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掺氧多晶硅(SIPOS)薄膜结晶学性质研究

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固体电子学研究与进展 1990年第4期10卷 364-368页

作者：潘尧令王云珍王济身上海科技大学分部技术物理系华东师范大学电子科学技术系

本文用XRD,RHEED和SEM对LPCVD掺氧多晶硅的结晶学性质进行了研究.结果表明,对于含氧量为8～37at%预淀积SIPOS薄膜其结构呈无定形.当进行高温热退火(T_a≥900℃)时,薄膜经历了一个再结晶过程.晶粒度的大小与退火条件有关;而修氧多晶硅中... 详细信息

本文用XRD,RHEED和SEM对LPCVD掺氧多晶硅的结晶学性质进行了研究.结果表明,对于含氧量为8～37at%预淀积SIPOS薄膜其结构呈无定形.当进行高温热退火(T_a≥900℃)时,薄膜经历了一个再结晶过程.晶粒度的大小与退火条件有关;而修氧多晶硅中的含氧量对再结晶过程具有抑制作用.

关键词：掺氧多晶硅薄膜结晶学硅

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LPCVD掺氧多晶硅薄膜淀积及其特性

半导体技术 1990年第4期6卷 51-55,46页

作者：潘尧令王云珍上海科技大学(分部)技术物理系华东师范大学电子科学技术系

本文对LPCVD掺氧多晶硅的工艺特性进行了研究,尤其是分析和讨论了在LPCVD系统中淀积温度、反应气体流量比(N_2O/SiH_4)及硅烷(SiH_4)流量对SIPOS薄膜的工艺参数及薄膜性质的影响,并对LPCVD-SIPOS的有关性质进行了讨论。

关键词：多晶硅薄膜掺氧淀积 LPCVD

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LPCVD掺氧多晶硅电学特性研究

电子科学学刊 1991年第4期13卷 372-377页

作者：潘尧令王云珍王济身华东师范大学电子科学技术系

本文通过测量电导率特性对LPCVD掺氧多晶硅(SIPOS)的电学特性进行了研究。结果表明,SIPOS的电学特性与其含氧量和退火温度有关。SIPOS的含氧量增加,其电导率下降;在退火过程中,随退火温度的不同,SIPOS的电导率的变化存在两个不同过程:... 详细信息

本文通过测量电导率特性对LPCVD掺氧多晶硅(SIPOS)的电学特性进行了研究。结果表明,SIPOS的电学特性与其含氧量和退火温度有关。SIPOS的含氧量增加,其电导率下降;在退火过程中,随退火温度的不同,SIPOS的电导率的变化存在两个不同过程:低温退火过程中,电导率的变化与SIPOS中的Si-O键的分布和作用有关;而在高温退火过程中,电导率的变化则是SIPOS薄膜再结晶的结果。本文对SIPOS的掺杂效应也进行了研究。结果表明,SIPOS掺杂后电导率明显提高;而含氧量对掺杂后的SIPOS的电导率的提高具有明显的抑制作用。

关键词：掺氧多晶硅汽相淀积电学特性

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半绝缘多晶硅在MOS集成电路上的应用

微电子学与计算机 1989年第6期6卷 12-13页

作者：王云珍潘尧令刘一彬宋非迟华东师范大学上海无线电十四厂

半绝缘多晶硅(SIPOS)是一种掺氧多晶硅,其电阻率一般在10~8～10^(10)Ω·cm范围。在半导体器件中,用它取代SiO_2作钝化膜具有良好的钝化作用。本文主要介绍SIPOS钝化技术在MOS集成电路上的应用。

关键词： MOS集成电路半绝缘多晶硅

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SIPOS-Si界面应力研究

华东师范大学学报(自然科学版) 1987年第4期 51-54页

作者：王云珍潘尧令华东师范大学电子科学技术系华东师范大学电子科学技术系八七届硕士研究生

本文用激光光学方法测量半绝缘多晶硅(SIPOS)一硅的界面应力,以研究SIPOS-Si界面结构及界面应力的物理机理。对于氧含量在10～35%的SIPOS薄膜的SIPOS-Si界面应力,我们发现界面应力与氧含量有明显的关系,一般说随氧含量的增加而减小,并... 详细信息

本文用激光光学方法测量半绝缘多晶硅(SIPOS)一硅的界面应力,以研究SIPOS-Si界面结构及界面应力的物理机理。对于氧含量在10～35%的SIPOS薄膜的SIPOS-Si界面应力,我们发现界面应力与氧含量有明显的关系,一般说随氧含量的增加而减小,并且由张应力变为压应力。此外,界面应力还与薄膜的淀积工艺有关;如:温度、淀积速率等。将样品进行高温退火,由于界面应力的热效应将使界面应力显著减少,并转变为压应力。这是高温热处理使SIPOS薄膜再结构的结果。

关键词： SIPOS-Si界面应力热处理过程

ELECTRICAL PROPERTIES OF LPCVD POLY-SILICON DOPED WITH OXYGEN ATOMS

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Journal of Electronics(China) 1993年第2期10卷 181-187页

作者：潘尧令王云珍 East China Normal University Shanghai 200072

The electrical conductivity of LPCVD polysilicon doped with oxygen atoms(acromymSIPOS)films has been measured to study the electrical properties of *** results showthat the electrical properties of SIPOS depend on both oxygen contents and annealing *** electrical conductivity decreases while the oxygen content in SIPOS *** temper-.ature dependence of the electrical conductivity of SIPOS during annealing shows that there aretwo kinds of conduction mechanisms,that is,conductivities of SIPOS are concerned in the reac-tion of Si-O bonds and the recrystallization of SIPOS during low temperature500℃)and hightemperature900℃)annealing,*** addition,the doping effect on the conductivityof SIPOS has been *** has been observed that doping made the increase of conductivityin SIPOS,but the oxygen contents apparently suppressed the increase of conductivity in doped-SIPOS.

关键词： LPCVD-SIPOS Electrical conductivity Oxygen content Doping

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一种提高SOS膜结晶质量的新途径

应用科学学报 1985年第3期 262-266页

作者：陈庆贵史日华蔡希介武蕴忠孙成龙潘尧令上海科学技术大学中国科学院上海冶金研究所

这是一种提高SOS膜结晶质量的新方法.这种方法包括三步:1)在蓝宝石衬底上先用电子束蒸发薄无定形硅保护层.2)然后在氢气中进行退火处理.3)再用通常CVD方法在带薄硅层上外延生长所需厚度(0.6～0.8μm)的SOS膜.对所得SOS膜进行电子衍射、N... 详细信息

这是一种提高SOS膜结晶质量的新方法.这种方法包括三步:1)在蓝宝石衬底上先用电子束蒸发薄无定形硅保护层.2)然后在氢气中进行退火处理.3)再用通常CVD方法在带薄硅层上外延生长所需厚度(0.6～0.8μm)的SOS膜.对所得SOS膜进行电子衍射、Nomarski相衬干涉显微镜表面观察、载流子浓度测量和光吸收研究表明:SOS膜质量完好,光吸收因子FA≤140×10~6cm-2,抑制了自掺杂,载流子浓度不超过1×1013cm-3.

关键词： SOS 保护层新途径载流子浓度载流子密度无定形硅结晶质量膜结晶

基于ASP-SERes2Net的说话人识别算法

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北京工业大学学报 2025年第1期51卷 42-50页

作者：令晓明陈鸿雁张小玉张真兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室兰州730070 兰州交通大学国家绿色镀膜技术与装备工程技术研究中心兰州730070

为提升说话人识别的特征提取能力,解决在噪声环境下识别率低的问题,提出一种基于残差网络的说话人识别算法——ASP-SERes2Net。首先,采用梅尔语谱图作为神经网络的输入;其次,改进Res2Net网络的残差块,并且在每个残差块后引入压缩激活(sq... 详细信息

为提升说话人识别的特征提取能力,解决在噪声环境下识别率低的问题,提出一种基于残差网络的说话人识别算法——ASP-SERes2Net。首先,采用梅尔语谱图作为神经网络的输入;其次,改进Res2Net网络的残差块,并且在每个残差块后引入压缩激活(squeeze-and-excitation,SE)注意力模块;然后,用注意力统计池化(attention statistics pooling,ASP)代替原来的平均池化;最后,采用附加角裕度的Softmax(additive angular margin Softmax,AAM-Softmax)对说话人身份进行分类。通过实验,将ASP-SERes2Net算法与时延神经网络(time delay neural network,TDNN)、ResNet34和Res2Net进行对比,ASP-SERes2Net算法的最小检测代价函数(minimum detection cost function,MinDCF)值为0.0401,等误率(equal error rate,EER)为0.52%,明显优于其他3个模型。结果表明,ASP-SERes2Net算法性能更优,适合应用于噪声环境下的说话人识别。

关键词：说话人识别梅尔语谱图 Res2Net 压缩激活(squeeze-and-excitation,SE)注意力模块注意力统计池化(attention statistics pooling,ASP) 附加角裕度的Softmax(additive angular margin Softmax,AAM-Softmax)

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数学与信息技术深度整合

小学科学 2025年第1期 124-126页

作者：陶令大方县马场镇木空小学贵州

为优化信息技术在小学数学教学中的应用,本文提出了一系列实践策略,包括利用信息技术优化教学设计、丰富教学方法、提升课堂交互、整合学习评价、培养师生的信息素养以及优化信息化教学环境。本文最后强调,信息技术与小学数学教学的深... 详细信息

为优化信息技术在小学数学教学中的应用,本文提出了一系列实践策略,包括利用信息技术优化教学设计、丰富教学方法、提升课堂交互、整合学习评价、培养师生的信息素养以及优化信息化教学环境。本文最后强调,信息技术与小学数学教学的深度整合不仅为教学带来了发展机遇,还促进教师信息技术应用能力的提升和学校信息化建设的全面发展。

关键词：信息技术小学数学教学课堂交互信息素养教学环境