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300mm Si片加工及最新发展

半导体技术 2009年第12期34卷 1153-1156页

作者：库黎明闫志瑞索思卓周旗钢北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司北京100088

65 nm及以下线宽对Si片表面的各方面性能要求越来越高,主要体现在两个方面,一个是加工工艺,另一个是加工设备。在加工方法上,65 nm线宽用300 mmSi片不同于90 nm,如运用多步单片精密磨削,不仅可以提高表面几何参数,还可以减小表面特别是... 详细信息

65 nm及以下线宽对Si片表面的各方面性能要求越来越高,主要体现在两个方面,一个是加工工艺,另一个是加工设备。在加工方法上,65 nm线宽用300 mmSi片不同于90 nm,如运用多步单片精密磨削,不仅可以提高表面几何参数,还可以减小表面特别是亚表面的损伤层。而对于加工设备,要求更加精密,特别是单面精抛光,在保证去除量的同时还要使Si片表面各点的去除量保持均匀。对目前300 mmSi片的磨削、抛光及清洗的每一道工艺流程,特别是相对于65 nm技术的一些加工流程及方法的最新发展进行了详细的论述,指出了300 mmSi片加工工艺的发展趋势。

关键词： 300mm Si片磨削抛光清洗

磨辊直径为300mm与250mm两种磨粉机性能之比较

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粮油加工与食品机械 2004年第3期 21-22页

作者：徐桂清河北省张家口市粮食机械厂技术开发部

从磨粉机的发展历史来看,早期磨粉机的磨辊直径为220mm的居多,后经过长期生产实践和技术改进证明直径为250mm磨辊的磨粉机(以下简称250磨)研磨效果较好,并赢得了大部分面粉厂家的认可.而近年来磨辊直径为300mm的磨粉机(以下简称300磨)... 详细信息

从磨粉机的发展历史来看,早期磨粉机的磨辊直径为220mm的居多,后经过长期生产实践和技术改进证明直径为250mm磨辊的磨粉机(以下简称250磨)研磨效果较好,并赢得了大部分面粉厂家的认可.而近年来磨辊直径为300mm的磨粉机(以下简称300磨)开始走俏,但许多面粉厂家对300磨还只是初步了解,但对其技术性能及特点认识不太全面.现就两种直径的磨粉机的性能特点做一探讨.

关键词：磨粉机磨辊直径性能比较 300mm 250mm 面粉

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向下个世纪过渡的300mm技术

电子工业专用设备 1999年第4期28卷 47-50页

作者： VivekBakshi DerekYoungson RandyGoodall 立文 International300mmInitiative

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全球各大硅片公司积极投资300mm硅片

现代材料动态 2005年第7期 18-18页

作者：杨晓婵

目前全球各大硅片公司正在积极投资增产300mm硅片。信越半导体集团计划到2006年秋季将300mm硅片的月产能力提高到50万片；三菱住友硅公司计划在2006年夏季之前达到40万片／月；MEMC公司计划在2006年底以前达到30万片／月；小松电子金属... 详细信息

目前全球各大硅片公司正在积极投资增产300mm硅片。信越半导体集团计划到2006年秋季将300mm硅片的月产能力提高到50万片；三菱住友硅公司计划在2006年夏季之前达到40万片／月；MEMC公司计划在2006年底以前达到30万片／月；小松电子金属公司将在2006年内在台湾的子公司新上一条5万片／月的综合生产线，届时总产能可达到12．5万片/月。

关键词： 300mm 硅片投资全球 2006年 EMC公司能力提高半导体生产线子公司集团产能

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理性看待中国φ300mm芯片厂

电子工业专用设备 2005年第5期34卷 67-67页

中国半导体产业在高中低档都想争一席之地，除了承担经济的职能外，还要承担部分国家甚或民族的责任，而现阶段它则是以一种社会责任来体现。

关键词： 300mm 中国芯片厂理性半导体产业社会责任中低档职能经济

Asyst赢得多份Interface A 300mm软件产品定单

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电子与封装 2005年第4期5卷 46-46页

作者：张弛

Asyst Technologies Inc．日前宣布，两大半导体设备制造商已选择了该公司的Asyst EIBTM和NexEDATM软件产品。这是符合SEMI新的Interface A(界面A)标准的软件产品收到的首批经过确认的订单。SEMI新的Interface A标准可以提供对关键设备... 详细信息

Asyst Technologies Inc．日前宣布，两大半导体设备制造商已选择了该公司的Asyst EIBTM和NexEDATM软件产品。这是符合SEMI新的Interface A(界面A)标准的软件产品收到的首批经过确认的订单。SEMI新的Interface A标准可以提供对关键设备数据的实时存取。

关键词：软件产品 300mm 定单 SEMI 设备制造商关键设备 Inc 半导体标准公司订单

扫描式总压耙在高超声速推进风洞流场测量中的应用

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实验流体力学 2005年第2期19卷 71-73,83页

作者：常远顾洪斌陈立红张新宇中国科学院力学研究所高温气体动力学开放实验室北京100080

在风洞实验中,为了保证实验结果的可靠性,首先需要了解流场的品质。笔者自行设计研制了用于高超声速推进风洞流场测量的带有水冷装置的可移动式扫描总压耙。对于出口截面为300mm×187mm的风洞喷管,通过计算机程序控制,可在3s时间内实现... 详细信息

在风洞实验中,为了保证实验结果的可靠性,首先需要了解流场的品质。笔者自行设计研制了用于高超声速推进风洞流场测量的带有水冷装置的可移动式扫描总压耙。对于出口截面为300mm×187mm的风洞喷管,通过计算机程序控制,可在3s时间内实现全截面间歇式或连续式扫描,最大移动速度可达250mm/s,而且定位准确。通过扫描结果,分析了流场压力均匀性、稳定性以及实验结果的可重复性,同时还给出了风洞喷管出口截面的总压与马赫数等值线图。从而为超燃冲压模型发动机实验提供参考数据。

关键词：流场测量高超声速总压扫描式计算机程序控制应用 300mm 风洞实验可移动式水冷装置设计研制移动速度流场压力可重复性等值线图参考数据超燃冲压可靠性连续式间歇式全截面过扫描均匀性稳定性马赫数

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己内酰胺加氢精制宏观动力学研究

石油炼制与化工 2005年第8期36卷 53-55页

作者：江雨生傅送保朱泽华孟祥堃石油化工科学研究院北京100083 中石化股份有限公司巴陵分公司

以工业实用非晶态合金为催化剂,在内径Φ300mm的磁稳定床反应器中,对磁稳定条件下的己内酰胺加氢精制宏观动力学进行了研究,实验条件为温度60～110℃,压力0.1～1.1MPa,磁场强度15.9～39.8kA/m。以幂指数方程描述己内酰胺加氢精制的宏观... 详细信息

以工业实用非晶态合金为催化剂,在内径Φ300mm的磁稳定床反应器中,对磁稳定条件下的己内酰胺加氢精制宏观动力学进行了研究,实验条件为温度60～110℃,压力0.1～1.1MPa,磁场强度15.9～39.8kA/m。以幂指数方程描述己内酰胺加氢精制的宏观动力学,得到对于杂质的反应级数为1.107,对于氢气的反应级数为0.1123。方程计算值和实验值吻合较好,平均相对误差为7.98%。

关键词：动力学己内酰胺加氢精制宏观动力学动力学研究指数方程反应级数非晶态合金 300mm 磁稳定床

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国内特殊钢连铸生产技术的现状与发展

特殊钢 2005年第3期26卷 1-5页

作者：干勇王忠英钢铁研究总院北京100081 江苏淮钢有限公司淮安223002

20世纪90年代末,国内各主要特殊钢厂先后自建或引进大容量电弧炉和合金钢连铸机,从而推动了我国特殊钢连铸技术的发展。合金钢连铸方坯的规格为1 3 0mm×1 3 0mm至3 50mm×470mm ,板坯为1 0 3 0mm×1 60mm至1 90 0mm×3 0 0mm。国内特... 详细信息

20世纪90年代末,国内各主要特殊钢厂先后自建或引进大容量电弧炉和合金钢连铸机,从而推动了我国特殊钢连铸技术的发展。合金钢连铸方坯的规格为1 3 0mm×1 3 0mm至3 50mm×470mm ,板坯为1 0 3 0mm×1 60mm至1 90 0mm×3 0 0mm。国内特殊钢连铸比由1 998年的2 1 .7%增加至2 0 0 3年的61 . 1 7%。根据国外特殊钢企业连铸关键技术和进展,以及对近几年我国特殊钢连铸生产装备、流程、生产量及主要产品质量现状的分析,提出了我国特殊钢连铸技术发展和研究的工作重点。

关键词：现状与发展生产技术国内 20世纪90年代连铸技术 300mm 2003年 1998年特殊钢厂连铸方坯关键技术生产装备质量现状工作重点合金钢连铸机电弧炉大容量连铸比生产量板坯