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采用反应蒸发和反应离子镀膜法制备的薄膜的微结构分析

作     者：缪同群 

出 版 物：《光机电信息》 (OME Information)

年 卷 期：1996年第13卷第1期

页      面：13-20页

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

主　　题：反应蒸发 反应离子 镀膜法 薄膜 微结构分析 

摘      要：电子显微镜,触针式轮廓仪和拉曼微探针分析表明,采用反应蒸发和反应离子镀方法所制备的薄膜有显著的差异.反应蒸发产生的薄膜具有大家所熟知的柱状结构。

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