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  • 4 篇 期刊文献

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  • 4 篇 电子文献
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  • 4 篇 工学
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    • 3 篇 电子科学与技术(可...
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 2 篇 射频磁控溅射
  • 1 篇 zno/ga2o3 films
  • 1 篇 semiconductor ma...
  • 1 篇 gan nanorods
  • 1 篇 zno/ga2o3薄膜
  • 1 篇 自组装
  • 1 篇 中间层
  • 1 篇 氨化
  • 1 篇 radio frequency ...
  • 1 篇 sic
  • 1 篇 ammonia ambience
  • 1 篇 annealing
  • 1 篇 zno films
  • 1 篇 gan纳米线
  • 1 篇 buffer layers
  • 1 篇 r.f. magnetron s...

机构

  • 2 篇 山东师范大学
  • 1 篇 collegeofphysics...
  • 1 篇 institute of sem...

作者

  • 2 篇 董志华
  • 2 篇 高海永
  • 2 篇 吴玉新
  • 2 篇 庄惠照
  • 2 篇 田德恒
  • 2 篇 薛成山
  • 2 篇 王书运
  • 1 篇 zhuanghuizhao ga...
  • 1 篇 何建廷
  • 1 篇 gao haiyong zhua...

语言

  • 2 篇 英文
  • 2 篇 中文
检索条件"作者=GAO Haiyong ZHUANG Huizhao XUE Chengshan WANG Shuyun DONG zhihua he Jianting"
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排序:
Fabrication of ZnO films by radio frequency magnetron sputtering and annealing
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Rare Metals 2005年 第3期24卷 267-271页
作者: gao haiyong zhuang huizhao xue chengshan wang shuyun dong zhihua he jianting Institute of Semiconductor Shandong Normal University Jinan 250014 China
ZnO thin films were deposited on Si(111) substrates through a radio frequency (rf) magnetron sputtering system. Then the samples were annealed at different temperatures in air ambience and ammonia ambience respect... 详细信息
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Synthesis of GaN nanorods on Si substrates with assistance of the vola-tilization of ZnO middle layers
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Rare Metals 2005年 第2期24卷 110-114页
作者: zhuanghuizhao gaohaiyong xuechengshan wangshuyun dongzhihua hejianting CollegeofPhysicsandElectronics ShandongNormalUniversityJinan250014China
GaN nanorods have successfully been synthesized on Si(111) substrates via ammoniating ZnO/Ga2O3 films at 950 degrees C. Ga2O3 thin films and ZnO middle layers were deposited in turn on Si(111) substrates by r.f. magne... 详细信息
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以磁控溅射+自组装反应方式制备GaN薄膜
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稀有金属材料与工程 2006年 第3期35卷 463-466页
作者: 薛成山 董志华 庄惠照 王书运 高海永 田德恒 吴玉新 山东师范大学 山东济南250014
为了用简单的方法得到GaN薄膜,以射频磁控溅射方法将Ga2O3薄膜沉积到Si(111)衬底上的SiC中间层上,通过其同NH3的自组装反应形成了GaN薄膜。同样,利用磁控溅射方法把SiC层沉积到Si衬底。其目的是为了缓冲由GaN外延层和Si衬底的晶格失配... 详细信息
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Si基氨化ZnO/Ga_2O_3薄膜制备GaN纳米线
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Journal of Semiconductors 2005年 第5期26卷 931-935页
作者: 高海永 庄惠照 薛成山 王书运 何建廷 董志华 吴玉新 田德恒 山东师范大学半导体研究所 济南250014
利用射频磁控溅射法在Si(111)衬底上溅射ZnO中间层和Ga2O3 薄膜,然后在管式炉中常压下通氨气对ZnO/Ga2O3 薄膜进行氨化,高温下ZnO层在氨气气氛中挥发,而Ga2O3 薄膜和氨气反应合成出GaN纳米线.X射线衍射测量结果表明利用该方法制备的GaN... 详细信息
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