四探针法在半导体测试技术中的应用
作者单位：天津职业大学
会议名称：《第二十届中国（天津）’2006IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议》
会议日期：2006年
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要：本文对测量半导体样品电阻率的四探针法进行了介绍,详细讨论了直排四探针法和双电测四探针法的测量方法并给出了相应计算电阻率的公式,给出了直排四探针法厚度修正公式,比较了两类方法的优缺点。