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用于氮化铝陶瓷高温烧结设备的设计与验证

电子工艺技术 2024年第1期45卷 61-63页

作者：陈庆广姬常晓何永平王成宇文正中国电子科技集团公司第四十八研究所长沙410111

针对以“新基建”为代表的通信领域对高功率、高性能微波组件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性。基于此,开发了高温烧结设备,进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺试验,分析了烧结温度及时间、升降温速率、气体流量及炉体压强等因... 详细信息

针对以“新基建”为代表的通信领域对高功率、高性能微波组件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性。基于此,开发了高温烧结设备,进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺试验,分析了烧结温度及时间、升降温速率、气体流量及炉体压强等因素对高温烧结产品性能的影响。

关键词：高温烧结炉氮化铝陶瓷高温烧结工艺

适用于器件制程的立式扩散/氧化设备设计与验证

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电子工业专用设备 2024年第1期53卷 19-23页

作者：陈庆广赵瓛黄升曾裕民姬常晓刘洪文王成宇彭浩易文杰中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111 湖南杰楚微半导体科技有限公司湖南长沙410205

针对半导体器件的国产化制造及工艺制程需求,设计了一款适用于200 mm(8英寸)晶圆的立式扩散/氧化设备。介绍了设备的功能特点和几个关键部分的设计要点,并对炉体系统进行了详细论述;设备设计完成后上线进行了流片试验,根据工艺验证结果... 详细信息

针对半导体器件的国产化制造及工艺制程需求,设计了一款适用于200 mm(8英寸)晶圆的立式扩散/氧化设备。介绍了设备的功能特点和几个关键部分的设计要点,并对炉体系统进行了详细论述;设备设计完成后上线进行了流片试验,根据工艺验证结果,该设备满足产品工艺要求,膜厚均匀性均优于±2%。

关键词：立式扩散旋转舟架传片系统

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超薄柔性黑硅太阳电池研究

太阳能学报 2016年第10期37卷 2479-2483页

作者：周洪彪谢卓敏刘文峰陆运章姬常晓中国电子科技集团公司第四十八研究所长沙410111 国家光伏装备工程技术研究中心长沙410111

通过PC1D模拟软件分析了硅片厚度对电池性能的影响,结果表明:随着硅片厚度减薄,硅片对光的吸收效率逐渐减弱。为了强化硅片表面的陷光能力,弥补硅衬底减薄对光吸收的损失,采用化学刻蚀法制备获得了具有纳米绒面的黑硅太阳电池。通过模... 详细信息

通过PC1D模拟软件分析了硅片厚度对电池性能的影响,结果表明:随着硅片厚度减薄,硅片对光的吸收效率逐渐减弱。为了强化硅片表面的陷光能力,弥补硅衬底减薄对光吸收的损失,采用化学刻蚀法制备获得了具有纳米绒面的黑硅太阳电池。通过模拟对比厚度为80μm的黑硅电池和常规电池性能,结果表明:硅纳米长度为0.85μm的黑硅表面平均反射率从常规制绒的12.65%降低至4.06%,黑硅电池短路电流从常规的8.693 A增加至9.104 A,黑硅电池效率从常规的18.87%提高至19.74%。

关键词：超薄黑硅太阳电池反射率

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立式氧化炉中气流场的仿真设计与分析

新型工业化 2021年第8期11卷 219-221页

作者：万喜新邓斌姬常晓李苹中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111

为解决立式氧化炉气流场存在的技术难点,提高晶圆氧化膜的厚度均匀性;采用流体力学仿真方法,建立炉体工艺管气流场数学和仿真模型,并分析流速分布规律;针对环形流动造成的炉内流速分布不均的问题,通过在炉顶安装多孔薄板以优化炉体结构... 详细信息

为解决立式氧化炉气流场存在的技术难点,提高晶圆氧化膜的厚度均匀性;采用流体力学仿真方法,建立炉体工艺管气流场数学和仿真模型,并分析流速分布规律;针对环形流动造成的炉内流速分布不均的问题,通过在炉顶安装多孔薄板以优化炉体结构并进行仿真分析。仿真结果表明:增设孔板有利于改善炉内同一横截面和竖直方向的气流场均匀性。

关键词：立式氧化炉仿真模型气流场多孔挡板

一种具有“盐响应”特性的两性离子聚合物增黏降滤失剂

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天然气工业 2024年第5期44卷 118-126页

作者：常晓峰中国石油集团川庆钻探工程有限公司长庆钻井总公司

随着深层、超深层及非常规油气开采的不断深入,钻井过程中盐污染已成为水基钻井液在极端盐度和高温条件下面临的严峻挑战,盐污染会导致钻井液流变性和滤失性能的急速恶化。为避免上述问题发生,通过自由基聚合反应研发了一种具有“盐响... 详细信息

随着深层、超深层及非常规油气开采的不断深入,钻井过程中盐污染已成为水基钻井液在极端盐度和高温条件下面临的严峻挑战,盐污染会导致钻井液流变性和滤失性能的急速恶化。为避免上述问题发生,通过自由基聚合反应研发了一种具有“盐响应”特性的两性离子聚合物增黏降滤失剂(PAMN),并利用红外光谱分析(FT-IR)、核磁共振氢谱分析(1H-NMR)、热重分析(TGA)、分子模拟技术(MS)、扫描电镜(SEM)及钻井液流变和滤失分析等实验方法,表征了PAMN的分子结构、热稳定性及增黏降滤失性能,并揭示了PAMN的“盐响应”机理。研究结果表明:①合成的PAMN热降解温度高达285℃,PAMN分子链在饱和盐水中的均方位移、扩散系数及回转半径远大于其在纯水中,其回转半径分别为12.5Å和3.8Å;②当氯化钠含量为0时,PAMN分子链内或分子链间正负离子基团通过静电吸引力形成空间网络形态而卷曲成类球状结构,随着氯化钠含量增加,其分子链逐渐转变为溶解性更好的柔性链状结构,对氯化钠表现出正响应性;③PAMN可将饱和盐水钻井液表观黏度增加542.9%,滤失量从194 mL降低至4.8 mL,具有良好的增黏和降滤失性能。结论认为,PAMN的研发成功从根本上实现了传统钻井液处理剂从“抗盐”到“盐响应”的转变,该产品在含盐膏的深层、超深层油气开发工程中具有广阔的应用前景。

关键词：深层、超深层盐膏地层水基钻井液盐响应型增黏降滤失两性离子聚合物

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多重互锁安全型氢氧合成系统

电子工业专用设备 2020年第4期49卷 6-8,32页

作者：陈勇平姬常晓黄志海中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111

介绍了半导体热氧化工艺以及热氧化工艺过程中外燃式氢氧合成系统的机理和优势,分析氢氧合成在使用过程中潜在的安全风险,有针对性的从结构、电气硬件和软件方面优化设计,提出了一种具有多重互锁功能的安全型氢氧合成系统,保证工艺过程... 详细信息

介绍了半导体热氧化工艺以及热氧化工艺过程中外燃式氢氧合成系统的机理和优势,分析氢氧合成在使用过程中潜在的安全风险,有针对性的从结构、电气硬件和软件方面优化设计,提出了一种具有多重互锁功能的安全型氢氧合成系统,保证工艺过程安全可靠。

关键词：氢氧合成热氧化工艺安全互锁

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硅太阳电池前表面发射极钝化研究

太阳能 2014年第6期 30-33页

作者：刘文峰周大良杨晓生成文姬常晓中国电子科技集团第四十八研究所国家光伏装备工程技术研究中心

介绍了表面钝化技术在晶体硅太阳电池中的发展和应用,详细阐述了采用热氧化和氢氟酸减薄的方法来制备SiO2钝化膜。实验分别采用800℃、850℃、900℃和950℃对发射极进行热氧化,通过浓度2.5%的HF将钝化膜减薄,制备成电池片。通过测试氧... 详细信息

介绍了表面钝化技术在晶体硅太阳电池中的发展和应用,详细阐述了采用热氧化和氢氟酸减薄的方法来制备SiO2钝化膜。实验分别采用800℃、850℃、900℃和950℃对发射极进行热氧化,通过浓度2.5%的HF将钝化膜减薄,制备成电池片。通过测试氧化前后电性能参数、扩散方阻、接触电势和量子效率的变化,确认了最佳氧化条件。实验表明:在850℃、15 min的条件下,SiO2钝化膜能很好地降低硅片的表面复合,提升短波响应,使开路电压和短路电流均得到提升,平均转换效率提高0.23%。

关键词：硅太阳电池表面钝化表面复合

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氮化铝高温隧道烧结炉设计及试验研究

电子工业专用设备 2020年第4期49卷 27-32页

作者：陈庆广邓斌王学仕万喜新姬常晓中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111

针对以“新基建”为代表的通信领域对高功率、高性能电子元器件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性;针对性开发高温烧结设备,并据此进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺试验,分析了升降温速率、气氛场、烧结温度和时间等因素对高温... 详细信息

针对以“新基建”为代表的通信领域对高功率、高性能电子元器件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性;针对性开发高温烧结设备,并据此进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺试验,分析了升降温速率、气氛场、烧结温度和时间等因素对高温烧结产品性能的影响。

关键词：高温隧道烧结炉氮化铝陶瓷高温烧结工艺

具有光致变色功能的PA6纳微米纤维的制备与性能

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天津工业大学学报 2024年第3期43卷 1-8页

作者：西鹏常晓康天津工业大学材料科学与工程学院天津300387

为制备具有光致变色功能的纳微米纤维,以萘并吡喃(NA)为变色单元,以甲基丙烯酸甲酯(MMA)为聚合物基质单体,以二氧化硅(SiO_(2))为包覆层,制备了光致变色纳微米微球PMMA/NA@SiO_(2),然后将PMMA/NA@SiO_(2)纳微米微球引入到尼龙6的静电纺... 详细信息

为制备具有光致变色功能的纳微米纤维,以萘并吡喃(NA)为变色单元,以甲基丙烯酸甲酯(MMA)为聚合物基质单体,以二氧化硅(SiO_(2))为包覆层,制备了光致变色纳微米微球PMMA/NA@SiO_(2),然后将PMMA/NA@SiO_(2)纳微米微球引入到尼龙6的静电纺丝溶液中,通过对静电纺丝过程中的各工艺参数的优化,对PA6的基本形貌进行了在线调控,成功制备了直径分布较均匀的PA6纳微米变色纤维。场发射扫描电镜和紫外可见光分光光度计的测试结果表明:PMMA/NA@SiO_(2)的直径范围在100~210 nm之间;在PMMA/NA@SiO_(2)质量分数小于10%时,纤维样品的形貌无明显变化,变色性能随添加的变色材料的增加而增强,所制备的样品变色性能和纤维形貌最好,在紫外光照射后会呈现出较好的变色性能和耐疲劳性;通过紫外灯照射发现,相对于λ=365 nm的紫外光,λ=254 nm的紫外光对该光致变色纳微米纤维的变色性能影响较大。

关键词：静电纺丝光致变色材料纳微米纤维尼龙6