真空设备的检漏
出 版 物：《光电子学技术》 (Optoelecfronic Technology)
年 卷 期：1986年第1期
页 面：18-25页
学科分类：08[工学]
主 题：真空检漏 真空系统 酒精 反流 乙醇 真空设备 漏孔 氦质谱仪 质谱室 真空泵 离子泵 抽速 真空度 漏率
摘 要：检漏对每个真空工作者来说是比较熟悉的,从真空获得的发展历史来看,无数的真空工作者都在和漏气作顽强的斗争,因此出现了许许多多的检漏方法。40年代由于原子能工业的发展,要求回旋加速器系统的真空度达到高真空,真空系统的漏率要小于10-7托·升/秒,因而出现了氦质谱检漏仪。经过40年来的努力,质谱检漏仪的发展已趋成熟、完善,并向小型化、数字显示和自动切换量程,直接给出漏率值的方向发展。现在的灵敏度已达到10-13托·升/秒的高灵敏程度。对任何一种真空设备或容器(包括电真空器
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