激光干涉仪的细分技术
作者机构：成都工具研究所规划发展部成都市高级工程师610051
出 版 物：《工具技术》 (Tool Engineering)
年 卷 期：2005年第39卷第7期
页 面：94-95页
学科分类：080904[工学-电磁场与微波技术] 0810[工学-信息与通信工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 081105[工学-导航、制导与控制] 081001[工学-通信与信息系统] 081002[工学-信号与信息处理] 0825[工学-航空宇航科学与技术] 0803[工学-光学工程] 0811[工学-控制科学与工程]
主 题：激光干涉仪 细分技术 干涉仪系统 迈克尔逊 脉冲当量 精密测量 细分方法 电子细分 光学细分 反射器 分辨率 接收
摘 要：激光干涉仪通常采取Machelson(迈克尔逊)干涉仪形式，由于反射器的作用，直接接收的脉冲当量为A／2(约0．3μm)，对于精密测量来说，显然是不够的。如何提高激光干涉仪系统的分辨率是激光干涉仪中的重要技术，有多种激光干涉仪的细分方法，概括起来为光学细分和电子细分两大类，本文介绍了几种典型方法，并分析了各种方法的特点。
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