用于氮化铝陶瓷高温烧结设备的设计与验证
Design and Verification of High Temperature Sintering Equipment for AlN Ceramics作者机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所长沙410111
出 版 物：《电子工艺技术》 (Electronics Process Technology)
年 卷 期：2024年第45卷第1期
页 面：61-63页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
摘 要：针对以“新基建为代表的通信领域对高功率、高性能微波组件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性。基于此,开发了高温烧结设备,进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺试验,分析了烧结温度及时间、升降温速率、气体流量及炉体压强等因素对高温烧结产品性能的影响。
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