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光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制

光子学报 2012年第12期41卷 1452-1455页

作者：齐克奇向阳中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室长春130033

针对基于剪切干涉原理的光刻投影物镜波像差检测设备中相移测量的需求,设计了一种移相装置.该装置采用了桥式放大机构,获得了较大放大比和相对紧凑的结构.从原理上对桥式放大机构进行了分析和讨论,得到了输入位移与其放大比之间的函数关... 详细信息

针对基于剪切干涉原理的光刻投影物镜波像差检测设备中相移测量的需求,设计了一种移相装置.该装置采用了桥式放大机构,获得了较大放大比和相对紧凑的结构.从原理上对桥式放大机构进行了分析和讨论,得到了输入位移与其放大比之间的函数关系,并得到了其关系曲线.经过非线性有限元分析,对该装置的变形、受力和模态特性进行了验证.验证结果满足检测平台移相要求.

关键词：光刻投影物镜波像差相移测量桥式放大机构有限元

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抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量

中国激光 2018年第5期45卷 133-138页

作者：方超向阳齐克奇中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 中国科学院大学北京100049

为降低传统光栅横向剪切干涉仪中双方孔空间滤波器带来的加工和装调难度,设计了一种基于9步式零级相位误差标定的光栅横向剪切干涉测量方法,只需采用可变空间滤波器即可抑制零级串扰对相移相位复原的影响。针对数值孔径为0.125的投影光... 详细信息

为降低传统光栅横向剪切干涉仪中双方孔空间滤波器带来的加工和装调难度,设计了一种基于9步式零级相位误差标定的光栅横向剪切干涉测量方法,只需采用可变空间滤波器即可抑制零级串扰对相移相位复原的影响。针对数值孔径为0.125的投影光刻物镜,完成了参数设计和原理验证系统的搭建。通过剪切相位复原和波前重构,实现了该物镜的波像差检测。结果表明:其波像差小于20.32nm。最后对该光栅横向剪切干涉仪进行重复精度实验,其重复精度的方均根值为0.1303nm,系统性能良好。

关键词：测量光栅相位干涉串扰重复精度

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是犯罪行为还是正当防卫?

法律学习与研究 1990年第1期 90-91页

作者：齐克奇

一、案情简介被告人李甲,女,17岁,汉族,系内蒙古某旗农民。被告人李甲于1989年3月30日晚,随其姐姐李乙到本村刘某(系李乙的夫兄)家借用畜力车。李乙对刘说:"大哥,咱妈(指其婆母)给我们一只羊,明天拉到集市上卖几个钱好治病,把你家车借... 详细信息

一、案情简介被告人李甲,女,17岁,汉族,系内蒙古某旗农民。被告人李甲于1989年3月30日晚,随其姐姐李乙到本村刘某(系李乙的夫兄)家借用畜力车。李乙对刘说:"大哥,咱妈(指其婆母)给我们一只羊,明天拉到集市上卖几个钱好治病,把你家车借用用呗!"

关键词：正当防卫李甲被告人不法侵害危害结果疏忽大意故意伤害罪过失杀人罪防卫措施内蒙古

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大吨位履带起重机上车主要参数的计算与优化

大吨位履带起重机上车主要参数的计算与优化

作者：齐克奇吉林大学

学位级别：硕士

履带起重机是广泛应用于国民经济各领域的一种起重设备。随着我国经济建设的发展,对其需求量越来越大,对其性能及起重量的要求也越来越高。但是目前国内履带起重机的开发能力、产品规模和质量都与国外有相当大的差距。本文的研究工作正... 详细信息

履带起重机是广泛应用于国民经济各领域的一种起重设备。随着我国经济建设的发展,对其需求量越来越大,对其性能及起重量的要求也越来越高。但是目前国内履带起重机的开发能力、产品规模和质量都与国外有相当大的差距。本文的研究工作正是为了提高大吨位履带起重机的设计水平,并且根据我国经济发展的实际需要,大规模生产高性能、高水平的履带起重机而提出的。本文根据大吨位履带起重机的结构和工作原理,对履带起重机的上车结构件作较为全面、系统而深入的研究,并结合各种先进计算方法,提出一些具有较强实用价值的设计及优化方法。本文主要工作是以吉林大学机械科学及工程学院与徐工集团徐州重型机械有限公司(以下简称徐重)联合开发的大型履带起重机整机参数化设计及计算软件为背景,针对国内大型履带起重机设计中急需解决的上车构件铰点位置及长度的确定依据和臂架截面与管径优化设计方法进行的研究。上车构件位置关系直接影响到构件自身乃至整机结构的受力状况,是履带起重机设计的关键之一。臂架截面和管径决定了整个起重机的性能,是所有设计中的重中之重。本文对上车构件的几何关系及运动机理作了较为深入的研究,并建立了上车构件铰点位置及长度优化数学模型,确定了以优化的方法作为设计依据的思路。通过分析,选用遗传算法作为优化方法。同时完成了相关软件的开发。在臂架截面与管径优化设计中,在臂架已经初步参数化的前提下,利用了ANSYS中自带的优化模块进行了多目标结构优化,同样得到了很好的效果。本文第二到四章为上车构件铰点位置及长度优化部分,第五章为臂架截面与管径优化部分。

关键词：履带起重机上车大参数遗传算法设计依据优化 ANSYS优化模块

应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试

同方学位论文库评论

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中国光学 2020年第2期13卷 344-353页

作者：李华东齐克奇石强王少鑫王智中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 中国第一汽车股份有限公司新能源开发院吉林长春130011

为保证空间惯性传感器的正常在轨运行,在发射阶段需保证测试质量固定以避免与周围电容极板的接触碰撞;到达预定轨道后再重新捕获并以最小残余线速度将测试质量释放至精确位置,保持自由悬浮状态。测试质量的捕获定位对驱动器提出高精度... 详细信息

为保证空间惯性传感器的正常在轨运行,在发射阶段需保证测试质量固定以避免与周围电容极板的接触碰撞;到达预定轨道后再重新捕获并以最小残余线速度将测试质量释放至精确位置,保持自由悬浮状态。测试质量的捕获定位对驱动器提出高精度的要求。本文针对在太空中捕获定位释放测试质量所用的压电直线驱动器进行了设计定制与性能测试。试验结果表明:该定制的压电驱动器最小步长小于1 nm,但步长稳定性误差较大;150 V工作电压条件最大驱动力达72 N;单步行进驱动力稳定;夹持测试质量过程中,驱动力稳定,稳定性偏差为0.16%。满足捕获、定位、释放机构的使用需求。

关键词：精密驱动尺蠖运动压电驱动器驱动力位移分辨率

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并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量

光学精密工程 2017年第7期25卷 1874-1881页

作者：齐克奇向阳丁亚林方超周振平中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院航空光学成像与测量重点实验室吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 吉林大学机械科学与工程学院吉林长春130022

针对传统串联式微位移机构具有的结构不紧凑和刚度较低等问题,本文设计了一种结构紧凑、具有高分辨率和高刚度的并联式自解耦二自由度微位移平台。该平台采用了4个对称布置的嵌套式平行导向机构,使得平台具有刚度对称和自解耦等特点。... 详细信息

针对传统串联式微位移机构具有的结构不紧凑和刚度较低等问题,本文设计了一种结构紧凑、具有高分辨率和高刚度的并联式自解耦二自由度微位移平台。该平台采用了4个对称布置的嵌套式平行导向机构,使得平台具有刚度对称和自解耦等特点。本文还对嵌套式平行导向机构的工作原理进行了分析。通过有限元方法仿真分析了微位移平台在不同受力状态下的变形情况,并对其进行了模态分析。经实验测量,证实了该平台具有自解耦功能,并得出了微位移平台的实际行程,且其输出位移也被证实具有较为良好的线性度。

关键词：并联式自解耦微位移平台嵌套式平行导向机构有限元方法

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电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究

中国光学 2019年第3期12卷 455-462页

作者：王少鑫齐克奇王玉坤王智陈立恒中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院大学北京100049

惯性传感器被广泛应用于地球重力场反演、等效原理验证等科学实验中,用来测量空间非保守力作用引起的微小加速度扰动以实现航天器的无拖曳控制。目前国内外正在大力开展的空间引力波探测计划中,惯性传感器作为核心测量载荷主要用于屏蔽... 详细信息

惯性传感器被广泛应用于地球重力场反演、等效原理验证等科学实验中,用来测量空间非保守力作用引起的微小加速度扰动以实现航天器的无拖曳控制。目前国内外正在大力开展的空间引力波探测计划中,惯性传感器作为核心测量载荷主要用于屏蔽外界噪声扰动,并通过静电控制和微推进器的测量及补偿实现测试质量在空间敏感轴方向自由漂浮运动。本文以静电悬浮式惯性传感器电容结构为基础,结合系统静电力驱动控制的工作原理,并以实际的加工条件为依据,对电极不对称性这一系统自身的误差来源展开分析,通过对各种不对称情况的系统性能影响比较分析,得到电极不对称性对于系统性能,特别是量程损失的影响显著。在此基础上结合实际加工条件得出将加工线度尺寸误差控制在10μm以内,面积不对称性控制在1%~2%之间的基本要求,以降低其对系统测量范围的限制,进而提高科学目标。

关键词：惯性传感器敏感结构电极不对称量程

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光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制

长春理工大学学报（自然科学版） 2012年第4期35卷 46-48,45页

作者：齐克奇中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室长春130033

针对光刻物镜波像差检测平台上的针孔定位的需求,设计了一种并联式二维微定位机构,并对该装置的结构特点进行了讨论。该结构具有良好的自解耦功能和较低温度敏感度。并通过有限元方法对针孔定位装置在受力状态下的变形情况进行了模拟,... 详细信息

针对光刻物镜波像差检测平台上的针孔定位的需求,设计了一种并联式二维微定位机构,并对该装置的结构特点进行了讨论。该结构具有良好的自解耦功能和较低温度敏感度。并通过有限元方法对针孔定位装置在受力状态下的变形情况进行了模拟,并进行了模态分析,证实了该针孔定位装置具有的特性能够很好地满足光刻物镜波像差检测的针孔定位需求。

关键词：光刻物镜波像差检测平台针孔定位自解耦有限元方法

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光刻机投影物镜安装方式研究

光机电信息 2011年第8期28卷 22-26页

作者：齐克奇中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033

不同的投影物镜安装方式对应不同的隔振方式,不同的隔振方式对投影光刻系统的图形传递能力也有较大影响。对两种主要的光刻投影物镜安装方式进行了研究,并对各自特点进行了讨论。

关键词：投影物镜安装方式隔振方式投影光刻系统