向下个世纪过渡的300mm技术
作者机构：International300mmInitiative
出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)
年 卷 期：1999年第28卷第4期
页 面：47-50页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0202[经济学-应用经济学] 02[经济学] 020205[经济学-产业经济学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
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