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热驱动微型电场传感器

中国机械工程 2005年第z1期16卷 161-163页

作者：陈贤祥彭春荣白强陈绍凤夏善红中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100080 中国科学院研究生院北京100039

提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,该微型电场传感器采用MUMPs表面微细加工工艺加工,主要包括屏蔽电极、感应电极和热驱动结构三部分.其工作原理属于电荷感应式,用接地的屏蔽电极的周期运动来调制感应电极上在外部电场作用下感应... 详细信息

提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,该微型电场传感器采用MUMPs表面微细加工工艺加工,主要包括屏蔽电极、感应电极和热驱动结构三部分.其工作原理属于电荷感应式,用接地的屏蔽电极的周期运动来调制感应电极上在外部电场作用下感应的电荷,形成与外电场成正比的电流信号.用有限元法模拟了热驱动结构的驱动电压与温度、驱动位移和驱动力之间的关系,ANSYS模拟和理论计算结果表明,在±2V的驱动电压下,在实现数微牛驱动力的同时可以实现5.2μm的驱动位移,以1kHz的频率工作时,在10kV/m的外部电场强度下,感应电流超过400pA.

关键词：微型电场传感器热驱动有限元模拟微细加工

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静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器

中国机械工程 2005年第z1期16卷 171-173页

作者：彭春荣龚超陈贤祥陶虎白强罗蕾夏善红中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100080 中国科学院研究生院北京100039 Berkeley Sensor and Actuator center UC BerkeleyUSA

研制了一种基于静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器.利用相关检测原理对该传感器进行了测试,测试结果表明,在外电场强度为0.5×105～25×105V/m范围内,传感器的输出特性基本满足线性关系,灵敏度可达到0.53μV·m/kV.

关键词：微型电场传感器相关检测差分检测静电梳齿激励

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谐振式微型电场传感器芯片级真空封装及测试

电子与信息学报 2015年第9期37卷 2282-2286页

作者：毋正伟彭春荣杨鹏飞闻小龙李冰夏善红中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室北京100190 中国科学院大学北京100049 北京大学微电子学研究院北京100871 清华大学微电子学研究所北京100084

为了降低传感器的驱动电压,提高该器件的品质因数和信噪比,该文研究封装材料和工艺对真空封装性能的影响,针对一种微机电系统(MEMS)谐振式微型电场敏感结构芯片,采用独特的共晶键合技术,实现该传感器的芯片级真空封装。实验结果表明,该... 详细信息

为了降低传感器的驱动电压,提高该器件的品质因数和信噪比,该文研究封装材料和工艺对真空封装性能的影响,针对一种微机电系统(MEMS)谐振式微型电场敏感结构芯片,采用独特的共晶键合技术,实现该传感器的芯片级真空封装。实验结果表明,该传感器封装后的品质因数达到了30727.4,是常压封装的500倍;该封装器件具有更低的驱动电压,只需要直流分量100 m V和交流分量60 m Vp-p,与常压测试时相比,分别只有原来的1/200和1/16。

关键词：微机电系统微型电场传感器芯片级真空封装

微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法

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仪表技术与传感器 2009年第B11期 328-329,352页

作者：郭鑫张海岩彭春荣夏善红中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100190 中国科学院研究生院北京100190

研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象,通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生,如蒸发干燥法,CO_2临界点干燥法,自组装膜方法,并对这些方法的优缺点进行了比较。结果表明CO_2临界点干燥法和自组装膜方法能够较好的避免粘... 详细信息

研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象,通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生,如蒸发干燥法,CO_2临界点干燥法,自组装膜方法,并对这些方法的优缺点进行了比较。结果表明CO_2临界点干燥法和自组装膜方法能够较好的避免粘连现象的产生,提高微型电场传感器的成品率。

关键词：微型电场传感器粘连现象临界点干燥自组装膜

基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真

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微纳电子技术 2003年第7期40卷 388-390页

作者：裴强夏善红龚超白强陈绍凤中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100080

报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ,具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ,描述了设计方案。

关键词： MEMS技术微型电场传感器设计仿真半导体微加工工艺工作原理

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热驱动微型电场传感器

热驱动微型电场传感器

中国微米、纳米技术第七届学术会年会

作者：陈贤祥彭春荣白强陈绍凤夏善红中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室

提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,该微型电场传感器采用MUMPs表面微细加工工艺加工,主要包括屏蔽电极、感应电极和热驱动结构三部分。其工作原理属于电荷感应式,用接地的屏蔽电极的用期运动来调制感应电极上在外部电场作用下感应... 详细信息

提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,该微型电场传感器采用MUMPs表面微细加工工艺加工,主要包括屏蔽电极、感应电极和热驱动结构三部分。其工作原理属于电荷感应式,用接地的屏蔽电极的用期运动来调制感应电极上在外部电场作用下感应的电荷,形成与外电场成正比的电流信号。用有限元法模拟了热驱动结构的驱动电压与温度、驱动位移和驱动力之间的关系,ANSYS模拟和理论计算结果表明,在±2V的驱动电压下,在实现数微牛驱动力的同时可以实现5.2μm的驱动位移.以1kHz的频率工作时,在10kV/m的外部电场强度下,感应电流超过400pA。

关键词：微型电场传感器热驱动有限元模拟微细加工

来源： cnki会议评论

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静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器

静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器

基于Labview的微型电场传感器自动标定系统

中国微米、纳米技术第七届学术会年会

作者：彭春荣龚超陈贤祥陶虎白强罗蕾夏善红中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 Berkeley Sensor and Actuator center UC Berkeley USA 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室

研制了一种基于静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器。利用相关检测原理对谊传感器进行了测试,测试结果表明,在外电场强度为0.5×105-25×105V/m范围内,传感器的输出特性基本满足线性关系,灵敏度可达到0.53μV·m/kV。

关键词：微型电场传感器相关检测差分检测静电梳齿激励

来源： cnki会议评论

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信息与电子工程 2011年第5期9卷 619-622页

作者：张海岩彭春荣刘世国杨鹏飞夏善红中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100190 中国科学院研究生院北京100039

针对微型电场传感器输出信号弱(pA量级)、噪声强等特点,设计了一种新型的传感器微弱信号检测与标定测试系统。该系统采用Labview可视化编程语言,实现传感器的采集控制和信号处理,并基于新型的相关检测和噪声抑制技术,可实现信噪比达到-6... 详细信息

针对微型电场传感器输出信号弱(pA量级)、噪声强等特点,设计了一种新型的传感器微弱信号检测与标定测试系统。该系统采用Labview可视化编程语言,实现传感器的采集控制和信号处理,并基于新型的相关检测和噪声抑制技术,可实现信噪比达到-60dB的信号提取,通过加载相关测试模块,可进一步测得传感器的静态及动态指标,并谱出动态响应曲线。

关键词：微型电场传感器标定系统 Labview语言

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一种闭环自激式驱动的硅微机械电场传感器

电子与信息学报 2009年第11期31卷 2776-2780页

作者：熊幼芽彭春荣夏善红中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100190 中国科学院研究生院北京100039

该文提出了一种闭环自激式驱动的微型电场传感器方案。利用自动增益控制的原理实现闭环自激驱动,使得微传感器能够始终工作在谐振状态,且振动幅度保持稳定。用matlab-simulink工具对系统进行了仿真,结果表明,当传感器的谐振频率发生0.5... 详细信息

该文提出了一种闭环自激式驱动的微型电场传感器方案。利用自动增益控制的原理实现闭环自激驱动,使得微传感器能够始终工作在谐振状态,且振动幅度保持稳定。用matlab-simulink工具对系统进行了仿真,结果表明,当传感器的谐振频率发生0.5%的漂移时,系统可以重新捕捉并锁定到新的谐振频率,和开环驱动方案相比,传感器振幅的衰减度从30%降低到0.1%之内,灵敏度从缩减50%改进到缩减0.1%之内。

关键词：微型电场传感器闭环自激驱动电路