CO_2团束的离化、加速及质量分离
CO 2 Cluster Ion Beam Ionizing,Accelerating and Mass Separating作者机构：清华大学材料科学与工程系 日本京都大学离子工学实验室
出 版 物：《真空》 (Vacuum)
年 卷 期：1996年第33卷第6期
页 面：17-22页
学科分类：081704[工学-应用化学] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0703[理学-化学] 070301[理学-无机化学]
摘 要：设计并制造了ＣＯ２离化装置——由电子轰击对团束进行离化，由电极电位进行加速，由阻止势进行质量分离。通过实验确定了最佳参数，其中包括：离化电子电流和电压、加速电压、阻止电势、供气压力等。
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