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等离子体法沉积磁性铁涂层及其电磁性能的研究

第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医...

作者：王超梁吴茂水韩佑驰杨沁玉郭颖施芸城石建军张菁东华大学理学院

常压射频等离子体对反应性气体裂解效率高,辅以脉冲或者偏压调制,可以较好的调控沉积薄膜的结构形貌,由于沉积温度较低,在有机无机复合薄膜制备方面具有较好的应用性,如提高锂离子电池动力汽车聚乙烯(PE)隔膜的耐温性等。本文研究了偏... 详细信息

常压射频等离子体对反应性气体裂解效率高,辅以脉冲或者偏压调制,可以较好的调控沉积薄膜的结构形貌,由于沉积温度较低,在有机无机复合薄膜制备方面具有较好的应用性,如提高锂离子电池动力汽车聚乙烯(PE)隔膜的耐温性等。本文研究了偏压对射频等离子体沉积Si/SiOx薄膜孔隙率的影响,如图1所示,发现随着偏压的提高,Si/SiOx沉积薄膜的孔隙率有较大幅度提高,薄膜由纳米晶颗粒串联连接而成。射频等离子体经过脉冲调制后,应用于HMDS0放电沉积和PE隔膜材料的涂敷,发现经过放电沉积改性的PE隔膜表面的水接触角明显减小,可以耐受2hr 90℃和10min 130℃热处理,耐温特性明显提高。初步研究结果显示,常压等离子体沉积是低成本制备高性能有机无机复合多孔膜的有效途径。

关键词： PE隔膜等离子体沉积 Si/SiOx薄膜多孔结构脉冲偏压

来源： cnki会议评论

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功能材料 2014年第B6期45卷 79-82页

作者：陈志彦杨亿向洁琼吴义强李文芳中南林业科技大学材料科学与工程学院长沙410004 华南理工大学材料科学与工程学院广州510640

用铝金属作衬底、FeSO4溶液浓度为20-30 g/L和电压130-150 V采用等离子体沉积的方法可以制备出磁性铁涂层. XRD 分析表明磁性涂层主要由单质铁结晶相组成.8℃,磁性铁涂层比饱和磁化强度达169．0 A·m2/kg、剩磁为25．6 A·m^2/kg和矫顽... 详细信息

用铝金属作衬底、FeSO4溶液浓度为20-30 g/L和电压130-150 V采用等离子体沉积的方法可以制备出磁性铁涂层. XRD 分析表明磁性涂层主要由单质铁结晶相组成.8℃,磁性铁涂层比饱和磁化强度达169．0 A·m2/kg、剩磁为25．6 A·m^2/kg和矫顽力为35．34 kA/m.磁性铁涂层的饱和磁化强度、剩余磁化强度和矫顽力随着测量温度的升高而降低.磁性铁涂层具有较好的雷达波吸收性能.

关键词：等离子体沉积铁涂层磁性能吸波性能

脉冲偏压对等离子体沉积DLC膜化学结构的影响

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材料科学与工艺 2002年第1期10卷 51-54页

作者：孙明仁夏立芳孙跃马欣新孙立海哈尔滨工业大学材料科学与工程学院黑龙江哈尔滨150001 哈尔滨机械设备进出口公司黑龙江哈尔滨150015

以乙炔为气源,用等离子体基脉冲偏压沉积(plasmabasedpulsdbiasdeposition缩写PBPBD)技术进行了不同负脉冲偏压条件下制备DLC膜的试验.通过X射线光电子谱(XPS)、激光喇曼光谱〔Raman〕以及电阻分析方法考察了负脉冲偏压幅值对DLC膜化学... 详细信息

以乙炔为气源,用等离子体基脉冲偏压沉积(plasmabasedpulsdbiasdeposition缩写PBPBD)技术进行了不同负脉冲偏压条件下制备DLC膜的试验.通过X射线光电子谱(XPS)、激光喇曼光谱〔Raman〕以及电阻分析方法考察了负脉冲偏压幅值对DLC膜化学结构的影响.结果表明由-50kV到-10kV随负脉冲偏压降低,DLC膜中SP3键分数单调增加,但当脉冲偏压为0时形成高电阻的类聚合物膜,说明荷能离子的轰击作用是形成DLC化学结构的必要条件.键角混乱度和SP2簇团尺寸与脉冲偏压之间不具有单调关系,在中等幅值负脉冲偏压条件下,键角混乱度较大且SP2簇团尺寸细小.

关键词：脉冲偏压 DLC膜化学结构等离子体沉积类金刚石碳膜

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磁过滤等离子体沉积和注入技术

核技术 2002年第9期25卷 695-698页

作者：张荟星李强吴先映射线束技术与材料改性教育部重点实验室

利用阴极真空弧放电技术能够产生高密度的金属等离子体。经过 90度的磁过滤器 ,可以除去金属等离子体中的大颗粒微粒 ,从而为制备高质量的、致密的各种薄膜提供了一种全新的技术。利用该技术制备薄膜具有非常广泛的应用。本文介绍了阴... 详细信息

利用阴极真空弧放电技术能够产生高密度的金属等离子体。经过 90度的磁过滤器 ,可以除去金属等离子体中的大颗粒微粒 ,从而为制备高质量的、致密的各种薄膜提供了一种全新的技术。利用该技术制备薄膜具有非常广泛的应用。本文介绍了阴极真空弧放电技术的应用。

关键词：磁过滤器等离子体沉积阴极真空弧技术等离子体注入薄膜金属等离子体材料表面改性

等离子体刻蚀并沉积类金刚石膜制备超疏水木材

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林业工程学报 2016年第5期1卷 10-14页

作者：解林坤王洪艳代沁伶杜官本西南林业大学云南省木材胶黏剂及胶合制品重点实验室西南林业大学材料工程学院昆明650224 浙江省林业科学研究院杭州310023

为使木材表面具备疏水性能,采用等离子体刻蚀并沉积亲水性类金刚石(DLC)薄膜的方法对糖枫木(Acer saccharum)进行表面改性研究,通过扫描电子显微镜(SEM)、激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)、接触角测量仪、椭圆偏振光谱仪、X-射线光电子能谱... 详细信息

为使木材表面具备疏水性能,采用等离子体刻蚀并沉积亲水性类金刚石(DLC)薄膜的方法对糖枫木(Acer saccharum)进行表面改性研究,通过扫描电子显微镜(SEM)、激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)、接触角测量仪、椭圆偏振光谱仪、X-射线光电子能谱仪(XPS),分析和表征了处理前后木材表面的微观形貌、粗糙度、润湿性能、沉积薄膜的厚度及元素组成和化学状态。结果表明:刻蚀时间小于30 min时,木材表面的平均粗糙度、均方根光洁度和高低差均随着刻蚀时间的延长逐渐增大;当刻蚀时间延长至45 min时,表面的粗糙度略有减小。木材表面的接触角随着刻蚀时间的延长先增大后减小,当刻蚀30 min并沉积DLC薄膜1.5 min时,接触角最大可达157.2°;而延长刻蚀时间至45 min时,其接触角为152.3°。相同的刻蚀时间下,木材表面的接触角随着DLC薄膜沉积时间的延长逐渐减小。通过计算,DLC薄膜的沉积速率为(51.7±4.5)nm/min;沉积DLC薄膜后,表面氧元素的含量明显减少,出现了石墨特征峰sp2-C和金刚石特征峰sp3-C。

关键词：木材表面等离子体刻蚀等离子体沉积类金刚石薄膜超疏水

等离子体沉积聚合物膜应用于医学抗凝血材料的研究

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自然杂志 1999年第5期21卷 292-295页

作者：刘之景中国科学技术大学天文与应用物理系

本文介绍了接触血液的聚合物的医学应用和血液相容性材料的定义,讨论了等离子体沉积聚合物膜的特性和应用,特别是在抗凝血材料方面的应用.

关键词：等离子体沉积聚合物膜抗凝血材料医学

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等离子体沉积低应力电介体薄膜

等离子体应用技术快报 1998年第2期 6-7页

作者：顺民

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阴极弧等离子体沉积NbN薄膜

真空 2001年第1期38卷 28-31页

作者：宋教花张涛侯君达邓志威李永良北京师范大学低能核物理研究所北京100875 北京师范大学分析测试中心北京100875

利用磁过滤等离子体沉积装置 ,结合金属等离子体沉积技术 ,在 Si基底上分别用动态离子束增强沉积和非增强沉积的方法来制备 Nb N膜 ,对二者予以比较 ,并探讨了非增强沉积过程中基底温度对 Nb N膜层的影响。温度升高使膜层中 N的含量先... 详细信息

利用磁过滤等离子体沉积装置 ,结合金属等离子体沉积技术 ,在 Si基底上分别用动态离子束增强沉积和非增强沉积的方法来制备 Nb N膜 ,对二者予以比较 ,并探讨了非增强沉积过程中基底温度对 Nb N膜层的影响。温度升高使膜层中 N的含量先呈上升趋势 ,随后又稍微降低 ;温度升高促进晶粒生长 ,使晶粒尺寸变大 ,从室温到约 30 0℃的温度下得到的薄膜在 (2 2 0 )峰表现出很强的择优取向 ,5 0 0℃的沉积温度下 ,(2 2 0 )峰变的很弱 ,(2 0 0 )峰表现出择优取向 ,5 0 0℃时膜层中得到单一的 δ- Nb N相 ;表面形貌方面 ,温度越低 ,薄膜越不完整 ,在 5 0 0℃左右才能得到光滑完整的 Nb N膜。与非增强沉积相比 ,增强沉积不需加热 ,在低温下就能得到光滑致密的 Nb N膜 ,膜层中 N的含量更高 ,且没有明显的择优取向。

关键词：等离子体沉积动态离子束增强沉积温度氮化铌薄膜硅性能制备

大气压中频辉光放电等离子体特性研究及其改性纺织纤维

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大气压中频辉光放电等离子体特性研究及其改性纺织纤维

作者：程曼丽东华大学

学位级别：硕士

低温等离子体技术是一种环境友好、极具潜力和发展前景的清洁生产技术,省时高效、节水节能、干态、无污染。它应用于纺织材料处理工序,能够在极大降低水、电、气以及化学品用量的情况下,有效达到所需工艺要求,同时达到降低水排放量、减... 详细信息

低温等离子体技术是一种环境友好、极具潜力和发展前景的清洁生产技术,省时高效、节水节能、干态、无污染。它应用于纺织材料处理工序,能够在极大降低水、电、气以及化学品用量的情况下,有效达到所需工艺要求,同时达到降低水排放量、减轻污水处理负荷的目标。随着机械制造技术的进步和等离子体技术的发展,等离子体设备相继问世,并应用于许多生产领域。低压辉光放电等离子体改性技术因需要真空设备而很难在实际生产中推广。大气压准辉光放电（Atmospheric Pressure Pseudo-Glow Discharge）等离子体不需要真空设备,除了具有辉光放电的均匀性、稳定性、以及所需能量密度小等优点外,亦可在每半个周期内多次放电、活性粒子更多、持续时间更长,而且操作要求比大气压辉光放电（Atmospheric Pressure GlowDischarge）等离子体简单、方便,故受到研究人员的青睐。本文自制了大气压中频介质阻挡等离子体放电装置,采用18KHz的中频交流电源,使用氩气作为放电气体,通过一系列实验,根据电压—电流波形图和Lissajous图形确定所建装置在一定条件下可产生大气压中频辉光和准辉光放电等离子体。研究发现,使用氩气作为大气压下等离子体放电的气体时,其放电空间中氩气浓度变化对放电状态的稳定性有重要影响,氩气浓度越高、分布越均匀,则越利于等离子放电的均匀性和稳定性。随着放电间距的增加,放电空间中气体的流出速度要相应变小,目的是维持放电空间中氩气浓度的一致性,产生实际应用时所需要的均匀、稳定的等离子体。对大气压下等离子体放电设备进行改装,采用半封闭式环境来提高放电空间的氩气浓度,其成本仍旧远低于低压等离子体设备,因此具有工业应用的可行性。自建大气压等离子体材料处理装置,使用中频电源。由于气体放电过程中存在许多不稳定性,从而导致辉光放电易转变为准辉光放电。考虑到准辉光放电既有辉光放电的均匀、稳定的性质,还比辉光放电的活性粒子数量多、持续时间长的优势,所以一系列实验都是在大气压准辉光放电等离子体条件下实现的。首先进行了丙酮和丙烯酸等离子体沉积。结果表明,在所建等离子体装置中进行大气压气相沉积是可行的,其沉积产物的化学反应机理不同于传统的化学反应机理。大气压下得到的丙酮沉积膜和丙烯酸沉积膜,红外光谱分析结果显示两种不同单体的最终产物结构极其相似,丙酮单体在等离子体气氛中形成了一定的羧基官能团。其次在该等离子体表面材料处理装置中,分别对羊毛、涤纶、丙纶织物进行了一系列的表面改性实验。从处理后样品的外观以及其断裂强力的变化,可确定在相同的处理时间内,经该设备处理后的织物所受损伤较小。实验结果显示,经过等离子体处理后所有材料的润湿性都有一定的提高,且等离子体引发接枝的工艺可以避免等离子处理材料后的“时效性”影响。扫描电镜（SEM）测试结果表明,等离子体表面处理对丙纶纤维表面有刻蚀作用,使纤维表面变的粗糙,比表面积增大;等离子体引发接枝处理后的织物表面更加粗糙,比表面积更大。X射线光电子能谱（XPS）测试结果表明,氩等离子体表面处理使丙纶纤维表面含氧量明显提高,纤维表面引入了-C-O、-C=O等基团。XPS分析结果说明,丙烯酸接枝在材料表面引入了羧基基团,羧基亲水基团能吸收空气中的水分,纤维吸附水分的离子化以及水分诱导周围不纯物质的离子化,使纤维电导率显著增加、比电阻下降、半衰时间减少,这是丙纶织物抗静电性能得到改善的主要原因;阳离子染料能与纤维表面产生的羧基发生吸附作用,从而提高了织物的阳离子染料可染性和K/S值。在实验中,为了更好的对丙酮等离子体放电进行实时观测,还自建大气压中频交流放电等离子体喷射装置,并用HR2000光纤光栅光谱仪对丙酮等离子体放电光谱进行记录、分析和诊断。依据丙酮等离子体放电的特征颜色,重点分析了300nm～600nm范围内的谱峰,并进行了活性粒子归属诊断。研究结果说明,对大气压环境下,使用氩气为“载气”,对可挥发有机溶剂进行等离子发射光谱分析是一种可以用于诊断相关等离子体参数、分析有机试剂化学活性的新颖且有效的手段;这种诊断方法可以实施实时监控等离子体的化学活性,并将其应用于材料定域改性、薄膜沉积、纳米粒子的制备等领域。

关键词：介质阻挡放电辉光等离子体发射光谱诊断等离子体沉积表面改性