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半导体工厂测试车间布置研究

半导体工厂测试车间布置研究

作者：孟明宇上海交通大学

学位级别：硕士

随着半导体产业的不断发展与壮大,诞生了很多基于半导体生产的新鲜产业。MEMSIC,就是这样一家从事微机电系统设计与生产的企业。经过8年的艰苦创业,工厂不断扩大,于是工厂实施的科学布局问题并应运而生。车间布局设计是制造系统设计的... 详细信息

随着半导体产业的不断发展与壮大,诞生了很多基于半导体生产的新鲜产业。MEMSIC,就是这样一家从事微机电系统设计与生产的企业。经过8年的艰苦创业,工厂不断扩大,于是工厂实施的科学布局问题并应运而生。车间布局设计是制造系统设计的重要内容之一,车间布局的优劣直接决定着产品质量、生产率和经济效益。 SLP(系统布置规划)是工业工程领域中工厂设计的一项技术。它在设计过程中将各单元的相互关系通过量化的指标表现出来,并以此为基础安排布局。作为一个特殊的半导体工厂,MEMS测试车间的布局,因为其特殊的工艺设备因而具备一定的特殊性。本课题正是针对这一项目背景,从系统设施布局(SLP)这一基本的理论体系出发,展开了对半导体测试车间布局需求、要素、物流关系、非物流关系等方面的分析,给出了几个布局的预选方案,同时采用系统因素评价法对三个方案进行评估,优选,最后对最优方案进行了详细布局。实践证明,这样的思路和方法是正确的,成功的。我们可以将这样的研究进一步拓展到整个MEMS半导体工厂,乃至相似的行业。

关键词：车间布局半导体工厂微机电产品测试车间

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半导体工厂公用动力系统的能源互补再利用

洁净与空调技术 2012年第3期 60-65页

作者：严嵘上海华虹NEC电子有限公司动力部

面对日益严峻的能源短缺,为实施国家提出的"节能减排"方针,华虹NEC充分利用半导体工厂在冬季既有热负荷又有冷负荷的特殊需求,通过冷冻机热回收、CDA热回收、PCW热回收等节能技改措施,有效地实现了半导体工厂公用动力系统的能源互补再利... 详细信息

面对日益严峻的能源短缺,为实施国家提出的"节能减排"方针,华虹NEC充分利用半导体工厂在冬季既有热负荷又有冷负荷的特殊需求,通过冷冻机热回收、CDA热回收、PCW热回收等节能技改措施,有效地实现了半导体工厂公用动力系统的能源互补再利用,达到了"双倍"的节能效果。

关键词：半导体工厂能源互补节能

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半导体工厂冷水系统节能项目及管理

洁净与空调技术 2013年第3期 38-46页

作者：丁霁波龚凯上海华虹NEC电子有限公司动力部

重点讲述半导体工厂冷水系统中的水蓄冷及设备冷却水预冷两个节能项目;简单介绍相关设备涉及的其他节能项目,同时介绍冷水系统相关设备的节能管理,以供各位同行参考。

关键词：半导体工厂冷水系统节能管理

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半导体工厂的净化厂房

红讯半导体 1990年第1期 58-70页

作者：桥本孝禧夏鞠孺

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半导体工厂大宗气体供应系统的工程实践

半导体工厂大宗气体供应系统的工程实践

东芝将投资超5000亿日元新建半导体工厂并与闪迪合作

2013年年会暨工业气体供应技术论坛

作者：朱海英张晓枫上海华虹宏力半导体制造有限公司上海普莱克斯仪电实用气体有限公司

半导体工厂的大宗气体供应系统为生产线提供高品质的大宗气体大宗气体广泛应用于大部分工艺设备,且与芯片直接接触,大宗气体稳定供应直接影响生产线的正常运行。半导体工厂大宗气体供应系统采用现场制气、储罐或钢瓶供应模式,本文介绍... 详细信息

半导体工厂的大宗气体供应系统为生产线提供高品质的大宗气体大宗气体广泛应用于大部分工艺设备,且与芯片直接接触,大宗气体稳定供应直接影响生产线的正常运行。半导体工厂大宗气体供应系统采用现场制气、储罐或钢瓶供应模式,本文介绍从用途、设计、工程实践等方面探讨半导体工厂大宗气体供应系统。

关键词：半导体工厂大宗气体供应系统工程实践

来源： cnki会议评论

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半导体信息 2016年第1期 39-40页

据《朝日新闻》报道，东芝近日宣布将在位于三重县四日市的半导体工厂新建厂房，并与美国半导体著名品牌闪迪（SanDisk）开展合作，投资金额超过5000亿日元。新厂房预计将于2017年开始投入使用，主要生产用于智能手机的最新型NAND型闪存。

关键词：半导体工厂投资金额合作东芝《朝日新闻》 NAND型智能手机厂房

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浅谈半导体工厂的氢气供应

广州化工 2018年第15期46卷 149-152页

作者：叶晓明宋明理福州京东方光电科技有限公司福建福州350300

氢气是半导体工厂必备的工艺气体,其纯度要求大于99.999%,因此对氢气的供应提出了更高的要求。本文详细介绍了从气站至工艺设备端的氢气供应方式,并从生产成本及优缺点分析了水电解装置及长管拖车两种供应方式上的差异。对于纯度控制,... 详细信息

氢气是半导体工厂必备的工艺气体,其纯度要求大于99.999%,因此对氢气的供应提出了更高的要求。本文详细介绍了从气站至工艺设备端的氢气供应方式,并从生产成本及优缺点分析了水电解装置及长管拖车两种供应方式上的差异。对于纯度控制,需要根据工艺设备的纯度要求,结合原料气的品质及纯化器的进出口指标制定合理的技术方案,并通过设置来料及产品的分析仪对纯度进行监控。

关键词：氢气半导体工厂纯度