通过增加PEB盘盖加热功能进行烘烤,通过控制PEB盘面温度可调整光阻关键尺寸(critical dimension,CD)及截面Profile形貌,通过控制PEB盘盖加热可调整截面Profile光阻顶端形貌及强度,可显著改善负性光阻显影后截面Profile难以调整的问题。另外,不同的盘面温度、不同盘盖温度以及不同的显影时间相互配合,可以实现一种负性光阻产生不同截面光刻胶结构效果,可以实现同种光阻lift⁃off制程多样化。

关键词： lift⁃off 负性光阻截面Profile PEB盘盖加热

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基于多传感器融合的无人舰载机舰面定位研究

东北大学学报（自然科学版） 2024年第1期45卷 1-9,25页

作者：侯鹏帅周大鹏杨大鹏陈杰东北大学机械工程与自动化学院辽宁沈阳110819 中国航空工业集团有限公司沈阳飞机设计研究所辽宁沈阳110035

无人舰载机在航母舰面的自主定位是实现自主转运、提高驶入/驶出效率的重要前提.其中,如何依靠机载传感设备实现GPS拒止环境下的舰载机自主舰面定位是亟待解决的关键技术.为此,提出了一种基于视觉和激光雷达融合的无人舰载机舰面自主定... 详细信息

无人舰载机在航母舰面的自主定位是实现自主转运、提高驶入/驶出效率的重要前提.其中,如何依靠机载传感设备实现GPS拒止环境下的舰载机自主舰面定位是亟待解决的关键技术.为此,提出了一种基于视觉和激光雷达融合的无人舰载机舰面自主定位算法.该算法通过结合手眼标定和互信息标定方法进行多传感器在线标定,使无人舰载机在面对风浪及航母运行等情况下机身摇晃导致传感器外参标定结果变化后仍能保持稳定运行;引入因子图用于无人舰载机的多传感器位姿联合优化并基于自主转运过程中的运动模型建立了简单高效的传感器失效标准,从而有效地融合了激光雷达和视觉定位结果,使该算法在单个传感器失效的情况下依然可以进行精确的自主定位;最后建立了基于多传感器的舰载机舰面仿真系统对本文算法进行验证,实验结果表明,本文算法在单个传感器失效的情况下定位误差仍维持在0.2m以内,满足实际应用要求.

关键词：无人舰载机多传感器融合自主定位在线标定舰面仿真

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涂胶显影设备的静电防护设计

中国高新科技 2024年第12期 37-39页

作者：高晓旭王丽鹤沈阳芯源微电子设备股份有限公司辽宁沈阳110168

文章以静电的危害及产生机理为引申,分析了半导体涂胶显影设备如何在设计细节、制造调试环节去实现静电释放,避免静电的影响。首先,通过静电消除器和STHC的应用阐述了涂胶显影设备的微环境控制静电的设计方案。然后,从涂胶显影设备使用... 详细信息

文章以静电的危害及产生机理为引申,分析了半导体涂胶显影设备如何在设计细节、制造调试环节去实现静电释放,避免静电的影响。首先,通过静电消除器和STHC的应用阐述了涂胶显影设备的微环境控制静电的设计方案。然后,从涂胶显影设备使用的液体DIW、有机溶剂的传输方案介绍了EFLOW、防静电管的使用背景,并重点说明NTD单元的静电接地方式。最后,针对spin单元零件设计的材料选择及制造工艺做了分析。

关键词：涂胶显影设备静电释放静电消除器 EFLOW

热盘排风结构对非感光聚酰亚胺胶膜制备工艺的影响

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信息记录材料 2024年第5期25卷 24-26页

作者：齐鹏孙鹏姜倍鸿王颢然邢栗沈阳芯源微电子设备股份有限公司辽宁沈阳110168

本文研究了中心和环抱型两种排风结构热盘对一种非感光聚酰亚胺(polyimide,PI)胶膜制备工艺的影响。结果表明:经中心排风热盘烘烤后的聚酰亚胺胶膜中,光阻溶剂N-甲基吡咯烷酮(n-methyl pyrrolidone,NMP)在气流的作用下汇聚至晶片中心,... 详细信息

本文研究了中心和环抱型两种排风结构热盘对一种非感光聚酰亚胺(polyimide,PI)胶膜制备工艺的影响。结果表明:经中心排风热盘烘烤后的聚酰亚胺胶膜中,光阻溶剂N-甲基吡咯烷酮(n-methyl pyrrolidone,NMP)在气流的作用下汇聚至晶片中心,导致中心溶剂含量分布较高是造成后期过显影问题的主要原因;而环抱式排风热盘内部气流更加流畅均匀,溶剂NMP可有效置换,中心溶剂含量分布较高现象消失可显著改善聚酰亚胺光阻涂覆工艺中因溶剂含量分布不均而导致的显影问题。

关键词：涂胶显影聚酰亚胺热盘结构溶剂含量显影工艺膜层厚度

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光刻工艺中增粘剂的失效分析

信息记录材料 2024年第8期25卷 43-45页

作者：孙洪君吕强韩洋王浩然沈阳芯源微电子设备股份有限公司辽宁沈阳110168

六甲基二硅氮烷(hexamethyldisilazane,HMDS)是常用于集成电路光刻工艺中硅衬底晶圆增粘处理的化学试剂。在高温下,HMDS与衬底表面氧化层键合,将硅衬底表面从亲水变为疏水,使衬底表面可以很好地与光刻胶结合。本文对涂覆HMDS的晶圆进行... 详细信息

六甲基二硅氮烷(hexamethyldisilazane,HMDS)是常用于集成电路光刻工艺中硅衬底晶圆增粘处理的化学试剂。在高温下,HMDS与衬底表面氧化层键合,将硅衬底表面从亲水变为疏水,使衬底表面可以很好地与光刻胶结合。本文对涂覆HMDS的晶圆进行失效分析,并探究HMDS的持久性对涂胶工艺的影响,结果表明,对于不同性质的光刻胶,有无HMDS对涂胶工艺的影响不同。硅衬底表面的HMDS需要经过化学清洗等方法才能去除,简单的空气中静置或光刻胶溶剂清洗不能够将其完全去除,研究结果可为光刻工艺缺陷问题提供数据支撑。

关键词：六甲基二硅氮烷表面增粘失效分析接触角疏水性持久性

机器人立式纸箱自动开箱套箱成型系统设计及应用

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中国烟草学报 2024年第2期30卷 20-26页

作者：邓成江朱清瑞杨芳吴永昆普元成夏翔董龙云南昆船烟草设备有限公司昆明市650051

针对烟草生产线预压打包段前采用人工完成纸箱开箱套箱成型,存在人工成本高、生产效率及自动化程度低等问题,论文设计了一套以机器人为核心多设备协同作业的立式纸箱自动开箱套箱成型系统。该系统主要由机器人抓取系统、内外箱上料装置... 详细信息

针对烟草生产线预压打包段前采用人工完成纸箱开箱套箱成型,存在人工成本高、生产效率及自动化程度低等问题,论文设计了一套以机器人为核心多设备协同作业的立式纸箱自动开箱套箱成型系统。该系统主要由机器人抓取系统、内外箱上料装置及内箱盖折叠装置等组成,利用机器人臂在作业空间多自由度运动控制特点,设计出一套适应纸箱成型的工艺动作流程,满足了企业对生产线高度自动化的需求。以复烤片烟包装用瓦楞纸箱为对象进行测试,应用效果表明:该系统能够完全替代人工实现纸箱的自动开箱套箱成型,其额定生产能力可达63箱/h,内外箱套箱成功率可达99%以上,作业人员由5人减至1人,显著提高了生产自动化程度及效率。

关键词：工业机器人瓦楞纸箱立式开箱套箱成型抓取系统堆叠上料

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工程机械钣金件制造工艺

中国科技期刊数据库工业A 2024年第6期 0062-0065页

作者：董娜沈阳华易通自动化设备有限公司辽宁沈阳110141

在工程机械的广阔天地里,钣金件如同细胞中的微型机械,虽不起眼却至关重要。它们的存在,确保了整个机械体系的稳固与可靠,其制造过程充满了技术与艺术的融合。从选择合适的材料开始,到通过切割、折弯、成形等手法塑形,每一步都蕴含着工... 详细信息

在工程机械的广阔天地里,钣金件如同细胞中的微型机械,虽不起眼却至关重要。它们的存在,确保了整个机械体系的稳固与可靠,其制造过程充满了技术与艺术的融合。从选择合适的材料开始,到通过切割、折弯、成形等手法塑形,每一步都蕴含着工匠的智慧与精心。这一过程既考验着制造者的技能,更是对其耐心与细致的挑战。文章深入探讨了这一制造过程的各个环节,旨在揭示其背后的技术细节及其对工程机械整体性能的影响。通过对钣金件制造工艺的研究,我们期望为该领域的进步贡献一份力量,同时也为那些追求精益求精的制造者们提供一些思路与方向。

关键词：工程机械钣金件制造工艺质量控制

AZ31镁合金薄板热油恒温成形数值模拟与实验研究

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东北大学学报（自然科学版） 2024年第2期45卷 179-186页

作者：余犇王冬晓刘禹李建平东北大学轧制技术及连轧自动化国家重点实验室辽宁沈阳110819 沈阳理工大学材料科学与工程学院辽宁沈阳110819

利用有限元模拟和成形实验相结合的方式,研究AZ31镁合金的成形性能,基于Dynaform模拟软件和热油恒温成形设备,探究出一种适合镁合金的热成形工艺,并对成形件显微组织进行分析.研究表明,通过调整薄板尺寸、模具R角、压边力及摩擦系数等... 详细信息

利用有限元模拟和成形实验相结合的方式,研究AZ31镁合金的成形性能,基于Dynaform模拟软件和热油恒温成形设备,探究出一种适合镁合金的热成形工艺,并对成形件显微组织进行分析.研究表明,通过调整薄板尺寸、模具R角、压边力及摩擦系数等工艺参数,以降低成形件的底部减薄率,减少破裂倾向,提高镁合金的成形性能;成形温度为200℃,模具R角为16 mm,薄板直径为80 mm,并调整合适压边力和摩擦系数,可获得最佳的工艺窗口;靠近成形件底部,晶粒及第二相尺寸逐渐减小并趋于均匀化.

关键词： AZ31镁合金热油恒温成形工艺参数减薄率成形性能

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非标准芯片衬底涂胶均匀性提高方法研究

信息记录材料 2024年第7期25卷 32-34,38页

作者：孙洪君张德强关丽李振轩沈阳芯源微电子设备股份有限公司辽宁沈阳110168

稳定的光刻工艺技术和高水平可靠性芯片的产出,是大部分芯片生产厂稳步运行和激烈竞争的关键所在。图形化工艺过程中除了常用的圆形硅材质芯片衬底以外,某些半导体工艺也会使用圆形其他材料或非标准圆形其他材料作为芯片衬底。涂胶边缘... 详细信息

稳定的光刻工艺技术和高水平可靠性芯片的产出,是大部分芯片生产厂稳步运行和激烈竞争的关键所在。图形化工艺过程中除了常用的圆形硅材质芯片衬底以外,某些半导体工艺也会使用圆形其他材料或非标准圆形其他材料作为芯片衬底。涂胶边缘均匀性问题一直是芯片工艺工程师关注的重点,而圆形其他材料或非标准圆形其他材料的芯片衬底,涂胶边缘均匀性更加不容易控制。简单介绍圆形其他材料或非标准圆形其他材料的芯片衬底涂胶工艺的边缘均匀性的优化方法,优化方法的主要目的在于增加涂胶时衬底表面或衬底边缘的湿度,从而增加光刻胶在衬底表面的流动性,使光刻胶在衬底表面更容易向外推动,减少衬底边缘的缺陷。

关键词：非标准圆形衬底非硅芯片衬底边缘均匀性湿度光刻胶流动性