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psg钝化膜密化工艺研究
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半导体技术 1992年 第6期8卷 38-40页
作者: 王继春 史保华 济南半导体元件实验所 250013 西安电子科技大学 710071
作者对半导体芯片的psg钝化膜进行了密化处理,对密化膜的质量作了多方面的分析,并且对应用该工艺的器件可靠性进行了考核,证实密化工艺对psg钝化膜之下的金属化层无不良影响,密化后的psg更加致密,具有优良的抗潮热、抗沾污能力,从而具... 详细信息
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MSLT、psg诊断发作性睡病的临床价值
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山东医药 2005年 第17期45卷 40-41页
作者: 谭春英 李冲 杜好瑞 新乡医学院第二附属医院 河南新乡453002
发作性睡病(NC)是一种慢性非进行性睡眠障碍性疾病,其病因未明,常于青少年期起病并伴随终生,临床典型的发作性睡病四联症(睡眠发作、猝倒症、睡瘫症及睡眠幻觉)并不常见,大多以反复发作的不可抗拒的白日过度嗜睡(EDS)为主诉,持续... 详细信息
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失眠症中医不寐五神分型肾不藏志型与脾不藏意型血清DA含量及psg睡眠结构参数特征研究
失眠症中医不寐五神分型肾不藏志型与脾不藏意型血清DA含量及PSG...
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作者: 彭志鹏 新疆医科大学
学位级别:硕士
目的:探讨“中医不寐五神分型诊断法”肾不藏志型与脾不藏意型血清多巴胺(D A)含量及多导睡眠图(psg)结构参数的特征变化,以期发现更多“中医不寐五神分型诊断法”实验室证据,进行临床推广及应用。方法:肾不藏志型与脾不藏意型不寐患者... 详细信息
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psg低压CVD装置
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微纳电子技术 1980年 第6期38卷 85-90页
作者: 黑河治重 崔恩录
使用扩散炉采取低压方法的 CVD 技术与以往常压方法相比,在大直径硅片的装片容量和生长膜的均匀性方面都有提高,对高密度高质量的超大规模集成电路的研制会有很大贡献。表1列出的数据是目前半导体制造工艺采用低压 CVD 装置获得的。但... 详细信息
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psg—52型平面磨床的组合逻辑控制线路
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磨床与磨削 1986年 第3期 38-43页
作者: 卞德谟 金桂芬 上海磨床研究所
卧轴矩台平面磨床是一种需要量大,用途广泛的机床,其动作一般由机械、电气和液压联合控制。传统的电气控制方式是用继电器控制,缺点是电箱体积大,而且用触点控制会造成机床动作可靠性差。如果采用集成电路硬件代替继电器,强电弱化,可使... 详细信息
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AVAPS-AE模式的无创通气对AECOPD合并OSA患者psg参数、ESS评分及舒适度的影响
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昆明医科大学学报 2024年 第4期45卷 105-112页
作者: 田茂良 韩博学 王佳梅 宗政 邓治平 自贡市第一人民医院呼吸与危重症医学科 四川自贡643000 火箭军总医院呼吸科 北京100000
目的探讨平均容积保证压力支持-自动呼气压(AVAPS-AE)模式的无创通气对慢性阻塞性肺疾病急性加重期(AECOPD)合并阻塞性睡眠呼吸暂停(OSA)患者多道睡眠监测(psg)参数、Epworth嗜睡量表(ESS)评分及舒适度的影响。方法选取2020年1月至2022... 详细信息
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psg和Bpsg等离子沉积的工艺特征
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微电子学 1985年 第3期 74-77页
作者: S.Shanfield ,S.Bay ,胡雯玲
制造高密度集成电路的关键之一是通过金属条的夹层介质台阶的形貌。因底层结构或通过腐蚀引起的这些台阶应逐渐倾斜以保证其后沉积的金属互连条的连续性。在器件可容温度下,对磷硅玻璃(psg)或硼磷硅玻璃(Bpsg)夹层介质进行回流就可得到... 详细信息
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烷氧基硅烷混合热解淀积psg二次钝化膜的工艺探讨
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半导体技术 1986年 第6期 21-27页
作者: 陆鸣 上海交通大学LSI研究中心
psg(Phosphosilicate Glass)膜是硅器件常用的表面钝化膜.本文介绍一新的常压淀积系统,在外部引入富氧的条件下,可使烷氧基硅烷的热解温度降至400℃以下,从而特别适用于淀积二次钝化膜.给出了工艺的实验曲线和采用正交试验优化的工艺规... 详细信息
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SiO2、psg膜在HF-PO43--H2O体系中的腐蚀速率的研究
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微电子学 1983年 第5期 25-30页
作者: 夏立生 岳和平 胡永清
对化学汽相沉积(CVD)的SiO2、psg膜在HF-PO43--H2O体系中的腐蚀速率作了研究。该体系与HF-NH4F-H2O体系相比,psg膜的腐蚀速率及psg膜与SiO2膜的腐蚀速率比将会明显地下降。对实验结果在机理上作了定性的探讨。
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SiO2和psg膜的湿法化学腐蚀及玻璃纯化IC中的腐蚀诱生缺陷
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微电子学 1987年 第3期 67-73+46页
作者: Werner Kern,杨功铬 RCA实验室
本文第一部份综述有关文献并评价各类二氧化硅和磷硅玻璃湿法化学腐蚀的化学原理、腐蚀机理和腐蚀工艺;第二部分讨论因腐蚀而引起的诱生缺陷。业已证实,玻璃膜复盖层经湿法化学腐蚀之后在集成电路芯片上零散出现的结晶形结构物与氟化铵... 详细信息
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