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微电子机械系统进展和趋势

功能材料与器件学报 1996年第3期2卷 129-136页

作者：王渭源鲍敏杭中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室复旦大学电子工程系

本文对微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的进展和趋势提出了一些观点性意见，在阐述了微机械技术和ＭＥＭＳ的特点后，强调发展ＭＥＭＳ器件要利用其特点而避免其短处，并为此列举了五个方面成功的ＭＥＭＳ器件。最后，本文讨论了ＭＥＭＳ进... 详细信息

本文对微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的进展和趋势提出了一些观点性意见，在阐述了微机械技术和ＭＥＭＳ的特点后，强调发展ＭＥＭＳ器件要利用其特点而避免其短处，并为此列举了五个方面成功的ＭＥＭＳ器件。最后，本文讨论了ＭＥＭＳ进一步发展的趋势和提出了我国发展ＭＥＭＳ的意见。

关键词：微电子机械系统微机械 MEMS器件

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微/纳米级微电子机械系统制造新技术

半导体技术 2005年第8期30卷 27-33页

作者：王振宇成立祝俊江苏大学应用科学技术学院江苏镇江212013 江苏大学电气信息工程学院江苏镇江212013

论述了微电子机械制造中的主要技术,包括表面微细加工、体微细加工、光刻-电铸-注塑(LIGA)、硅直接键合技术等,并讨论了这些新技术在MEMS产品中的应用前景。

关键词：微电子机械系统微机械制造技术微细加工

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微电子机械系统中的压电薄膜微马达

光学精密工程 1995年第4期3卷 1-6页

作者：崔天宏王立鼎吕琼莹马建旭梁静秋中国科学院长春光学精密机械研究所

本文提出了压电薄膜微马达的工作原理，介绍了该马达的优良性能、结构形式和加工工艺，最后指出了该马达研制的关键技术以及应用前景。

关键词：压电薄膜微马达 IC工艺微电子机械系统电动机

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硅微谐振式加速度计温度补偿方法研究综述

仪器仪表学报 2023年第1期44卷 1-15页

作者：蒋金玲张晶朱欣华苏岩周同南京理工大学机械工程学院南京210094

硅微谐振式加速度计具有体积小、成本低、动态范围宽、高精度准数字频率信号输出等优势,但零偏、标度因数等关键性能指标受到了温度等因素的制约,尚不能满足高精度导航制导的高性能要求。因此,本文在简要介绍硅微谐振式加速度计温度特... 详细信息

硅微谐振式加速度计具有体积小、成本低、动态范围宽、高精度准数字频率信号输出等优势,但零偏、标度因数等关键性能指标受到了温度等因素的制约,尚不能满足高精度导航制导的高性能要求。因此,本文在简要介绍硅微谐振式加速度计温度特性及温度误差来源的基础上,综述了近年来国内外学者针对硅微谐振式加速度计进行的温度补偿方面的研究,包括无源温度补偿技术、有源温度补偿技术;介绍了无源温度补偿技术与有源温度补偿技术常用的方法和最新的研究成果;分析总结了各种方法的优缺点,提出探索更加精确的测温手段、热隔离效果更好的隔离装置以设计一种低功耗、预热时间短、控制稳定性强的微烘箱系统进行器件层的加热控温,以及寻求无源补偿技术与有源补偿技术相结合的更多可能性以获得温度补偿最优组合是后续温度补偿工作的重点研究方向。

关键词：硅微谐振式加速度计有源温度补偿技术无源温度补偿技术微电子机械系统