光学细分干涉仪及建立λ/100镀膜平面标准
The Optical Subdivision Interferometer and Establishing λ/100 Film-coating Flatness Standard
作 者：陈耀煌 赵麟祥 曹维贵 李承业
出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)
年 卷 期：1987年第3期
页 面：175-179页
主 题：干涉条纹 平晶 干涉仪 测量仪器 平面度 镀膜 光学平面 光学细分
摘 要：本文对光学细分干涉仪的叠加干涉条纹的产生、仪器整体结构、测量原理以及建立λ/100镀膜平面标准进行了叙述。
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