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椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率

云南师范大学学报（自然科学版） 2005年第4期25卷 24-27页

作者：马逊刘祖明陈庭金廖华云南师范大学太阳能研究所

文章通过对椭偏仪测量原理的分析给出了四区平均消光状态下的计算公式,利用该公式计算在一个周期内的薄膜厚度和折射率结果较好;同时给出了膜厚大于一个周期时的计算方法。

关键词：椭圆偏振测量薄膜厚度折射率

椭圆偏振法研究B离子注入LiNbO_3光波导的光学特性

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人工晶体学报 2009年第6期38卷 1370-1374页

作者：于晓红连洁卢霏宋平高尚山东大学信息科学与工程学院济南250100

用椭圆偏振法研究了2.5 MeV B离子注入后的铌酸锂晶体,建立四层模型,对反射式椭圆偏振测量得出的数据进行反演拟合,得到了波导层厚度及0.3~0.8μm波段波导层和损伤层的双折射色散曲线,发现低剂量B离子注入铌酸锂形成了折射率下降的位垒... 详细信息

用椭圆偏振法研究了2.5 MeV B离子注入后的铌酸锂晶体,建立四层模型,对反射式椭圆偏振测量得出的数据进行反演拟合,得到了波导层厚度及0.3~0.8μm波段波导层和损伤层的双折射色散曲线,发现低剂量B离子注入铌酸锂形成了折射率下降的位垒,在晶体表面下2.0μm范围内得到了光波导结构。研究结果为以铌酸锂为基础的光波导器件研发提供了重要信息。

关键词：光波导椭圆偏振测量离子注入折射率

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光学薄膜的椭圆偏振模型分析与数据处理研究

光学薄膜的椭圆偏振模型分析与数据处理研究

作者：王卫南京理工大学

学位级别：硕士

椭圆偏振测量是一种通过分析偏振光在待测薄膜样品表面反射前后的偏振态的改变来获得薄膜材料的光学常数和薄膜厚度的高精度、非接触测量方法。但是通过椭圆偏振测量只能得到椭偏参数Ψ和⊿，由椭偏参数求解薄膜结构参数的椭偏方程是一... 详细信息

椭圆偏振测量是一种通过分析偏振光在待测薄膜样品表面反射前后的偏振态的改变来获得薄膜材料的光学常数和薄膜厚度的高精度、非接触测量方法。但是通过椭圆偏振测量只能得到椭偏参数Ψ和⊿，由椭偏参数求解薄膜结构参数的椭偏方程是一个超越方程，很难得到精确的解析解，因此一般采用数值反演迭代不断逼近测量数据，将最优解作为测量结果。本文对椭圆偏振光谱测量的数据处理进行了研究。研究了光学薄膜系统模型(结构模型和色散模型)的建立问题，通过模型计算，分析了椭偏参数的灵敏度区域与薄膜参数(折射率n、消光系数k和膜厚d)以及入射角的关系;将广泛用于求解复杂系统优化问题的模拟退火算法引入到椭偏测量数据的处理中来，编写了数据处理的程序;本文中还对标准薄膜样品和自制的样品进行了测量和数据处理，验证了算法的可行性。

关键词：光学薄膜椭圆偏振测量光学常数薄膜厚度模拟退火算法

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用椭圆偏振光方法研究铬薄膜的氧化过程

桂林电子工业学院学报 1998年第3期18卷 53-55页

作者：成钢陈庆东蒋仕级洛阳工学院基础部云南大学物理系

应用空心阴极离子镀膜技术，制备了纯铬薄膜样品。样品可在不同的温度和时间下进行退火处理。同时应用椭圆偏振测量术的多角入射法对Ｃｒ薄膜氧化层的厚度进行了测定，讨论了退火温度和退火时间对其氧化的影响。

关键词：椭圆偏振测量氧化层厚度铬薄膜

适配光电子学空间电荷测量方法的弹光传感器设计与测试验证

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电工技术学报 2023年第3期38卷 587-598页

作者：高浩予任瀚文李庆民史昀祯程思闳新能源电力系统国家重点实验室(华北电力大学) 北京102206

为支撑复杂应力环境下新能源电力系统装备绝缘可靠设计与状态评估,该文提出一种具备高时空分辨潜力的光电子学空间电荷测量方法,并构建了光-电-机械电荷测量信号传变转换模型。模型分析指出,电荷受太赫兹脉冲电场扰动所产生的弹性波大... 详细信息

为支撑复杂应力环境下新能源电力系统装备绝缘可靠设计与状态评估,该文提出一种具备高时空分辨潜力的光电子学空间电荷测量方法,并构建了光-电-机械电荷测量信号传变转换模型。模型分析指出,电荷受太赫兹脉冲电场扰动所产生的弹性波大小与平衡探测器所检测光强差近似成正比。针对测量传感器部分,结合分子动力学模拟,提出以SU-8胶为基体、羟基化石墨烯为掺杂分子的传感器材料改性设计思路,并基于光刻工艺,完成了高可靠弹光传感器的研制。进一步,搭建椭偏传感探测系统对所研发传感器开展了测试验证。实验表明,平衡探测器输出电压与传统电声脉冲压电传感模块输出量级一致,均为mV量级。同时,所研发弹光传感器可实现kHz级重复弹性波与飞秒脉宽脉冲弹性波的追踪测量,相较于压电传感模块,测量波形光滑且无畸变,具备较高的测量可靠性,可应用于光学测量方法。

关键词：空间电荷光弹性效应椭圆偏振测量弹光传感器

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基于混合优化算法的纳米薄膜参数表征

红外与激光工程 2020年第2期49卷 223-228页

作者：雷李华张馨尹吴俊杰李智玮李强刘娜谢张宁管钰晴傅云霞上海市计量测试技术研究院上海201203 中国计量大学计量测试工程学院浙江杭州310018 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所计量与校准技术重点实验室北京100095

为了在椭圆偏振测量过程中得到精确的纳米薄膜参数,提出了一种求解纳米薄膜参数的混合优化算法。结合人工神经网络算法反向传播和粒子群算法快速寻优的特点,建立了改进粒子群-神经网络(Improved Particle Swarm Optimization-Neural Net... 详细信息

为了在椭圆偏振测量过程中得到精确的纳米薄膜参数,提出了一种求解纳米薄膜参数的混合优化算法。结合人工神经网络算法反向传播和粒子群算法快速寻优的特点,建立了改进粒子群-神经网络(Improved Particle Swarm Optimization-Neural Network,IPSO-NN)混合优化算法。该算法在较少的迭代次数下具有快速跳出局部最优解的能力,从而快速寻找椭偏方程最优解。文中使用该算法对标称值为(26.7±0.4)nm的硅上二氧化硅纳米薄膜厚度标准样片进行薄膜参数计算。结果表明:采用IPSO-NN混合优化算法计算薄膜厚度时相对误差小于2%,折射率误差小于0.1。同时,文中通过实验对比了传统粒子群算法与IPSO-NN算法,验证了IPSO-NN算法计算薄膜参数时能有效优化迭代次数和寻找最优解的过程,实现快速收敛,提高计算效率。

关键词：椭圆偏振测量纳米薄膜参数数据处理混合优化算法

利用弹光效应测量固体电介质空间电荷的高时空分辨方法与实验验证

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中国电机工程学报 2021年第21期41卷 7193-7197页

作者：高浩予李庆民任瀚文李承前史昀祯王忠东新能源电力系统国家重点实验室(华北电力大学) 北京市102206 埃克塞特大学数学与物理工程学院英国埃克塞特EX44QJ

为支撑复杂应力环境下大功率电力电子装备绝缘可靠设计与状态评估,该文提出一种基于弹光效应的固体电介质空间电荷光学测量方法,并构建信号传变模型。模型分析指出,平衡探测器光强差变化与电荷受扰动所产生弹性波的幅值变化近似成正比... 详细信息

为支撑复杂应力环境下大功率电力电子装备绝缘可靠设计与状态评估,该文提出一种基于弹光效应的固体电介质空间电荷光学测量方法,并构建信号传变模型。模型分析指出,平衡探测器光强差变化与电荷受扰动所产生弹性波的幅值变化近似成正比关系。接着,基于所构建椭圆偏振测量平台与传感器耦合模型对该探测系统的可行性与空间分辨特性开展实验验证。结果表明,所提探测方法可实现皮秒级脉宽弹性波的追踪测量,具备实现空间电荷高时空分辨的潜力。

关键词：空间电荷弹光效应椭圆偏振测量信号传变过程测量分辨率

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提高旋转检偏器式椭偏仪准确度的方法

光学学报 1988年第3期8卷 228-234页

作者：张克奇严义埙中国科学院上海技术物理研究所

本文分析了最常见的影响旋转检偏器式椭偏仪准确度的两个因素.提出了改进的测量方法和测量结果的修正公式,提高了测量准确度并为实验所证实.

关键词：椭圆偏振测量偏振光

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红外低辐射膜的设计、制备与表征

红外技术 2022年第3期44卷 249-254页

作者：韩建龙邱桂花张瑞蓉王雯王益珂谭东东于名讯山东非金属材料研究所山东济南250031 陆装南京军代局泰安军代室山东泰安271039

为了降低红外探测技术对军事目标生存能力的威胁,研制了红外低辐射膜。设计并制备了基于一维光子晶体结构的红外低辐射膜,通过结构参数优化,改善了其红外波段反射性能,并降低了薄膜总厚度。采用红外椭偏仪测试了原材料Ge膜和ZnS膜的厚... 详细信息

为了降低红外探测技术对军事目标生存能力的威胁,研制了红外低辐射膜。设计并制备了基于一维光子晶体结构的红外低辐射膜,通过结构参数优化,改善了其红外波段反射性能,并降低了薄膜总厚度。采用红外椭偏仪测试了原材料Ge膜和ZnS膜的厚度和折射率,将测试结果带入设计结构,制备了8~12μm发射率分别为0.045、0.097、0.174和0.346的红外低辐射膜。研究结果表明,通过结构优化,可制备出不同发射率的红外低辐射膜,满足武器装备不同辐射背景下的红外隐身要求。

关键词：一维光子晶体红外低辐射膜椭圆偏振测量红外反射率红外发射率