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双频激光干涉仪的原理与应用（三）

作     者：羡一民 

作者机构：机械部成都工具研究所 

出 版 物：《工具技术》 (Tool Engineering)

年 卷 期：1996年第30卷第5期

页      面：43-45页

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

主　　题：干涉仪 双频激光干涉仪 

摘      要：双频激光干涉仪的原理与应用（三）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民３．垂直度测量垂直度测量使用直线度干涉仪附件，在测量垂直方向时，需增加一些转向光学附件，如图１０所示。图１０垂直轴线直线度测量示意图１、激光头２．转向平面镜３．往复反射镜４．夜...

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