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第二章各种检漏方法

出版物：《真空与低温》 (Vacuum and Cryogenics)

年卷期：1984年第S1期

页面：5-22页

主　　题：真空容器涂料显色漏孔质谱室真空表真空仪器真空计质谱检漏仪检漏方法

摘要：一、碳氟化合物检漏法本讲义第一册曾经讲过,对全密封的电真空器件、微电子器件、半导体管以及空心球等的检漏,通常采用氦质谱检漏仪背压检漏法或放射性同位素背压检漏法作为精检手段;然而它们只能在一定的漏率范围内才是有效的,并且都受到了最小可检漏率与最大可检漏率范围的限制。即使成功地进行了上述两种方法的任一种方法,对最大可检漏率范围之外的大漏还

本地馆藏 |

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