纳米压印光刻技术——下一代批量生产的光刻技术(英文)

作     者：R.Pelzer P.Lindner T.Glinsner B.Vratzov C.Gourgon S.Landis P.Kettner C.Schaefer 

作者机构：EV Group DI Erich Thallner Strasse 1 A-4780 SchaerdingEV Group DI Erich Thallner Strasse 1 A-4780 SchaerdingEV Group DI Erich Thallner Strasse 1 A-4780 SchaerdingAMICA AMO GmbH Huysensweg 25 D-52074 AachenLaboratoire des Technologies de la Microelectronique-CNRS 17 R. des MartyrsF-38054 Grenoble CedexCEA-LETI17 R.des Martyrs F-38054 Grenoble CedexEV Group DI Erich Thallner Strasse 1 A-4780 SchaerdingEV Group DI Erich Thallner Strasse 1 A-4780 Schaerding 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2004年第33卷第7期

页      面：3-9页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

主　　题：纳米压印技术 热压印 紫外压印 电铸光刻 

摘      要：纳米压印光刻技术已被证实是纳米尺寸大面积结构复制的最有前途的下一代技术之一。这种速度快、成本低的方法成为生物化学、μ级流化学、μ-TAS和通信器件制造以及纳米尺寸范围内广泛应用的一种日渐重要的方法,如生物医学、纳米流体学、纳米光学应用、数据存储等领域。由于标准光刻系统的波长限制、巨大的开发工作量、以及高昂的工艺和设备成本,纳米压印光刻技术可能成为主流IC产业中一种真正富有竞争性方法。对细小到亚10nm范围内的极小复制结构,纳米压印技术没有物理极限。从几种纳米压印光刻技术中选择两种前景广阔的方法——热压印光刻(HEL)和紫外压印光刻(UV-NIL)技术给予介绍。两种技术对各种各样的材料以及全部作图的衬底大批量生产提供了快速印制。重点介绍了HEL和UV-NIL两种技术的结果。全片压印尺寸达200mm直径,图形分辨力高,拓展到纳米尺寸范围。