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双频激光干涉仪

计量技术 1979年第3期 3-7页

作者：裘惠孚陈允昌张永年陈永江

一、前言自一九六○年气体激光出现以来,激光技术得到不断发展,激光波长已作为长度计量的标准。单频和双频激光干涉仪相继问世。双频激光干涉仪由于克服了单频激光干涉仪的某些不足,具有可测距离大,测量速度高,抗干扰能力强等优点,特别... 详细信息

一、前言自一九六○年气体激光出现以来,激光技术得到不断发展,激光波长已作为长度计量的标准。单频和双频激光干涉仪相继问世。双频激光干涉仪由于克服了单频激光干涉仪的某些不足,具有可测距离大,测量速度高,抗干扰能力强等优点,特别适合在生产现场广泛使用。对大型机床、精密机械、船舶和飞机制造以及大地测量、地震预报等发展都有一定的促进作用。目前,双频激光干涉仪这一产品,在国际上只有美国、日本和法国等少数国家生产。七十年代以来,我国的一些单位也进行过研制,但都没有正式

关键词：双频激光干涉仪减法电路四倍频可逆计数器加减法计数器

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双频激光干涉仪

计量工作 1976年第3期 42-42页

双频激光干涉仪是激光干涉仪的一种,主要用于大长度精密测量,例如:1.可作为大长度的自然计量基准以代替现行的三米杆尺实物计量基准,既能提高基准精度,又便于保存和复现,有利于战备;2.可作为大地测量的计量标准,至少可以使测量误差减小... 详细信息

双频激光干涉仪是激光干涉仪的一种,主要用于大长度精密测量,例如:1.可作为大长度的自然计量基准以代替现行的三米杆尺实物计量基准,既能提高基准精度,又便于保存和复现,有利于战备;2.可作为大地测量的计量标准,至少可以使测量误差减小一个数量级(即减少一位数字);3.可用于考察地球外壳的形变,大大提高地震预报的准确度;4.可直接用于重型机械加工中的尺寸测量,解决目前许多大尺寸无法测量的问题;5.可用于国防建设的若干方面,为国防科学研究提供可靠数据等。所谓激光干涉仪,就是以激光为光源的干涉仪。以单频激光管发出的具有单一频率的激光为光源的干涉仪叫做单频激光干涉仪;以双频激光管发出的

关键词：双频激光干涉仪长度计量基准地震预报

双频激光干涉仪高精度测量大型工件内外径系统的研制

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仪器仪表学报 1995年第2期16卷 145-150页

作者：冯其波梁晋文田芊北方交通大学清华大学

本文提出了一种利用激光准直仪出射光线瞄准大型工作内外径测量点的新方法。详细介绍了由双频激光干涉仪和激光准直仪构成的大直径测量系统的测量原理及系统的软硬件设计，给出了１０００ｍｍ量块和Φ５００ｍｍ工件对比实验结果。测量... 详细信息

本文提出了一种利用激光准直仪出射光线瞄准大型工作内外径测量点的新方法。详细介绍了由双频激光干涉仪和激光准直仪构成的大直径测量系统的测量原理及系统的软硬件设计，给出了１０００ｍｍ量块和Φ５００ｍｍ工件对比实验结果。测量１０００ｍｍ直径时测量系统的误差＜１０μｍ。

关键词：双频激光干涉仪高精度测量大型工件

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双频激光干涉仪技术现状与发展

激光与红外 2004年第4期34卷 251-253页

作者：所睿范志军李岩张书练清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势。

关键词：双频激光干涉仪外差干涉分辨率发展趋势

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高测速双频激光干涉仪及其性能检测

计量学报 2005年第1期26卷 5-7,19页

作者：闫聚群吴健高赛殷纯永清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084 普锐科创科技有限责任公司北京100085

新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求。为此,研制了一种基于5MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达15... 详细信息

新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求。为此,研制了一种基于5MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达1580mm s。通过实验对测量速度和计数频率进行了检测,结果证明,这种干涉仪可以达到的最高测量速度为980mm s,外触发计数频率达11kHz。

关键词：计量学双频激光干涉仪高测速外触发频率

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双频激光干涉仪的原理与应用（四）

工具技术 1996年第7期30卷 41-45页

作者：羡一民机械部成都工具研究所

双频激光干涉仪的原理与应用（四）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能，无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一... 详细信息

双频激光干涉仪的原理与应用（四）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能，无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一种高精度的长度传感器，可以直接安装...

关键词：干涉仪双频激光干涉仪

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双频激光干涉仪的原理与应用（三）

工具技术 1996年第6期30卷 43-45页

作者：羡一民机械部成都工具研究所

双频激光干涉仪的原理与应用（三）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民３．垂直度测量垂直度测量使用直线度干涉仪附件，在测量垂直方向时，需增加一些转向光学附件，如图１０所示。图１０垂直轴线直线度测量示意图１、激光头... 详细信息

双频激光干涉仪的原理与应用（三）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民３．垂直度测量垂直度测量使用直线度干涉仪附件，在测量垂直方向时，需增加一些转向光学附件，如图１０所示。图１０垂直轴线直线度测量示意图１、激光头２．转向平面镜３．往复反射镜４．夜...

关键词：干涉仪双频激光干涉仪

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双频激光干涉仪在天文望远镜测试中的应用

工具技术 1994年第11期28卷 38-41页

作者：马品仲中国科学院南京天文仪器研制中心 210042

本文介绍了双频激光干涉仪的特性及其在天文望远镜测试中的应用。

关键词：双频激光干涉仪天文望远镜测试

双纵模双频激光干涉仪的非线性对测量精度的影响

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吉林大学学报（工学版） 2008年第3期38卷 561-564页

作者：杨春生张涛成俊康刘国栋四川大学制造科学与工程学院

对具有特殊后续电信号处理系统的双纵模双频激光干涉仪的非线性误差进行了研究。根据理论分析推导出了存在非线性时输出信号的表达式,并据此给出了非线性误差的表现形式是使混频输出信号产生漂移起伏,主要影响因素是偏振分光镜分光偏振... 详细信息

对具有特殊后续电信号处理系统的双纵模双频激光干涉仪的非线性误差进行了研究。根据理论分析推导出了存在非线性时输出信号的表达式,并据此给出了非线性误差的表现形式是使混频输出信号产生漂移起伏,主要影响因素是偏振分光镜分光偏振度及光路调整理想程度。根据分光偏振度可计算信号最大漂移幅度及其带来的测量误差,计算出的漂移幅度值与实际观测值相近,该值可作为判断光路调整精度的一个标准,也是确定后续信号处理环节(细分辨向计数)中最大细分数的依据。

关键词：仪器仪表技术纵模双频激光干涉仪非线性漂移分光偏振度