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直拉单晶硅中洁净区形成后铜沉淀行为的研究
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物理学报 2013年 第7期62卷 305-310页
作者: 张光超 徐进 厦门大学材料学院 厦门361005 浙江大学硅材料国家重点实验室 杭州310027
本文研究了直拉单晶硅中形成洁净区后过渡族金属杂质铜的沉淀行为.样品经过高低高三步常规热处理形成洁净区后,在不同温度下引入杂质铜,然后对样品分别进行普通热处理和快速热处理,通过腐蚀和光学显微镜研究发现,在700℃引入铜杂质后经... 详细信息
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洁净区悬浮粒子监测标准适用性探讨
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流程工业 2022年 第7期 30-32页
作者: 于志深 哈尔滨市香坊综合行政执法局
制药企业洁净环境监控的要点有二——环境微生物监控和悬浮粒子监控。目前,制药企业洁净区悬浮粒子监测的标准有ISO 14644-1与国标GB/T 16292-2010,但它们都不是强制标准,那么在实际生产中到底应该执行哪个标准?尤其是ISO 14644-1在201... 详细信息
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乳制品车间洁净区环境监测和控制
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食品安全导刊 2023年 第30期 31-33页
作者: 李为民 陈佳玲 常文玥 广东燕塘乳业股份有限公司 广东广州510700
乳制品车间洁净区环境对乳制品质量安全有重要影响,洁净区环境监测和控制是乳制品企业必须重视的问题,也是质量体系审核的重点。本文介绍了乳制品车间洁净区环境监测方法及环境控制的具体措施,为乳制品车间洁净区环境监测和控制提供参考。
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浅析药品生产企业洁净区菌库建设工作
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海峡药学 2023年 第10期35卷 101-104页
作者: 张士财 丁卫平 王洪明 董亭亭 窦川 滨州市检验检测中心 山东滨州256600 滨州市化学药物研发与质量控制重点实验室(筹) 山东滨州256600 山东科伦药业有限公司 山东滨州610072
目的促进药品生产企业洁净区环境菌库建设,提升药品微生物控制水平。方法从洁净区菌库建设的现状、相关技术、制约因素等方面分析,并提出针对性的解决措施。结果多方面因素制约了菌库建设工作的开展,应从转变思想认识、专业人员配置、... 详细信息
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原料药API生产洁净区黑点异物问题浅析
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山东化工 2022年 第8期51卷 208-210页
作者: 徐建东 赵谦 陈玉波 山东立新制药有限公司 山东淄博256309
药品质量安全是关乎民生的大事,制剂产品的质量直接影响到用药者的人身安全和药品疗效。随着人类对药品中异物危害的认识的提高和药典的逐步发展完善,制剂产品的质量越来越受到全社会的重视。原料药API作为制剂中的有效成分,其质量好坏... 详细信息
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无菌药品洁净区环境监测及微生物菌库的建立
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中国卫生产业 2022年 第18期19卷 61-64页
作者: 李伟 高浩凌 袁喜英 浙江创新生物有限公司 浙江绍兴312000 浙江医药股份有限公司研究院 浙江绍兴312000
目的建立无菌药品生产洁净区环境监测微生物菌库,分析洁净区微生物的分布概况,为企业评估洁净区处于受控状态提供指导。方法于2020年1—12月对洁净区环境进行微生物监控,将监控中回收的微生物,采用16s rRNA测序方法进行鉴定,对鉴定信息... 详细信息
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二代测序用于药品微生物检测洁净区环境菌库的建立
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中国合理用药探索 2022年 第10期19卷 104-108页
作者: 孙荣嵘 徐晨 刘洋 任晓伟 济南市食品药品检验检测中心 济南250102
目的:对药品微生物检测洁净区环境微生物组成进行分析,初步建立洁净区环境菌库和实验室标准菌株菌库。方法:连续4个月从洁净区环境中不同域采集取样,获取细菌19株和霉菌1株。对环境采集的细菌、实验室现存使用的标准菌株进行BBL CRYS... 详细信息
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熔硅近表面洁净区和体内微缺陷的形成
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Journal of Semiconductors 2002年 第4期23卷 382-387页
作者: 李传波 李怀祥 刘桂荣 郭成花 张华 薛成山 北京100083 北京科技大学冶金学院 山东师范大学半导体研究所 山东师范大学半导体研究所 济南250014
中子辐照熔 (氢 )硅片经退火后在近表面形成洁净区 ,在硅片内部形成体内微缺陷 .微缺陷的形成与中子辐照造成的损伤及单晶硅内氢杂质的催化加速有关 ,还与后续退火条件有关 .第一步退火的温度对微缺陷的尺度有很大的影响 ,中低温要比... 详细信息
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快速退火气氛对300mm硅片内洁净区和氧沉淀形成的影响
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Journal of Semiconductors 2006年 第1期27卷 68-72页
作者: 冯泉林 史训达 刘斌 刘佐星 王敬 周旗钢 北京有色金属研究总院 有研半导体材料股份有限公司 北京100088 有研半导体材料股份有限公司
300mm硅片中厚度合适的洁净区和高密度氧沉淀,有利于对器件有源金属沾污的吸除,改善栅氧化物的完整性.文中使用Ar,N2/NH3混合气作为快速退火(RTA)气氛,研究RTA气氛对洁净区、氧沉淀形成的影响.研究发现N2/NH3混合气氛处理的硅片表层... 详细信息
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铜沉淀对直拉硅单晶中洁净区形成的影响
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物理学报 2012年 第1期61卷 310-317页
作者: 王永志 徐进 王娜婷 吉川 张光超 厦门大学材料学院 厦门361005 浙江大学硅材料国家重点实验室 杭州310027 福建省防火阻燃材料重点实验室 厦门361005
研究普通热处理和快速热处理工艺下直拉单晶硅中过渡族金属铜杂质对洁净区生成的影响.通过腐蚀和光学显微镜研究发现,常规高一低.高三步洁净区生成热处理样品中,第一步高温热处理前对样品铜沾污,样品中没有洁净区生成,高密度的铜沉淀布... 详细信息
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