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金刚石膜的氮掺杂行为

新型炭材料 2007年第2期22卷 183-187页

作者：李明吉吕宪义孙宝茹李春燕李博金曾孙吉林大学超硬材料国家重点实验室吉林长春130012

采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备了氮掺杂金刚石膜,用SEM、Raman光谱、XPS、EPR等测试手段研究了金刚石薄膜的品质和膜中的氮杂质状态。结果表明,随着氮气流量的增加,金刚石膜的形貌从完整的晶面逐渐变为与(100)面共存的“菜花... 详细信息

采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备了氮掺杂金刚石膜,用SEM、Raman光谱、XPS、EPR等测试手段研究了金刚石薄膜的品质和膜中的氮杂质状态。结果表明,随着氮气流量的增加,金刚石膜的形貌从完整的晶面逐渐变为与(100)面共存的“菜花状”,且非晶碳的含量增加,品质下降。金刚石膜中氮以Ns0、[N—V]0和[N—V]-1的形式存在,在较低氮气流量下[N—V]0和[N—V]-1的含量较多,Ns0氮杂质的质量分数在1.50×10-5～4.83×10-4之间变化。

关键词：金刚石膜 EA-CVD方法膜品质氮杂质

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金刚石膜压力传感器的优化设计(Ⅰ)

光电子．激光 2003年第5期14卷 441-444页

作者：杨保和孙伟孙以才李燕常明河北工业大学天津300130 天津理工学院天津300191

探讨了一种新型金刚石膜压力传感器的优化设计方法,采用了计算机辅助设计,用数值计算中的有限元理论和ANSYS程序,模拟传感器承载金刚石膜的应力场分布,确定了掺硼金刚石压敏电阻条的尺寸、最佳位置和排列方式。结果证明,按该设计研制的... 详细信息

探讨了一种新型金刚石膜压力传感器的优化设计方法,采用了计算机辅助设计,用数值计算中的有限元理论和ANSYS程序,模拟传感器承载金刚石膜的应力场分布,确定了掺硼金刚石压敏电阻条的尺寸、最佳位置和排列方式。结果证明,按该设计研制的金刚石膜压力传感器输出信号达到了较高灵敏度和较好的稳定性。

关键词：金刚石膜压力传感器计算机辅助设计限元理论 ANSYS程序压敏电阻

金刚石膜-硬质合金基体横截面组织的金相研究

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功能材料 1998年第6期29卷 655-658页

作者：匡同春周克崧代明江王德政刘正义华南理工大学机电系广州510641 广州有色金属研究院广州510651

采用MeF3金相显微镜对CVD金刚石膜－硬质合金基体横截面的组织进行了观察，重点研究了甲烷浓度对CVD金刚石膜－基横截面各组织层次的影响。结果表明：硬质合金基体的表面组织发生了显著的变化，形成了不同的组织层次，在化学侵蚀脱钴和... 详细信息

采用MeF3金相显微镜对CVD金刚石膜－硬质合金基体横截面的组织进行了观察，重点研究了甲烷浓度对CVD金刚石膜－基横截面各组织层次的影响。结果表明：硬质合金基体的表面组织发生了显著的变化，形成了不同的组织层次，在化学侵蚀脱钴和等离子体刻蚀脱碳预处理的基础上所沉积的金刚石膜－基横截面组织层次为：金刚石膜／薄的石墨或游离碳层／细小WC层／残留脱碳层（η相十W相）／残留疏松层／YG8基体，甲烷浓度对各层次的形成和厚度有显著的影响。

关键词： CVD 金刚石膜金相技术硬质合金横截面形貌

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金刚石膜生长过程原位光发射谱研究

物理化学学报 1996年第2期12卷 102-104页

作者：崔景彪方容川中国科技大学物理系合肥230026 中国科技大学结构分析开放实验室合肥230026

In situ opticaJ eAnssion spectra for an electron assisted hot filament diamond growth process were successfully measured with spatial resolution of better than 1 *** ethession lines from atoAnc hydrogen, molecular hydrogen, CH and CH+ radicals were observed in the visible region. Effects of the substrate bias on ethession spectra and diamond nucleation were also investigated. It is found that substratboan enhance the nucleation density, which may due to the changes of atoAnc hydrogen concentration and the increase of electron mean temperatuxe.

关键词：光发射谱 CVD 金刚石膜

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金刚石膜超高速抛光温度场的有限元模拟

人工晶体学报 2009年第1期38卷 152-158页

作者：周丽黄树涛许立福焦可如沈阳理工大学机械工程学院沈阳110168

金刚石膜超高速抛光是一种新的抛光方法,抛光区域温度场分布直接影响金刚石膜的抛光质量。本文采用三维热-力耦合有限元法分析了抛光盘超高速旋转时,不同直径的金刚石厚膜与抛光盘之间由于摩擦生热形成的温度场。结果表明:随着金刚石膜... 详细信息

金刚石膜超高速抛光是一种新的抛光方法,抛光区域温度场分布直接影响金刚石膜的抛光质量。本文采用三维热-力耦合有限元法分析了抛光盘超高速旋转时,不同直径的金刚石厚膜与抛光盘之间由于摩擦生热形成的温度场。结果表明:随着金刚石膜直径的增大,其内、外边缘温度差明显增大。只有当金刚石膜与抛光盘作同向相对运动时,金刚石膜的内、外边缘温度才趋于均匀。文中得出的结论可以为金刚石膜超高速抛光机的设计和实际操作提供可靠的理论依据。

关键词：金刚石膜抛光温度场热-力耦合

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金刚石膜与硬质合金刀片间界面Co相的研究

金属学报 1999年第6期35卷 643-647页

作者：匡同春白晓军成晓玲薛新民刘正义邱万奇广东工业大学实验研究中心广州510090 广东工业大学材料科学工程系广州510090 华南理工大学机电工程系广州510641

采用SEM和TEM对CVD金刚石膜／YG8硬质合金刀片的界面结合状态、界面Co相进行了研究．结果表明CVD金刚石膜与硬质合金刀片的界面结合类型主要是机械结合；界面相除了石墨碳外，局部区域还可观察到Co粒子．Co粒子上的生长物是微晶石墨和... 详细信息

采用SEM和TEM对CVD金刚石膜／YG8硬质合金刀片的界面结合状态、界面Co相进行了研究．结果表明CVD金刚石膜与硬质合金刀片的界面结合类型主要是机械结合；界面相除了石墨碳外，局部区域还可观察到Co粒子．Co粒子上的生长物是微晶石墨和六方金刚石的混合物，且CO粒子与其上的生长物之间存在明显的界面．

关键词：金刚石膜硬质合金机械结合界面相刀具

金刚石膜的计算机虚拟制备技术中的分子动力学模拟

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功能材料 2002年第2期33卷 162-165页

作者：安希忠刘国权张禹秦湘阁刘俊友北京科技大学材料学院北京100083

综述了近年来金刚石薄膜形成过程的分子动力学(MolecularDynamics ,简称MD)模拟研究 ,详细地阐述了原子间相互作用势的选取 ,总结了不同沉积条件下MD的计算模型和几种典型情况下的模拟结果。研究表明 :在原子尺度上 ,MD方法能较全面地... 详细信息

综述了近年来金刚石薄膜形成过程的分子动力学(MolecularDynamics ,简称MD)模拟研究 ,详细地阐述了原子间相互作用势的选取 ,总结了不同沉积条件下MD的计算模型和几种典型情况下的模拟结果。研究表明 :在原子尺度上 ,MD方法能较全面地提供有关膜生长的信息 ,对进一步了解金刚石膜形成的微观机制以及为细观层次仿真提供基本信息均具有重要意义。

关键词：金刚石膜虚拟制备分子动力学模拟原子间作用势

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金刚石膜/硅基体热残余应力场有限元分析

人工晶体学报 2007年第2期36卷 377-380页

作者：唐达培高庆西南交通大学应用力学与工程系成都610031

运用ANSYS软件建立了有限元模型,对化学气相沉积在硅基体上的金刚石膜内部和膜/基交界面处的各热残余应力分量的分布作了计算与分析。所建模型与已有的一维解析模型都能得出厚度截面上的法向应力分量的分布,且吻合较好,而前者的优点在... 详细信息

运用ANSYS软件建立了有限元模型,对化学气相沉积在硅基体上的金刚石膜内部和膜/基交界面处的各热残余应力分量的分布作了计算与分析。所建模型与已有的一维解析模型都能得出厚度截面上的法向应力分量的分布,且吻合较好,而前者的优点在于它还能模拟切向应力和剪应力等其它应力分量,这对分析膜/基界面的粘附与失效是至关重要的。

关键词：金刚石膜硅基体热残余应力有限元方法