应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试

作     者：李华东 齐克奇 石强 王少鑫 王智 LI Hua-dong;QI Ke-qi;SHI Qiang;WANG Shao-xin;WANG Zhi

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 中国第一汽车股份有限公司新能源开发院吉林长春130011 

出 版 物：《中国光学》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2020年第13卷第2期

页      面：344-353页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：中国科学院“空间科学(二期)”战略性先导科技专项(No.XDA15020704) 

主　　题：精密驱动 尺蠖运动 压电驱动器 驱动力 位移分辨率 

摘      要：为保证空间惯性传感器的正常在轨运行,在发射阶段需保证测试质量固定以避免与周围电容极板的接触碰撞;到达预定轨道后再重新捕获并以最小残余线速度将测试质量释放至精确位置,保持自由悬浮状态。测试质量的捕获定位对驱动器提出高精度的要求。本文针对在太空中捕获定位释放测试质量所用的压电直线驱动器进行了设计定制与性能测试。试验结果表明:该定制的压电驱动器最小步长小于1 nm,但步长稳定性误差较大;150 V工作电压条件最大驱动力达72 N;单步行进驱动力稳定;夹持测试质量过程中,驱动力稳定,稳定性偏差为0.16%。满足捕获、定位、释放机构的使用需求。