检索结果-南通市图书馆

科研管理 1990年第4期 46-50页

作者：康致泉边雅明中国科学院感光化学研究所

本文提出了国内进口大型分析仪器在管理和应用方面存在的问题,并结合感光所的工作实际,概括出他们解决这些问题的具体做法与经验。此外,文章还对感光所质谱仪在国内分析学科中所形成的特色进行了专门的分析和介绍。

关键词：进口分析仪器大型仪器质谱仪质谱室

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ZH－1氦质谱探漏仪的研制

真空 1995年第5期32卷 1-5页

作者：叶庆镛沈阳市真空机械三厂

研制出目前国内最小型的高灵敏度氦质谱探漏仪，仪器整机设计合理，长期运转可靠。在计算与实验研究的基础上设计的质谱室具有高灵敏度，高工作压强，低本底的特点，因而是大型复杂设备密封性检测的理想仪器。文中介绍设计要点及现场实... 详细信息

研制出目前国内最小型的高灵敏度氦质谱探漏仪，仪器整机设计合理，长期运转可靠。在计算与实验研究的基础上设计的质谱室具有高灵敏度，高工作压强，低本底的特点，因而是大型复杂设备密封性检测的理想仪器。文中介绍设计要点及现场实用例。

关键词：质谱探漏质谱室灵敏度

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涡轮分子泵逆检流漏技术研究

真空与低温 1986年第4期 26-32页

作者：肖祥正卓勇邢建中张家珠兰州物理研究所

一、逆流检漏方法的特点在通常的氦质谱检漏法中,被检件接在检漏仪的高真空侧,被检件通过节流阀与检漏仪的质谱室相连,如图1所示。氦气通过漏孔进入被检件并被抽入质谱室,其中一部分被主泵抽走,另一部分在氦质谱室中建立起氦分压,由此... 详细信息

一、逆流检漏方法的特点在通常的氦质谱检漏法中,被检件接在检漏仪的高真空侧,被检件通过节流阀与检漏仪的质谱室相连,如图1所示。氦气通过漏孔进入被检件并被抽入质谱室,其中一部分被主泵抽走,另一部分在氦质谱室中建立起氦分压,由此形成了

关键词：涡轮分子泵油扩散泵真空度前级压力质谱室抽速

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半导体器件气密性的细检系统

半导体光电 1982年第1期 61-66页

作者：王修佩

本文根据质谱探漏的特点,分析了两种检漏方法的物理过程。明确了检漏工艺对测试系统的要求。指出了用玻璃阀门组成的检漏系统存在的问题。所介绍的两种新系统都具有“本底小”、省劳力、速度高的优点。

关键词：检漏方法物理过程半导体器件电子设备氦法真空继电器电磁继电器质谱仪分析仪器漏孔装配时间质谱室气密性氦气工位

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JF-2型交叉分子束实验装置主机设计

真空科学与技术学报 1981年第4期 197-204页

作者：吕日昌李光亚中国科学院大连化学物理研究所

这台装置由三大部分组成:真空系统、束源和检测仪器。气束源室、准直室、炉室、反应室和质谱室采用差级抽气。除质谱室用了一台离子泵外,各室均用油扩散泵抽气。束源之一是超音速喷射气束,另一个是加热电炉,其最高加热温度为1600℃,可... 详细信息

这台装置由三大部分组成:真空系统、束源和检测仪器。气束源室、准直室、炉室、反应室和质谱室采用差级抽气。除质谱室用了一台离子泵外,各室均用油扩散泵抽气。束源之一是超音速喷射气束,另一个是加热电炉,其最高加热温度为1600℃,可产生各种金属原子束。当两束工作时,反应室的压强可维持在10-6托左右。设计中考虑到了下列检测手段:①用于检测产物质量数、束强度和速度分布的四极滤质器;②用于化学发光反应产物分析的分光光谱仪;③用于产生激光诱导荧光的可调谐染料激光器;④用于观测反应产物化学发光角分布的照相机或 OMA(光学多通道分析器)。因此,这台装置可以用于下列实验研究。(a)化学发光反应产物的态分布;(b)用激光诱导荧光技术检测“暗”反应产物的态分布;(c)反应物的初始能态对反应的影响;(d)激光光解离。

关键词：分子束质谱室粒子束 JF-2 反应室实验装置型交叉

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真空设备的检漏

光电子学技术 1986年第1期 18-25页

作者：贺贤能

检漏对每个真空工作者来说是比较熟悉的,从真空获得的发展历史来看,无数的真空工作者都在和漏气作顽强的斗争,因此出现了许许多多的检漏方法。40年代由于原子能工业的发展,要求回旋加速器系统的真空度达到高真空,真空系统的漏率要小于1... 详细信息

检漏对每个真空工作者来说是比较熟悉的,从真空获得的发展历史来看,无数的真空工作者都在和漏气作顽强的斗争,因此出现了许许多多的检漏方法。40年代由于原子能工业的发展,要求回旋加速器系统的真空度达到高真空,真空系统的漏率要小于10-7托·升/秒,因而出现了氦质谱检漏仪。经过40年来的努力,质谱检漏仪的发展已趋成熟、完善,并向小型化、数字显示和自动切换量程,直接给出漏率值的方向发展。现在的灵敏度已达到10-13托·升/秒的高灵敏程度。对任何一种真空设备或容器(包括电真空器

关键词：真空检漏真空系统酒精反流乙醇真空设备漏孔氦质谱仪质谱室真空泵离子泵抽速真空度漏率

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第三章氦质谱真空检漏法的物理过程

真空与低温 1984年第S1期 22-30页

用氦质谱检漏仪进行检漏的方法有真空法、加压法和背压法三种,它们都有各自的特点和适用对象。然而真空法的应用更为广泛。因此了解这种方法的物理过程,对于正确选择检漏系统、正确运用这种方法和解决检漏中出现的实际问题是非常必要的。

关键词：氦质谱分压检漏仪标准漏孔质谱室抽速检漏系统真空检漏法物理过程

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第二章各种检漏方法