微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟
COMPUTER SIMULATION OF MICRO- MACHINING Z-AXIS ACCELEROMETER WITH AN ELECTROSTATIC LEVITATING SEISMIC MASS作者机构：中科院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室浙江大学信息与电子工程学系复旦大学电子工程系
出 版 物：《功能材料与器件学报》 (Journal of Functional Materials and Devices)
年 卷 期：1996年第2卷第3期
页 面：158-165页
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
基 金：国家科委攀登计划B项目 自然科学基金
摘 要：本工作针对一种新型的电容式力平衡加速度计－微型静电悬浮Ｚ向加速度计进行了计算机模拟。模拟中的Ｚ向加速度计拟采用微机械加工技术在硅片上制作，利用静电悬浮原理平衡质量块，感应加速度并输出信号。计算机模拟分析了加速度计的悬浮特性，稳定特性，响应特性。对Ｃ－Ｆ转换电路的输出特性也进行了分析，该电路可用ＣＭＯＳ工艺集成在加速度传感器的周围。模拟结果表明该加速度计具有灵敏度高，抗冲击性能好的特点。
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