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  • 16 篇 期刊文献
  • 1 篇 学位论文

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  • 17 篇 电子文献
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    • 2 篇 教育学
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  • 3 篇 半导体设备
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  • 2 篇 刻蚀
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机构

  • 2 篇 苏州大学
  • 1 篇 北京真空物理实验...
  • 1 篇 江苏省浒关蚕种场
  • 1 篇 北京化工学院
  • 1 篇 大连市第二十高级...
  • 1 篇 清华大学
  • 1 篇 中国电子科技集团...
  • 1 篇 机械工业部沈阳真...
  • 1 篇 芜湖职业技术学院
  • 1 篇 东北大学
  • 1 篇 湖北省浠水县第一...
  • 1 篇 北京仪器厂
  • 1 篇 湖南师范大学

作者

  • 1 篇 苏铮
  • 1 篇 谢利华
  • 1 篇 谭远德
  • 1 篇 陈特超
  • 1 篇 张展
  • 1 篇 杨乃恒
  • 1 篇 王晓光
  • 1 篇 石玲
  • 1 篇 王怡德
  • 1 篇 汪宏琪
  • 1 篇 戴福隆
  • 1 篇 虞国平
  • 1 篇 朱玉芳
  • 1 篇 袁磊
  • 1 篇 江月山
  • 1 篇 王毓民
  • 1 篇 何子光
  • 1 篇 周天承
  • 1 篇 曲成波
  • 1 篇 缪同群

语言

  • 17 篇 中文
检索条件"主题词=反应离子"
17 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
反应离子刻蚀在穿透硅通孔封装技术中的应用研究
反应离子刻蚀在穿透硅通孔封装技术中的应用研究
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作者: 虞国平 苏州大学
学位级别:硕士
随着社会的发展,人们需要体积更小,功耗更低,成本也更低的IC(Integrated Circuit,集成电路)产品。正是这种旺盛的需求极大推动了半导体IC封装技术的发展。传统的IC二维封装方式,是以引线键合方式将各个芯片连接起来。因此,信息传输经过... 详细信息
来源: 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
离子反应离子刻蚀机自动匹配网络的研究
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北京化工学院学报 1990年 第4期17卷 69-76,110页
作者: 苏铮 吕砚山 王怡德 北京仪器厂 北京化工学院
用分布参数的电路理论对等离子刻蚀、反应离子刻蚀机上从射频电源到真空室的功率传输电路进行了分析。用双口网络的分析方法推导出L型低通向上匹配网络的参数计算公式。根据射频放电光电信号与反射功率的关系,提出了采用非线性自寻优的... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
采用反应蒸发和反应离子镀膜法制备的薄膜的微结构分析
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光机电信息 1996年 第1期13卷 13-20页
作者: 缪同群
电子显微镜,触针式轮廓仪和拉曼微探针分析表明,采用反应蒸发和反应离子镀方法所制备的薄膜有显著的差异.反应蒸发产生的薄膜具有大家所熟知的柱状结构。
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认识离子反应本质的手持技术新实验
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化学教育 2016年 第9期37卷 56-57页
作者: 张展 曲成波 大连市第二十高级中学
利用手持技术监测逐滴滴加硫酸钠溶液的氢氧化钡溶液pH的变化情况,揭示反应过程中氢氧根离子的行为,以帮助学生认识离子反应过程中并非所有离子均参与反应,从而科学、全面认识离子反应的本质。
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太阳能电池生产线中的新型等离子体刻蚀机的研制
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电子工业专用设备 2010年 第8期39卷 41-44页
作者: 陈特超 谢利华 中国电子科技集团公司第四十八研究所 湖南长沙410111
介绍了用于太阳能电池片生产工艺中的新型等离子体刻蚀机及设备的工作原理、构造、简单的工艺试验结果。与现在生产线上普遍使用的老式等离子体刻蚀机相比,它大大提高了生产产能,减少了设备维护工作量。该设备操作简单,是一种实用、高... 详细信息
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试件栅刻蚀技术研究
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实验力学 1996年 第1期11卷 18-23页
作者: 石玲 戴福隆 清华大学
本文研究和实现了在试件表面直接涂布光刻胶制得振幅型低频栅和位相型高频全息栅的基础上,分别利用湿法化学腐蚀和反应离子刻蚀技术蚀刻试件栅的工艺。在几种不同材料的试件表面刻蚀出了试件栅,这种技术的实现使云纹干涉法和精细网格... 详细信息
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掺杂、扩散、离子注入工艺
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电子科技文摘 1999年 第5期 37-38页
Y98-61303-467 9905949硼的硼增强扩散:超浅结的限制因数=Boron-en-hanced-diffusion of boron:the limiting factor for ultra-shallow junctions[会,英]/Agarwal,A.& Eaglesham,D.J.//1997 IEEE International Electron Devices Meet-... 详细信息
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固态电致变色薄膜器件的发展现状
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真空 1996年 第4期33卷 6-12页
作者: 王晓光 江月山 杨乃恒 袁磊 王毓民 东北大学 北京真空物理实验室 机械工业部沈阳真空技术研究所
本文较系统地综述了固态电致变色薄膜和电致变色薄膜器件的研究发展、过程及现状。
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光学薄膜参数、测试及设备
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中国光学 1994年 第3期8卷 74-75页
O484.5 94032127表西光电压法测量 a—Si:H 少子扩散长度的进一步研究=The further study on measuring diffu-sion length of minority carrier in a—Si:Hwith SPV method[刊,中]/张治国(内蒙古师范大学物理系),宿晶厚(北京工业大学... 详细信息
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适于家蚕AFLP标记的酶切反应系统
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江苏蚕业 2000年 第3期22卷 5-9页
作者: 朱玉芳 汪宏琪 谭远德 苏州大学生物系 苏州215151 江苏省浒关蚕种场 苏州215151 湖南师范大学生命科学院 长沙410081
AFLP作为一种新的分子标记技术,其成功的关键依赖于DNA的酶解效果,本文使用PstI、TaqI两种限制性内切酶,选用不同的酶切方式与不同的反应离子的组合对家蚕BC1代基因组DNA进行酶切、通过人工接头连接、二次扩增... 详细信息
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