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微电子机械系统的计算机辅助设计

微电子机械系统的计算机辅助设计

作     者：孙克豪 胡宇群 王立森 赵亚溥 

作者单位：中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室 

会议名称：《“力学2000”学术大会》

会议日期：2000年

学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 

关 键 词：微电子机械系统 计算机辅助设计 模拟 低阶动态宏模型 

摘      要：概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计。分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题。采用基于能量的方法构造可取代全三维完整模拟的低阶分析宏模型来近似表示静电致动微系统结构变形,使微系统的计算机辅助设计和仿真模拟系统更易于实现。

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