无定形金刚石膜的光学性质
OPTICAL PROPERTIES OF AMORPHOUS DIAMOND FILM出 版 物：《材料研究学报》 (Chinese Journal of Materials Research)
年 卷 期：1997年第11卷第1期
页 面：81-84页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
基 金：广东省高教局重点学科基金
摘 要：采用磁过滤真空溅射离子沉积技术，研究了不同衬底负偏压下制备的样品的吸收光谱和光能隙，用632．8nm的椭圆偏振仪测量了膜的厚度和折射率．结果表明：衬底负偏压Vb在-50—20V范围内制备的样品，其光吸收主要是态的吸收，膜中有较多的SP3组份，光能降为3．1～3．4eV，形成无定形金刚石薄膜（a—D）
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