热驱动微型电场传感器
作者单位：中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
会议名称：《中国微米、纳米技术第七届学术会年会》
会议日期：2005年
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
基 金：国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404030)
摘 要：提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,该微型电场传感器采用MUMPs表面微细加工工艺加工,主要包括屏蔽电极、感应电极和热驱动结构三部分。其工作原理属于电荷感应式,用接地的屏蔽电极的用期运动来调制感应电极上在外部电场作用下感应的电荷,形成与外电场成正比的电流信号。用有限元法模拟了热驱动结构的驱动电压与温度、驱动位移和驱动力之间的关系,ANSYS模拟和理论计算结果表明,在±2V的驱动电压下,在实现数微牛驱动力的同时可以实现5.2μm的驱动位移.以1kHz的频率工作时,在10kV/m的外部电场强度下,感应电流超过400pA。