高测速双频激光干涉仪及其性能检测
Dual-frequency Laser Interferometer with High Measurement Speed and Its Performance Testing作者机构：清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084 普锐科创科技有限责任公司北京100085
出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)
年 卷 期：2005年第26卷第1期
页 面：5-7,19页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术]
基 金：国家自然科学基金(50027002) 清华大学博士生创新基金(第二期)
摘 要：新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求。为此,研制了一种基于5MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达1580mm s。通过实验对测量速度和计数频率进行了检测,结果证明,这种干涉仪可以达到的最高测量速度为980mm s,外触发计数频率达11kHz。
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