检索结果-南通市图书馆

计量学报 1987年第3期 175-179页

作者：陈耀煌赵麟祥曹维贵李承业

本文对光学细分干涉仪的叠加干涉条纹的产生、仪器整体结构、测量原理以及建立λ/100镀膜平面标准进行了叙述。

关键词：干涉条纹平晶干涉仪测量仪器平面度镀膜光学平面光学细分

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光学细分干涉仪与镀膜平面标准经鉴定通过

计量技术 1986年第5期 44-44页

由中国计量科学研究院长度处研制的光学细分干涉仪及λ/100镀膜平面标准于1985年12月在北京通过鉴定。这种光学细分干涉仪采用先进原理,可测量直径到80mm镀膜光学平面的平面度,其测量的不确定度为2σ≤λ/100,达到国际先进水平,并以此... 详细信息

由中国计量科学研究院长度处研制的光学细分干涉仪及λ/100镀膜平面标准于1985年12月在北京通过鉴定。这种光学细分干涉仪采用先进原理,可测量直径到80mm镀膜光学平面的平面度,其测量的不确定度为2σ≤λ/100,达到国际先进水平,并以此建立了准确度为λ/100的φ80mm的镀膜平面标准。光学细分干涉仪安装在主要性能指标达到

关键词：干涉仪光学细分测量仪器镀膜平面度

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一种光学两细分的方法

光学仪器 1995年第4期17卷 76-76页

作者：朱赛云侯尔志萧山市标准计量局萧山311200 萧山双飞集团公司萧山311200

目前，在长度测量中，对分辨率的要求越来越高。这里介绍的一种线位移传感器具有较高的准确度和分辨率，其优点是采用了光学两细分。从LED发出的光经扫描板后主要衍射为-1，0，＋1级，这三束光遇到主光栅──反射相位光栅后，被衍射成＋... 详细信息

目前，在长度测量中，对分辨率的要求越来越高。这里介绍的一种线位移传感器具有较高的准确度和分辨率，其优点是采用了光学两细分。从LED发出的光经扫描板后主要衍射为-1，0，＋1级，这三束光遇到主光栅──反射相位光栅后，被衍射成＋1级和－1级。相位光栅移动一个周期时，其±1级衍射光均发生了360°相移，＋1级和－1教相移符号相反。这两束光经批描板上指示光栅时又一次衍射，同方向衍射光产生干涉，这三束干涉光经三个电池接收后，光强度转化为电信号，电信号的周期只有光栅周期的一半。

关键词：光学细分测量传感器

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纵向莫尔条纹在自准直仪中的应用

光子学报 2008年第12期37卷 2544-2547页

作者：吴文明高立民吴易明吴璀罡中国科学院西安光学精密机械研究所西安710119 中国科学院研究生院北京100049

为了提高自准直仪的分辨力,将纵向莫尔条纹引入到光路中,用长光栅代替传统单狭缝,将长光栅成像在CCD检测器上,CCD作为标尺光栅,通过两个光栅叠加形成的莫尔条纹的变化可以将成像位移分辨率提高到亚像元,进而将自准直仪的角度分辨率提高... 详细信息

为了提高自准直仪的分辨力,将纵向莫尔条纹引入到光路中,用长光栅代替传统单狭缝,将长光栅成像在CCD检测器上,CCD作为标尺光栅,通过两个光栅叠加形成的莫尔条纹的变化可以将成像位移分辨率提高到亚像元,进而将自准直仪的角度分辨率提高到毫秒级.实验结果表明,相对于直接检测狭缝边缘的方法,莫尔条纹法的分辨力提高了25倍.

关键词：光学细分莫尔条纹自准直仪

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光栅式大量程高分辨率位移测量研究

中国机械工程 2000年第8期11卷 878-880页

作者：吕海宝曹聚亮颜树华徐涛国防科学技术大学机电工程与自动化学院

提出一种光栅式位移测量新方法 ,利用单个普通低线数计量光栅 ,实现高分辨率、大量程的位移测量。给出测量光路图 ,分析测量原理 ,最后介绍初步原理实验及结果。

关键词：量程分辨率位移测量光栅光学细分

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一种纳米精度偏振干涉仪光学系统的研究

红外与激光工程 2004年第1期33卷 21-24页

作者：郭新军王霁严家骅周自力北京理工大学光电工程系北京100081 长城计量测试研究所北京100095

本干涉仪采用偏振测量和偏振接收装置。对干涉仪光路中激光的偏振态转换进行了详细的理论分析,对偏振干涉仪以及双频干涉仪的研制具有借鉴意义。该装置的重复性试验表明干涉仪重复性在30nm之内,说明干涉仪的性能比较可靠。如果对环境条... 详细信息

本干涉仪采用偏振测量和偏振接收装置。对干涉仪光路中激光的偏振态转换进行了详细的理论分析,对偏振干涉仪以及双频干涉仪的研制具有借鉴意义。该装置的重复性试验表明干涉仪重复性在30nm之内,说明干涉仪的性能比较可靠。如果对环境条件进行严格的控制,会得到更高的测量精度,有望实现纳米精度测量。

关键词：纳米测量偏振干涉仪光学系统光学细分偏振态转换

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基于光电混合细分的激光自混合干涉测量技术

中国科技论文 2015年第5期10卷 542-545,554页

作者：陈俊雹刘强郭冬梅祝宏彬王鸣南京师范大学物理科学与技术学院南京210023 江苏省光电技术重点实验室南京210023

为了提高激光自混合干涉仪在大量程运动距离测量中实时测量的分辨率,采用光学细分与电子细分相结合的方法,大幅减轻了在条纹计数法中对信号进行大量电子细分的软硬件压力,节省了硬件成本,降低了测量系统的复杂程度,满足了大量程运动距... 详细信息

为了提高激光自混合干涉仪在大量程运动距离测量中实时测量的分辨率,采用光学细分与电子细分相结合的方法,大幅减轻了在条纹计数法中对信号进行大量电子细分的软硬件压力,节省了硬件成本,降低了测量系统的复杂程度,满足了大量程运动距离实时测量的精度要求。使用PI公司高分辨率商用导轨标定了运动距离测量的实验结果,分析误差来源,得出了实际测量精度。结果表明:在百毫米大尺度运动距离的测量中精度能够达到μm级。

关键词：光学细分自混合条纹计数实时精密测量

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激光干涉仪的细分技术

工具技术 2005年第7期39卷 94-95页

作者：邓上成都工具研究所规划发展部成都市高级工程师610051

激光干涉仪通常采取Machelson(迈克尔逊)干涉仪形式，由于反射器的作用，直接接收的脉冲当量为A／2(约0．3μm)，对于精密测量来说，显然是不够的。如何提高激光干涉仪系统的分辨率是激光干涉仪中的重要技术，有多种激光干涉仪的细分方... 详细信息

激光干涉仪通常采取Machelson(迈克尔逊)干涉仪形式，由于反射器的作用，直接接收的脉冲当量为A／2(约0．3μm)，对于精密测量来说，显然是不够的。如何提高激光干涉仪系统的分辨率是激光干涉仪中的重要技术，有多种激光干涉仪的细分方法，概括起来为光学细分和电子细分两大类，本文介绍了几种典型方法，并分析了各种方法的特点。

关键词：激光干涉仪细分技术干涉仪系统迈克尔逊脉冲当量精密测量细分方法电子细分光学细分反射器分辨率接收

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三自由度光栅位移测量关键技术研究

三自由度光栅位移测量关键技术研究

作者：乔德成哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

光栅位移测量技术因具备精度高、稳定性好、体积小、灵活性强、成本低等诸多优点,在超精密测量方面具有重要价值,尤其是在超精密加工装备的测量系统中有着广泛的应用。在超精密加工领域,对光栅位移测量技术的要求主要是高分辨力和多自... 详细信息

光栅位移测量技术因具备精度高、稳定性好、体积小、灵活性强、成本低等诸多优点,在超精密测量方面具有重要价值,尤其是在超精密加工装备的测量系统中有着广泛的应用。在超精密加工领域,对光栅位移测量技术的要求主要是高分辨力和多自由度。为了实现高分辨力和多自由度的位移测量,本课题对位移测量系统的光学细分倍数、电学细分倍数以及三自由度测量等关键技术进行了研究,在双光栅干涉测量系统中使用微米级周期光栅的2级衍射光来实现4倍光学细分,并研究了光学信号的电学细分处理方法,以此来提高系统的分辨力,通过使用双光栅干涉系统中两光栅的直接反射光之间的干涉实现Z轴方向上的位移测量,简化系统结构,实现三自由度位移测量。论文主要工作如下:首先,设计三自由度高分辨力的双光栅干涉测量系统的光学结构。在X轴方向和Y轴方向上的位移测量是利用双光栅干涉测量原理,用扫描光栅的0级衍射光在标尺光栅的2级反射衍射光,以及扫描光栅的2级衍射光在标尺光栅的-2级反射衍射光,使二者在扫描光栅再次汇聚并合光干涉,实现4倍光学细分测量;在Z轴方向上的位移测量则是利用扫描光栅直接反射的0级衍射光和1级衍射光,分别与经扫描光栅透射、标尺光栅反射的0级衍射光在扫描光栅上出射的0级衍射光和1级衍射光之间干涉,实现对光波长2倍光学细分测量;同时基于标量衍射理论,分析了双光栅干涉原理中扫描光栅一维和二维光栅以及标尺光栅的衍射效率与结构参数之间的关系,进而根据各级衍射光的衍射效率要求,通过仿真分析和优化,设计了一维和二维扫描光栅以及反射型标尺光栅的台阶高度h和占空比r。其次,对X轴、Y轴双光栅干涉测量以及Z轴方向干涉测量分别获取两路干涉信号,并根据归一化后两路信号由于存在相位差而产生的交点和过零点划分多个区间,让两路信号互相作为辅助实现对两路具有任意相位差信号的细分。设计了求解互相作为辅助参考的两路信号相位的算法,并在数字信号处理器DSP上编程实现。分别实现了对X轴和Y轴方向上两路120°左右相位差信号和Z轴方向上两路90°相位差信号的相位细分。最后,根据双光栅位移测量的需求加工了测量系统的标尺光栅和扫描光栅,并设计了光电转换电路、低通滤波电路和数据采集模块,搭建了光学实验台,并对测量信号进行处理得到了位移信息。通过测试分析表明,光栅位移测量系统在X轴方向和Y轴方向实现了对标尺光栅周期的4倍光学细分、在Z轴方向实现了对激光波长的2倍光学细分的功能。通过设计的对两路任意相位差信号的细分方法,实现了对X轴、Y轴、Z轴方向上周期测量信号的128倍电学细分。

关键词：位移测量光栅测量光学细分电学细分