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电子束曝光系统中精密工件台的测量系统

微纳电子技术 2009年第4期46卷 244-249页

作者：严伟胡松杨勇周绍林蒋文波李艳丽乔俊仙中国科学院光电技术研究所成都610209

介绍了电子束曝光技术的原理。根据精密工件台对测量系统的需要,设计了三轴工件台测量系统布局方式,并简单介绍了激光干涉测量系统所需元器件数量的计算方法。重点讨论了双频激光干涉测量原理、双频光束与运动方向敏感性的关系以及读出... 详细信息

介绍了电子束曝光技术的原理。根据精密工件台对测量系统的需要,设计了三轴工件台测量系统布局方式,并简单介绍了激光干涉测量系统所需元器件数量的计算方法。重点讨论了双频激光干涉测量原理、双频光束与运动方向敏感性的关系以及读出装置信号处理方法。在此基础上,对研制的电子束曝光系统精密工件台进行了直线性和垂直性实验测试,其测量分辨率达到0.6nm,测量重复性精度达到±0.06μm,测量绝对误差达到0.011μm。结果表明,采用双频激光测量系统可确保工件台系统测量和定位准确性。

关键词：电子束曝光机激光干涉仪精密工件台光刻方向敏感性

TRS—80微计算机用于激光精密工件台的定位和测试

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光学工程 1982年第5期 80-84页

作者：刘业异黄泽永

TRS—80微计算机对激光精密工件台的定位控制和测试,使激光精密工件台成为完整的 X,Y 两座标精密定位系统。TRS—80微型计算机对工件台的定位控制和测试包括:输出 X,Y 两个座标预定位置二进制码数和两个座标位置的改数二进制码数,最大... 详细信息

TRS—80微计算机对激光精密工件台的定位控制和测试,使激光精密工件台成为完整的 X,Y 两座标精密定位系统。TRS—80微型计算机对工件台的定位控制和测试包括:输出 X,Y 两个座标预定位置二进制码数和两个座标位置的改数二进制码数,最大的二进制码数为22位,对工件台外设电路的

关键词：精密工件台 TRS 数据缓冲寄存器计算机通道选择器激光

电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析

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电子工业专用设备 2005年第6期34卷 11-13,21页

作者：乔俊仙王肇志余国彬中国科学院光电技术研究所

介绍了电子束曝光机的一种新型精密工件台,在结构上成功地将工件台的承载力与导轨的导向作用分离开来,极大地提高了工件台的运动精度和运行的平稳性。论述了精密工件台的结构设计要点、几何精度以及达到的技术指标。

关键词：电子束曝光机精密工件台结构设计几何精度

基于单频激光干涉仪的精密工件台定位系统设计

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现代科学仪器 2011年第2期28卷 49-52页

作者：王蕴薛虹韩立中国科学院电工研究所北京100190 中国科学院研究生院北京100190

激光干涉仪是以稳频氦氖激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的工具。近年来,激光干涉仪一直作为精密测量工具为精密加工机和工件台进行定位校准工作。本文介绍了一种基于单频激光干涉仪的精密工件台测量定位系统。本定位... 详细信息

激光干涉仪是以稳频氦氖激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的工具。近年来,激光干涉仪一直作为精密测量工具为精密加工机和工件台进行定位校准工作。本文介绍了一种基于单频激光干涉仪的精密工件台测量定位系统。本定位系统采用单频激光干涉仪作为精密测量工具,采用高档8位单片机作为数据处理微控单元,并基于VC++语言编写相关控制软件。实际应用证明本系统定位速度快,精度高,理论上最小分辨率为38.6pm。

关键词：单频激光干涉仪精密工件台精密定位

光刻机精密气浮工件台的振动特性分析及运动控制

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光刻机精密气浮工件台的振动特性分析及运动控制

作者：鲍秀兰华中科技大学

学位级别：硕士

光刻机是IC制造中最重要和最复杂的关键设备之一,精密运动工件台是光刻机中重要的子系统,其性能直接影响着光刻机的精度和生产效率。本文重点研究光刻机精密气浮工件台的振动特性和运动控制技术。精密气浮工件台是一个可实现6自由度高... 详细信息

光刻机是IC制造中最重要和最复杂的关键设备之一,精密运动工件台是光刻机中重要的子系统,其性能直接影响着光刻机的精度和生产效率。本文重点研究光刻机精密气浮工件台的振动特性和运动控制技术。精密气浮工件台是一个可实现6自由度高速高精运动的复杂结构,其中零件众多,结构复杂,其传动和接触方式多样,并且包括簧片、柔性支撑块等许多高精度、功能特殊的零件,所以精密工件台的动态特性相当复杂。精密气浮工件台定位精度要求达到10nm,已接近物理极限,其精度要求对于控制系统也是一个极大的挑战。本文利用有限元分析方法研究了精密工件台的振动特性,利用分析结果建立了精密工件台的控制模型,提出了精密工件台的控制策略,并进行了控制仿真。首先在分析精密工件台的结构和工作原理的基础上,讨论了各种连接方式和特殊零件的建模处理,建立了精密工件台的有限元模型并进行了振动特性仿真,通过仿真结果可知由振动对x、y和θz向的定位精度影响较大。由仿真结果还可以识别出前气浮系统产生的振动频率范围为000Hz。利用振动分析的结果,对精密工件台进行了结构简化并建立了控制模型;在分析了精密工件台驱动电机的工作原理的基础上,建立了驱动电机的模型,并根据控制的需要对驱动电机进行了位置坐标转换和力坐标转换;根据硅片曝光扫描的需要,进行了精密工件台的轨迹规划;为了实现精密工件台快速、平稳和精密的定位性能,提出了位置/速度双环PID控制策略;最后结合规划的轨迹和建立的控制模型,采用提出的控制策略对精密工件台进行了的控制仿真。通过精密工件台模态试验的结果对有限元仿真进行了验证,7阶主要峰值的相对误差都在10%以内,仿真与试验的结果基本一致,证明了仿真建模中的处理方法是可行的,振动特性分析的计算结果准确。通过精密工件台控制模型的仿真结果可以看出其在步进扫描方向精确地跟踪了设定轨迹,在扫描阶段定位精度达到了纳米级,满足了控制要求。

关键词：光刻机精密工件台振动气浮控制

压电陶瓷微位移驱动器在精密工件台上的应用研究

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光学精密工程 1994年第4期2卷 64-68页

作者：荆涛中国科学院长春光学精密机械研究所

以压电陶瓷微位移原理为基础，对精密驱动技术在精密定位工件台上的应用作了实验研究。一个是对工件台的微动台进行驱动，另一个是对导轨直线进行误差补偿。设计了一个包括高压精密可调电源、压电微位移驱动器、作为反馈元件的光栅干涉仪。

关键词：误差补偿压电陶瓷微量位移精密工件台导轨

基于H_∞方法的鲁棒迭代学习控制器在精密工件台中的应用

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计算机应用与软件 2009年第10期26卷 152-154,161页

作者：杨孟远黄发均中船重工集团公司第七二二研究所湖北武汉430079

针对精密工件台系统,研究迭代学习控制器(ILC)的设计问题,提出一种基于H∞法的ILC设计方法,分析该方法的可解性,推导出误差收敛的充要条件,并通过此方法将迭代学习控制器的综合问题转化为H∞最(次)优控制器的综合问题。同时介绍一种可... 详细信息

针对精密工件台系统,研究迭代学习控制器(ILC)的设计问题,提出一种基于H∞法的ILC设计方法,分析该方法的可解性,推导出误差收敛的充要条件,并通过此方法将迭代学习控制器的综合问题转化为H∞最(次)优控制器的综合问题。同时介绍一种可明确处理过程不确定性的鲁棒ILC方法,这种ILC算法可使系统的学习性能最大化。精密工件台的实验结果表明所提出的设计方法是有效的。

关键词：迭代学习控制鲁棒性精密工件台 H∞综合学习性能

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微纳尺度操作的系统设计

现代科学仪器 2009年第4期26卷 18-20,24页

作者：李勇滔韩立殷伯华吴震刘俊标中国科学院电工研究所北京100190 中国科学院研究生院北京100049

微纳尺度操作是当前先进制造技术领域的一个重要发展方向。为了实现在亚微米及纳米尺度下进行实时观测下的操纵,设计了一种基于SEM的微纳操作系统,本系统由数字式环境扫描电子显微镜系统、精密工件台、微纳操作机构和计算机系统组成,采... 详细信息

微纳尺度操作是当前先进制造技术领域的一个重要发展方向。为了实现在亚微米及纳米尺度下进行实时观测下的操纵,设计了一种基于SEM的微纳操作系统,本系统由数字式环境扫描电子显微镜系统、精密工件台、微纳操作机构和计算机系统组成,采用数字式环境扫描电子显微镜作为微纳操作的观测器,在SEM的样本室内安装微纳操作臂,计算机系统控制微纳操作臂,使其在SEM的实时观测下对放置在精密工件台上的样本进行操纵。实验结果证明本系统能够适于在各种环境下进行微纳尺度操作,具有很强的实用性。

关键词：微纳尺度操作 SEM 微纳操作臂精密工件台

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探索新结构平面电机加快IC产业发展步伐

硅谷 2011年第14期 185-185页

集成电路(Integrated Circuit,IC)的集成度和特征尺寸直接体现了一个国家的制造技术水平超精密工件台作为制造集成电路的关键设备,是IC产业向高集成度、高效率和低成本方向不断发展的重要支柱超精密工件台具有纳米级高精度同步定位的要... 详细信息

集成电路(Integrated Circuit,IC)的集成度和特征尺寸直接体现了一个国家的制造技术水平超精密工件台作为制造集成电路的关键设备,是IC产业向高集成度、高效率和低成本方向不断发展的重要支柱超精密工件台具有纳米级高精度同步定位的要求,直接决定了光刻机所能实现的特征尺寸和生产效率,其各项指标代

关键词：平面电机新结构精密工件台光刻机 IC 产业