检索结果-南通市图书馆

Journal of Semiconductors 1993年第8期14卷 509-512页

作者：黄大定姚振钰壬治璋王向明刘志凯秦复光中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室北京100083

采用质量分离的低能离子束外延(MALE-IBE)技术进行超薄硅外延生长,在600C下获得单晶硅外延层,厚度2000A,过渡区宽度小于500A。有较好的电学性质。

关键词：硅单晶低能电子束质量分离

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CO_2团束的离化、加速及质量分离

真空 1996年第6期33卷 17-22页

作者：田民波山田公清华大学材料科学与工程系日本京都大学离子工学实验室

设计并制造了ＣＯ２离化装置——由电子轰击对团束进行离化，由电极电位进行加速，由阻止势进行质量分离。通过实验确定了最佳参数，其中包括：离化电子电流和电压、加速电压、阻止电势、供气压力等。

关键词：气体离子团束二氧化碳加速质量分离离化

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噪声激励下欠阻尼粒子的电流输运与质量分离

噪声激励下欠阻尼粒子的电流输运与质量分离

作者：王杰陕西师范大学

学位级别：硕士

非线性系统的定向输运现象在物理,生物,化学等不同方面已成为一个十分具有吸引力的研究领域,受到学者的广泛关注.棘齿系统能够有效的利用系统的棘齿效应将非定向外部驱动力和噪声的能量部分转换为系统定向输运的能量,并且已有研究表明... 详细信息

非线性系统的定向输运现象在物理,生物,化学等不同方面已成为一个十分具有吸引力的研究领域,受到学者的广泛关注.棘齿系统能够有效的利用系统的棘齿效应将非定向外部驱动力和噪声的能量部分转换为系统定向输运的能量,并且已有研究表明可以通过定向输运现象分离细小颗粒,除此之外,在控制输运及实现某些生物功能等方面也具有十分广泛的应用前景.因此,深入研究非线性系统的定向输运现象有着深远意义.众所周知,噪声广泛存在于自然界中.大量的研究和实验已经证明了,噪声并不是总会给系统带来消极的影响,在某些情况下,噪声也会产生一些积极的创造性的作用.因此,研究噪声对非线性系统定向输运的影响是十分有必要的.如下是本文的研究内容及结论:1.分析了欠阻尼粒子在关联白噪声和外部波动力共同影响下的电流输运现象,利用数值模拟讨论分析了参数对电流定向输运产生的影响.研究表明:当关联噪声强度λ>0时,电流小于零,当λ质量越小,产生的电流越大,并且在外力与关联噪声强度同号时,甚至会引起电流的逆转.因此,我们可以根据粒子的质量来分离它们.2.针对受色噪声和外力驱动的欠阻尼粒子在周期势中的运动,建立相应的数学模型,对其输运现象进行了研究.结果表明:周期势函数的非对称参数△越大,对应的电流越大.外力非零时,随加性噪声强度α的增加,电流单调减小,而电流随乘性噪声强度D的变化是非单调的.当相关时间τ1,τ2较短或粒子质量m较小时会对电流产生一个较大的影响.最后,外力越大,电流或电流的绝对值也越大.

关键词：电流输运布朗马达关联白噪声色噪声质量分离

不同电磁场位形下离子射流质量分离的特性研究

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不同电磁场位形下离子射流质量分离的特性研究

作者：张乐哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

离子束流的电磁场控制技术在航天、医学、原子能及科学研究等各个领域俱有体现，是目前的研究热点。本课题在传统电磁分离法的基础上深入研究了不同位形电磁场情况下质量分离的可行性，通过模拟不同质量离子在不同位形电磁场中的运动轨... 详细信息

离子束流的电磁场控制技术在航天、医学、原子能及科学研究等各个领域俱有体现，是目前的研究热点。本课题在传统电磁分离法的基础上深入研究了不同位形电磁场情况下质量分离的可行性，通过模拟不同质量离子在不同位形电磁场中的运动轨迹，计算出质量色散的大小，最终给出了不同位形电磁场的分离特点。本课题首先深入研究了传统的电磁质量分离法中质量分离的物理过程，给出了传统电磁分离法的原理和典型装置的结构，并总结了传统分离方法的优缺点，同时针对其具体缺陷提出改进措施。然后，本文研究了在线型电流形成的磁场中，离子质量分离的可行性。通过应用MATLAB软件模拟铀、锂及氙氪混合气体束流分别在相同速度和相同能量入射时的粒子运动轨迹，本文给出了束流在线型电流磁场中的质量分离色散特性，并在此基础上分析了线型电流磁场分离法的优点和局限性。再次，本课题研究了具有周向磁场和径向电场的正交电磁场中质量分离的可行性。基于粒子在正交电磁场中的运动方程推导出粒子运动时振荡的各级极点，应用MATLAB软件以铀、锂为例模拟计算，结果显示出其质量色散特性高于传统电磁法，亦有避免“3/2定律”限制且减小装置尺寸的特点。最后，本文研究了具有轴向磁场和径向电场的正交电磁场位形下电磁质量分离的可行性及优缺点，并在此基础上展开对于纯磁场位形下质量聚焦位置不重叠的讨论。利用MATLAB软件模拟了带电粒子轨迹，进一步验证了聚焦位置不重叠的两种情形。本课题的理论分析和仿真结果表明，非均匀场具有更加理想的质量色散特性，而混合的正交场可以更加良好地提升这种质量色散效果。

关键词：质量分离电磁场位形聚焦重叠粒子模拟

质量分离的双离子束沉积法生长CeO_2(111)/Si薄膜

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稀有金属 2001年第6期25卷 401-403,410页

作者：柴春林杨少延刘志凯廖梅勇陈诺夫王占国中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室北京100083

利用一种全新的薄膜生长技术—质量分离的双离子束沉积技术 ,在较低温度 ( 40 0℃ )下对CeO2 ( 111) /Si( 10 0 )薄膜的生长进行了研究。两束离子的比例以及离子束的能量对薄膜的成分和晶体质量有很大影响 ,较高能量 ( 3 0 0eV)的离子... 详细信息

利用一种全新的薄膜生长技术—质量分离的双离子束沉积技术 ,在较低温度 ( 40 0℃ )下对CeO2 ( 111) /Si( 10 0 )薄膜的生长进行了研究。两束离子的比例以及离子束的能量对薄膜的成分和晶体质量有很大影响 ,较高能量 ( 3 0 0eV)的离子束对薄膜有轰击作用 ,并有助于薄膜的择优取向生长。在 4 0 0℃时 ,制备了CeO2 ( 111) /Si( 10 0 )单晶薄膜。

关键词：薄膜生长二氧化铈/硅薄膜双离子束沉积质量分离

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类金刚石薄膜的质量分离离子束沉积

国外核聚变与等离子体应用 1994年第6期 66-69页

作者： Huck.,H 李闵一

离子能量和沉积温度对离子束沉积碳膜表面形貌的影响

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物理学报 2001年第7期50卷 1324-1327页

作者：廖梅勇秦复光柴春林刘志凯杨少延姚振钰王占国中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室北京100083

利用质量分离的低能离子束沉积技术 ,得到了非晶碳膜 .所用离子能量为 5 0— 2 0 0eV ,衬底温度从室温到80 0℃ .在沉积的能量范围内 ,衬底为室温时薄膜为类金刚石 ,表面非常光滑 ;而 6 0 0℃下薄膜主要是石墨成分 ,表面粗糙 .沉积能量... 详细信息

利用质量分离的低能离子束沉积技术 ,得到了非晶碳膜 .所用离子能量为 5 0— 2 0 0eV ,衬底温度从室温到80 0℃ .在沉积的能量范围内 ,衬底为室温时薄膜为类金刚石 ,表面非常光滑 ;而 6 0 0℃下薄膜主要是石墨成分 ,表面粗糙 .沉积能量大于 140eV ,80 0℃时薄膜表面分立着高度取向的、垂直衬底表面、相互平行的开口碳管 .用高分辨电子显微镜看到了石墨平面的垂直择优取向 ,离子的浅注入和应力是这种优先取向的主要机理 .

关键词：非晶碳膜表面形貌质量分离低能离子束沉积离子能量沉积温度

真空下激光烧蚀碳化钨铜多组分等离子体发射光谱的时空演化研究

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真空下激光烧蚀碳化钨铜多组分等离子体发射光谱的时空演化研究

作者：袁舒大连理工大学

学位级别：硕士

托卡马克聚变装置在运行过程中,面对等离子体材料(Plasma-Facing Material,PFM)第一壁和偏滤器会受到来自芯部等离子体热流和粒子流的冲击,发生一系列等离子体与壁相互作用(Plasma Wall Interaction PWI),导致壁表面侵蚀与结构损伤,并... 详细信息

托卡马克聚变装置在运行过程中,面对等离子体材料(Plasma-Facing Material,PFM)第一壁和偏滤器会受到来自芯部等离子体热流和粒子流的冲击,发生一系列等离子体与壁相互作用(Plasma Wall Interaction PWI),导致壁表面侵蚀与结构损伤,并伴随着燃料滞留、杂质沉积等现象。激光诱导击穿光谱技术(Laser-induced breakdown spectroscopy,LIBS)是一种可以实现原位、在线、远程的非接触式元素分析技术,并可同时对多种元素快速检测。目前LIBS已逐步应用于国家大科学装置“东方超环-EAST”的PWI过程的诊断,包括测量分析燃料氘滞留以及第一壁上的杂质沉积。由于激光烧蚀壁样品产生等离子体的物理过程的十分复杂,激光与物质相互作用的详细物理机制尚不完全清楚,激光诱导产生的等离子体的发射光谱强度受很多因素影响,如激光的光源特性,等离子体的瞬态演化特性,托卡马克极端环境,材料本身性质和元素含量等,这些因素均可能会影响LIBS光谱信号的强度和稳定性。因此,LIBS技术在线诊断PWI过程的难题之一就是如何实现准确的元素定量分析。针对在真空环境下,多组分等离子体的空间非均匀特性,本论文对三元合金样品:碳化钨铜[(WC)Cu]和两种单质C、W样品,利用纳秒脉冲激光进行烧蚀产生等离子体,分别研究单组分等离子体和多组分等离子体光谱辐射特性以及各类物种(原子、离子)分布的时空演化特性,并对等离子体膨胀过程中的“空间分离”以及“离子加速”现象进行了细致的研究。论文具体内容如下:第一章,首先简要的介绍核聚变的原理,并论述要实现可控核聚变需要满足劳森判据。其次介绍了磁约束核聚变以及托卡马克装置,并且对其发展历史及研究现状做了比较全面系统的梳理。然后依次介绍等离子体与壁材料相互作用和要实现壁元素定量分析需要面对的技术难题,最后列出论文研究思路与内容。第二章,首先介绍激光诱导击穿光谱技术的工作原理和实验装置。其次介绍了激光诱导击穿等离子体的光谱辐射特性以及描述等离子体的基本参数和计算方式,例如电子温度,电子密度。第三章,研究了真空激光诱导击穿钨和石墨等离子体的发射光谱的时间演化规律,不同辐射机制发生的时间尺度以及不同特征谱线的时间演化规律和空间分布特性。研究表明在等离子体中,W的原子谱线和离子谱线的寿命可以达900 ns和500 ns,C原子谱线和离子寿命分别为650 ns和380 ns,但对应的碳原子/离子的速度要大于钨。第四章,利用时空分辨光谱研究了碳化钨铜在真空环境下,激光烧蚀等离子体的膨胀过程,研究了不同特征谱线的时间演化规律和空间分布特性,并计算了不同物种在膨胀过程中的平均速度。表明等离子体在真空膨胀的过程中,不同组分的元素对应原子谱线和离子谱线以及连续背景等随时间的演化规律有所不同,与谱线的产生机制、测量位置以及谱线的跃迁能级相关;真空下激光烧蚀样品产生的等离子体在膨胀过程中元素分布具有更大的空间不均匀性,不同元素对应的粒子的空间分布存在着显著差异。激光烧蚀等离子体中低Z原子/离子的膨胀速度大于高Z原子/离子的膨胀速度;同一元素的离子速度大于其原子速度,“质量分离效应”和“离子鞘层加速”是导致激光烧蚀等离子体膨胀过程中元素空间分布不均匀性原因。该研究结果将为提高LIBS定量分析的准确性提供有益的实验数据参考。

关键词：激光诱导击穿光谱质量分离电荷分离电子激发温度电子密度