金刚石膜-硬质合金基体横截面组织的金相研究
Metallographic Study on the Cross-sectional Morphology of Diamond Film-Substrate作者机构：华南理工大学机电系广州510641 广州有色金属研究院广州510651
出 版 物：《功能材料》 (Journal of Functional Materials)
年 卷 期：1998年第29卷第6期
页 面：655-658页
核心收录：
学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学]
摘 要：采用MeF3金相显微镜对CVD金刚石膜－硬质合金基体横截面的组织进行了观察，重点研究了甲烷浓度对CVD金刚石膜－基横截面各组织层次的影响。结果表明：硬质合金基体的表面组织发生了显著的变化，形成了不同的组织层次，在化学侵蚀脱钴和等离子体刻蚀脱碳预处理的基础上所沉积的金刚石膜－基横截面组织层次为：金刚石膜／薄的石墨或游离碳层／细小WC层／残留脱碳层（η相十W相）／残留疏松层／YG8基体，甲烷浓度对各层次的形成和厚度有显著的影响。
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