提高旋转检偏器式椭偏仪准确度的方法
Method of improving accuracy of rotating analyzer ellipsometer作者机构：中国科学院上海技术物理研究所
出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)
年 卷 期：1988年第8卷第3期
页 面：228-234页
核心收录：
学科分类：0808[工学-电气工程] 070207[理学-光学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
摘 要：本文分析了最常见的影响旋转检偏器式椭偏仪准确度的两个因素.提出了改进的测量方法和测量结果的修正公式,提高了测量准确度并为实验所证实.
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