微/纳米级微电子机械系统制造新技术
Manufacturing Technologies for MEMS at Micro/Nanometer Level作者机构：江苏大学应用科学技术学院江苏镇江212013 江苏大学电气信息工程学院江苏镇江212013
出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)
年 卷 期：2005年第30卷第8期
页 面：27-33页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
基 金：江苏省高校自然科学研究基金项目(02KJB510005)
摘 要：论述了微电子机械制造中的主要技术,包括表面微细加工、体微细加工、光刻-电铸-注塑(LIGA)、硅直接键合技术等,并讨论了这些新技术在MEMS产品中的应用前景。
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