半导体工厂公用动力系统的能源互补再利用
The Mutual Energy Complement and Recycling in Semi-Conductor Manufacturer作者机构：上海华虹NEC电子有限公司动力部
出 版 物：《洁净与空调技术》 (Contamination Control & Air-Conditioning Technology)
年 卷 期：2012年第3期
页 面：60-65页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要：面对日益严峻的能源短缺,为实施国家提出的节能减排方针,华虹NEC充分利用半导体工厂在冬季既有热负荷又有冷负荷的特殊需求,通过冷冻机热回收、CDA热回收、PCW热回收等节能技改措施,有效地实现了半导体工厂公用动力系统的能源互补再利用,达到了双倍的节能效果。
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