微电子机械系统中的压电薄膜微马达
Piezoelectric Thin Film Micromotors in MEMS作者机构：中国科学院长春光学精密机械研究所
出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)
年 卷 期：1995年第3卷第4期
页 面：1-6页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
基 金：国家自然科学基金
摘 要：本文提出了压电薄膜微马达的工作原理，介绍了该马达的优良性能、结构形式和加工工艺，最后指出了该马达研制的关键技术以及应用前景。
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