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光纤真空计

光子学报 1998年第9期27卷 860-864页

作者：宋彦军杨济宁王金娥燕山大学秦皇岛电子管厂交通部秦皇岛港务局

一种适用于广播、电视用金属陶瓷电子管生产过程中真空度测量的光纤真空计在本文中进行了讨论，其中介绍了目前这一生产领域中真空测量的现状及存在的问题及利用光纤传感技术来解决问题的可行性，阐述了实验方案及结果．

关键词：真空度测量真空计光纤真空计

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脉冲磁控真空计不拆卸测量方法研究

高压电器 1997年第1期33卷 20-23,56页

作者：廖从容邹积岩华中理工大学武汉430074

讨论了真空灭弧室真空度测量的一般方法及其缺陷,针对现有的脉冲磁控法只能拆卸测量的缺陷,设计了∏形线圈并给出了部分测量结果。

关键词：真空计测量脉冲磁控真空计

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真空计电参数检定装置

宇航计测技术 1996年第6期16卷 14-20页

作者：田东旭孟扬中国航天工业总公司510所

真空计电参数检定装置可以用来检定真空计电参数检定仪和各种热阴极电离真空计、热偶真空计的电参数。将信号源产生的具有一定量程的各种模拟信号引入被检电参数检定仪和真空计，采用ＩＥＥＥ—４８８接口、６４２静电计、１０７１和７... 详细信息

真空计电参数检定装置可以用来检定真空计电参数检定仪和各种热阴极电离真空计、热偶真空计的电参数。将信号源产生的具有一定量程的各种模拟信号引入被检电参数检定仪和真空计，采用ＩＥＥＥ—４８８接口、６４２静电计、１０７１和７１５０多用表等仪器组成的自动化测试系统对被检仪器的各项电参数进行校准。解决了真空计电参数检定仪的检定问题，为真空度的准确测量提供了基本保证。主要介绍了真空计电参数检定装置的基本构成、工作原理和不确定度评定。

关键词：真空计电参数检定装置 ^+电参数自动测试

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真空计的发展新趋势

真空科学与技术 1999年第2期19卷 116-119页

作者：孟扬李旺奎兰州物理研究所

结合真空计的发展历史和使用需求 ,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知 ,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小 ,一体化是指真空计电路部分与规管集成... 详细信息

结合真空计的发展历史和使用需求 ,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知 ,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小 ,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体 ,集成化是指将多只真空计组合为一体 ,系统化是指将真空度的测量与控制相结合 ,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技术迅速发展的技术推动下 ,为满足应用的需求而产生的结果。

关键词：真空计小型化一体化集成化系统化智能化

一种105~10-7 Pa现场真空计校准装置的设计

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真空科学与技术学报 2020年第6期40卷 531-535页

作者：卢耀文柏向春代建设吉建丽黄成功闫睿田虎林魏萌萌陈俊儒周青枝北京市真空计量检测工程技术研究中心北京100029 北京东方计量测试研究所北京100086 西安飞机工业(集团)有限责任公司西安710089

针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105~10-7 Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校... 详细信息

针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105~10-7 Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10-8 Pa量级;采用流导法和定容法设计出10-2~10-10 Pa·m3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题。本现场真空校准装置设计的校准范围为105~10-7 Pa,外形尺寸不超过500 mm×500 mm×600 mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点。

关键词：真空计现场校准便携式校准范围

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智能冷阴极规管超高真空计的研制

分析仪器 1998年第1期 32-35页

作者：徐锡林刘益敏姚传荣徐为民中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230029

本文介绍作为真空控制传感器的智能冷阴极规管超高真空计。它是根据我室光束线和实验站真空监测、控制和联锁保护功能的特殊要求研制的。真空测量范围为5X10－1～5X10－8Pa。采用单片机Intel8031，设备结构简单，使用方便，运行可靠，... 详细信息

本文介绍作为真空控制传感器的智能冷阴极规管超高真空计。它是根据我室光束线和实验站真空监测、控制和联锁保护功能的特殊要求研制的。真空测量范围为5X10－1～5X10－8Pa。采用单片机Intel8031，设备结构简单，使用方便，运行可靠，功能可以扩充。

关键词：传感器超高真空计真空计智能冷阴极规管

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数字式定温热偶真空计

钢铁研究学报 1994年第1期6卷 75-80页

作者：王哲宁北京冶金部钢铁研究总院

本文介绍了一种新型的数字式定温热偶真空计，它具有精度高、工作可靠、结构简单、操作方便等优点。文中具体阐述了微机系统的工作原理，并提供了结构原理框图。概述了研制中的关键技术问题，即用微机软件对非线性进行补偿的方法。最后... 详细信息

本文介绍了一种新型的数字式定温热偶真空计，它具有精度高、工作可靠、结构简单、操作方便等优点。文中具体阐述了微机系统的工作原理，并提供了结构原理框图。概述了研制中的关键技术问题，即用微机软件对非线性进行补偿的方法。最后介绍了该真空计的主要算法及应用实例。

关键词：热偶式真空计数字式真空计

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真空计比对法校准及误差分析研究

真空计比对法校准及误差分析研究

作者：穆忠波合肥工业大学

学位级别：硕士

全超导托卡马克装置是一个大型复杂装置,真空系统是该装置的重要组成部分之一。托卡马克装置等离子体放电所需的真空度在10～10Pa范围内。真空度的有效监测与控制将直接影响到等离子体质量,进而影响到光束的强度、能量和等级。为了准确... 详细信息

全超导托卡马克装置是一个大型复杂装置,真空系统是该装置的重要组成部分之一。托卡马克装置等离子体放电所需的真空度在10～10Pa范围内。真空度的有效监测与控制将直接影响到等离子体质量,进而影响到光束的强度、能量和等级。为了准确地对真空系统的工作状态进行监视,首先必须精确地测量真空度。本文针对HT—7U全超导托卡马克装置的复杂真空系统对真空度的准确测量与控制的要求,设计出了真空计比对法校准装置;阐述了校准系统的结构、原理及校准方法;对校准测试系统的误差进行了分析,引入相关系数、标准方差和精度估计,论证了用最小二乘法对校准数据处理的合理性;讨论了测量结果的误差处理方法;详细介绍了origin这一软件在数据处理中的实际应用;计算出真空计应用环境下的校正系数。实践证明,经过校准的真空计,其测试准确度有了大幅度的提高,可重复性好,对真空计进行应用环境下的校准是具有积极意义的。

关键词：真空计比对法校准最小二乘法误差精度估计

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智能型电阻真空计研制

真空电子技术 1995年第4期8卷 36-40,32页

作者：黄家贤东南大学机械工程系

本文采用ＭＣＳ－５１单片机系统实现真空测量仪的智能化。该仪具有数字显示、量程自动切换、放大倍数自动调整、非线性测量、误差补偿、给定压强控制、多通道测量、联机通讯和自动打印等功能。本文着重介绍电阻真空计的硬件设计和数据... 详细信息

本文采用ＭＣＳ－５１单片机系统实现真空测量仪的智能化。该仪具有数字显示、量程自动切换、放大倍数自动调整、非线性测量、误差补偿、给定压强控制、多通道测量、联机通讯和自动打印等功能。本文着重介绍电阻真空计的硬件设计和数据处理方法。

关键词：智能化真空计量程电阻真空计