光刻机投影物镜安装方式研究
Installation Methods of Lithography Projection Lens作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033
出 版 物：《光机电信息》 (OME Information)
年 卷 期：2011年第28卷第8期
页 面：22-26页
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
摘 要：不同的投影物镜安装方式对应不同的隔振方式,不同的隔振方式对投影光刻系统的图形传递能力也有较大影响。对两种主要的光刻投影物镜安装方式进行了研究,并对各自特点进行了讨论。
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