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磁控溅射法制备ZrO2薄膜的研究

磁控溅射法制备ZrO2薄膜的研究

作者：戚云娟西安工业大学

学位级别：硕士

ZrO2薄膜具有折射率高、光谱透明范围宽、在可见光和近红外波段有低吸收和低散射等优点,被广泛用于光学薄膜领域。另外,这种材料还具有较高的抗激光损伤闽值,通常作为最主要的高折射率材料之一,与低折射率材料SiO2一起设计成符合各种不... 详细信息

ZrO2薄膜具有折射率高、光谱透明范围宽、在可见光和近红外波段有低吸收和低散射等优点,被广泛用于光学薄膜领域。另外,这种材料还具有较高的抗激光损伤闽值,通常作为最主要的高折射率材料之一,与低折射率材料SiO2一起设计成符合各种不同要求的激光多层膜,用于强激光领域,以提高激光器的输出功率和能量。因此,ZrO2薄膜对于激光加工、国防军事、科学研究等领域均有重要的研究价值。 Zr02薄膜的制备方法主要有电子束蒸发、化学气相沉积、溶胶凝胶法和磁控溅射等。本文采用反应磁控溅射法在k9玻璃基底上沉积了ZrO2薄膜,以其折射率和消光系数为评价指标,通过正交试验法优化了制备工艺参数。在此基础上,分别做了不同氧流量、不同靶基距和不同靶功率的实验,然后分别对其进行光学性能、抗激光损伤性能、XRD及XPS表征。分析了氧流量、靶基距、靶功率与薄膜性能之间的关系。研究结果表明,在工艺参数为氧流量22sccm,靶基距18mm,溅射功率0.3kw,氩气流量65sccm,溅射气压6×10-2Pa,本底真空5×10-3Pa时,可以获得折射率为2.1,抗激光损伤阈值为20.73J/cm2的综合性能良好的ZrO2薄膜,且该结果具有较好的可重现性。使用XRD对薄膜晶体结构分析结果为：在未退火情况下,本实验沉积的ZrO2薄膜为非晶态。使用XPS对最佳工艺参数下制备的薄膜成分分析结果为：薄膜中Zr：O原子比接近于1：2,得到了较纯的ZrO2薄膜。

关键词：磁控溅射 ZrO2薄膜光学特性抗激光损伤阈值

基于离子束溅射法制备的负温度系数Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_(4)薄膜热敏电阻

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微纳电子技术 2022年第12期59卷 1383-1387页

作者：武绍宽邓勇生潘婷戚云娟高波薛小婷李莹中国航天科技集团公司四院四十四所西安710025

随着当前传感器的小型化和集成化趋势热敏薄膜材料受到广泛关注。为制备电阻率低、温度性能稳定的负温度系数(NTC)热敏电阻,以Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_(4)为研究对象,通过离子束溅射法在硅晶圆上制备热敏电阻薄膜,使用真空退火炉... 详细信息

随着当前传感器的小型化和集成化趋势热敏薄膜材料受到广泛关注。为制备电阻率低、温度性能稳定的负温度系数(NTC)热敏电阻,以Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_(4)为研究对象,通过离子束溅射法在硅晶圆上制备热敏电阻薄膜,使用真空退火炉进行退火,成功制备出热敏电阻。采用扫描电子显微镜(SEM)对样品结构和形貌进行表征,并用恒温槽、数字万用表等对样品进行电学性能测试。结果表明采用离子束溅射法可以获得粒径小、致密和均匀性好的低电阻率热敏电阻薄膜,薄膜电阻率降低至2.18×10^(-3)Ω·cm,25℃下电阻为81.635Ω,在0~100℃测试温区内,制备的热敏薄膜材料具有明显的负温度特性。

关键词：热敏电阻负温度系数(NTC) 离子束溅射 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_(4)薄膜热敏薄膜

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显生宙降水重建

中国科学：地球科学 2024年第5期54卷 1645-1652页

作者：包秀娟胡永云北京大学物理学院大气与海洋科学系气候与海气实验室北京100871

重建地球历史上的全球平均降水(GMP)对于理解长期气候演变至关重要.本文首次开展了重建显生宙GMP的研究.对第六次国际耦合模式比较计划(CMIP6)中23个全球气候模式数据的分析表明,全球平均地表温度(GMST)对GMP的影响是一致的且显著的,敏... 详细信息

重建地球历史上的全球平均降水(GMP)对于理解长期气候演变至关重要.本文首次开展了重建显生宙GMP的研究.对第六次国际耦合模式比较计划(CMIP6)中23个全球气候模式数据的分析表明,全球平均地表温度(GMST)对GMP的影响是一致的且显著的,敏感度为2~3%K^(-1).此外,本文提出了一种新的方法,估算了地质历史时期Köppen气候带和陆地面积的变化对GMP的影响.结合GMST、Köppen气候带和陆地面积对降水的综合作用,重建了540Ma至今的GMP.研究结果显示, GMP在整个显生宙的波动幅度约为500mm a^(-1),介于948和1442mm a^(-1)之间,与数值模拟的结果一致.我们重建的显生宙古降水有助于更好地认识和理解全球水循环的演变.

关键词：古降水古气候 Köppen气候带全球平均降水水循环

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氧流量对磁控溅射ZrO_2薄膜光学性能的影响

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表面技术 2011年第5期40卷 18-20,53页

作者：戚云娟朱昌梁海峰西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测实验室西安710032

采用反应磁控溅射法在k9玻璃基底上沉积ZrO2薄膜。用轮廓仪、椭圆偏振仪和分光光度计,分别测试薄膜的厚度、折射率、消光系数和透过率,研究了不同氧流量对薄膜沉积速率和光学特性的影响。结果表明:随着氧气流量增加到22～24mL/min(标准... 详细信息

采用反应磁控溅射法在k9玻璃基底上沉积ZrO2薄膜。用轮廓仪、椭圆偏振仪和分光光度计,分别测试薄膜的厚度、折射率、消光系数和透过率,研究了不同氧流量对薄膜沉积速率和光学特性的影响。结果表明:随着氧气流量增加到22～24mL/min(标准状态下)时,沉积速率从6.8nm/s下降到2.5nm/s,并趋于稳定;在入射波长630nm处,薄膜的折射率为1.95,消光系数小于10-5;在可见及近红外波段,薄膜平均透过率高于80%。

关键词： ZrO2薄膜反应磁控溅射氧流量光学特性

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马龙区森林抚育主要技术措施与对策浅析

云南林业 2024年第5期 84-89页

作者：戚正云曲靖市马龙区林业和草原局

介绍曲靖市马龙区自然地理、社会经济、森林资源及森林抚育实施概况,阐述森林抚育采取的主要技术措施,总结开展森林抚育取得的主要经验。针对森林抚育实施过程中存在的抚育间伐强度不好掌握、林分“平均胸径”指标的误差、林分“公顷株... 详细信息

介绍曲靖市马龙区自然地理、社会经济、森林资源及森林抚育实施概况,阐述森林抚育采取的主要技术措施,总结开展森林抚育取得的主要经验。针对森林抚育实施过程中存在的抚育间伐强度不好掌握、林分“平均胸径”指标的误差、林分“公顷株数”“采伐量”指标误差大、不可利用剩余物难处理、森林抚育作业设计调查工作繁重,可用于调查设计的费用占森林抚育总投资的比例较低等问题进行分析,借此提出相应对策、建议。

关键词：森林抚育技术措施间伐强度对策马龙区

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马龙区天然林资源保护工程实施现状及对策

云南林业 2024年第6期 64-69页

作者：戚正云曲靖市马龙区林业和草原局

截至目前,曲靖市马龙区年均完成森林管护面积89149.26 hm^(2),聘用天保工程森林管护人员424名,建立了县、乡、村三级护林网络,形成了“金字塔”式的管护模式。对天保工程中取得的生态效益、经济效益、社会效益和文化效益进行了评价,分... 详细信息

截至目前,曲靖市马龙区年均完成森林管护面积89149.26 hm^(2),聘用天保工程森林管护人员424名,建立了县、乡、村三级护林网络,形成了“金字塔”式的管护模式。对天保工程中取得的生态效益、经济效益、社会效益和文化效益进行了评价,分析天保工程实施中存在的人工造林林分质量差,退化林和残次林较多;森林抚育作业设计调查工作繁重但费用占比较低;森林资源管护体系不健全,护林员管理不规范;天保工程实施方案编制滞后;缺乏有效的激励机制;缺乏科技支撑,后续产业发展不畅等问题和困难,并提出成立领导机构,为工程实施提供组织保障;制定出台护林员管理制度和工作制度,规范考核奖惩措施;严格工程管理,高标准建设天保公益林;妥善安置森工企业富余人员,稳步推进国有林场改革;规范档案管理,强化林业基础设施,提高林业干部职工队伍素质等措施,在天保工程实施中取得了一定成绩。

关键词：天然林资源保护工程森林管护公益林建设曲靖市马龙区

一站式TAVI/TAVR患者CTA扫描延迟方案的对比研究

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西安交通大学学报（医学版） 2024年第1期45卷 155-159页

作者：戚荣飞吴志斌杨旭杨柳莎常英娟空军军医大学西京医院放射科陕西西安710032

目的对比经导管主动脉瓣植入(TAVI)/经导管主动脉瓣置换(TAVR)患者术前CTA扫描使用团注测试法和团注追踪法延迟方案对图像质量的影响。方法选取在空军军医大学西京医院行TAVI/TAVR术前一站式CTA检查的患者43例,随机分为两组,分别使用团... 详细信息

目的对比经导管主动脉瓣植入(TAVI)/经导管主动脉瓣置换(TAVR)患者术前CTA扫描使用团注测试法和团注追踪法延迟方案对图像质量的影响。方法选取在空军军医大学西京医院行TAVI/TAVR术前一站式CTA检查的患者43例,随机分为两组,分别使用团注测试法和团注追踪法行术前CTA扫描。扫描完成后测量主动脉根窦部(C1)、左右冠状动脉近段(C2、C3)、升主动脉(A1)、肾动脉层面腹主动脉(A2)、左右股动脉(A3、A4)以及同层面肌肉CT值、SD值;计算出相应部位的信噪比(SNR)、对比噪声比(CNR),将所得到的数据结果从主观、客观两方面进行对比分析。结果两组图像在C1、C2、C3和A1处图像质量差异无统计学意义(P>0.05);在A2和A3、A4图像质量差异有统计学意义(P<0.05),应用团注测试法获得的图像质量优于团注追踪法。结论对肾动脉层面以下的主动脉和髂股动脉,团注测试法延迟方案在TAVI/TAVR患者术前一站式CTA检查可以获得比团注追踪法更为优良稳定的图像质量。

关键词：团注追踪法团注测试法经导管主动脉瓣植入术(TAVI) 经导管主动脉瓣置换术(TAVR)

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肾衰并发心衰要积极治疗

健康向导 2024年第2期30卷 42-43页

作者：戚秀娟河北省唐山市开滦总医院

慢性肾衰竭是因多种原因导致肾脏功能逐渐丧失,体内代谢废物和毒素积累,进而引发一系列严重病理问题的过程。慢性肾衰竭引发的心力衰竭是其常见的并发症,对患者的生命健康构成严重威胁。对于肾衰引发的心衰要进行积极的治疗,主要包括一... 详细信息

慢性肾衰竭是因多种原因导致肾脏功能逐渐丧失,体内代谢废物和毒素积累,进而引发一系列严重病理问题的过程。慢性肾衰竭引发的心力衰竭是其常见的并发症,对患者的生命健康构成严重威胁。对于肾衰引发的心衰要进行积极的治疗,主要包括一般治疗、对症治疗以及手术治疗。

关键词：肾脏功能慢性肾衰竭心力衰竭对症治疗肾衰心衰生命健康手术治疗

企业加快财务数字化转型实现财务精细化管理研究

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理财（审计） 2024年第8期 56-58页

作者：戚淑娟新乡市新华液压机械有限公司

随着信息技术的快速发展和数字化时代的到来,企业面临着财务管理的新挑战和机遇。财务数字化转型已成为企业发展的重要战略选择。财务数字化转型是指通过应用信息技术,将企业财务业务流程数字化、智能化,以提高财务管理效率、准确性和... 详细信息

随着信息技术的快速发展和数字化时代的到来,企业面临着财务管理的新挑战和机遇。财务数字化转型已成为企业发展的重要战略选择。财务数字化转型是指通过应用信息技术,将企业财务业务流程数字化、智能化,以提高财务管理效率、准确性和精确度的过程。面对不断变化的市场经济环境及企业所面临的市场竞争,传统经营模式已不能适应企业发展的需要。为此,加速企业的信息化建设,使其达到精确的财务水平,是提高企业核心竞争力和可持续发展的关键。

关键词：传统经营模式财务管理财务精细化管理数字化转型重要战略选择信息技术数字化时代市场竞争