EWT背结电池中的激光刻槽及腐蚀工艺的研究

作     者：刘维 周春兰 唐煜 王文静 赵海雷 Liu Wei;Zhou Chunlan;Tang Yu;Wang Wenjing;Zhao Hailei

作者机构：北京科技大学材料学院北京100083 中科院电工研究所北京100080 

出 版 物：《太阳能学报》 (Acta Energiae Solaris Sinica)

年 卷 期：2009年第30卷第1期

页      面：89-93页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080502[工学-材料学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家高新技术研究发展(863)计划(2006AA04Z345) 

主　　题：EWT背结电池 激光刻槽 损伤层 少子寿命 

摘      要：采用激光刻槽的方法制备电池背面结构,用化学腐蚀的方法对槽区进行清槽和刻蚀损伤层处理。当激光刻槽工艺参数为I=7.4A,v=50mm/s,激光步长为20μm时,通过改变腐蚀溶液浓度n、腐蚀温度T、和腐蚀时间t等工艺参数,可以有效控制槽区的几何形状。结果发现,当n=12%(w/v)、T=80℃、t=20～30min时,所得槽区表面平整光滑而侧壁垂直陡峭,同时损伤层也得到较为理想的刻蚀效果,能满足后续工艺的制备要求。激光刻槽工艺简单效率高,在保证电池效率的基础上降低了成本,适合EWT背结电池产业化。